Ngwa eji arụ ọrụ nke nwere usoro ịkpụcha ihe dị ka sentimita iri na abụọ nke a na-arụ n'ime akpaka, nke a na-akpọ Wafer, nke e ji usoro ịkpụcha ihe dị iche iche rụọ maka Si/SiC na HBM (Al)
Teknụzụ paramita
| Paramita | Nkọwapụta |
| Nha ọrụ | Φ8", Φ12" |
| Spindl | Axis abụọ 1.2/1.8/2.4/3.0, Kachasị 60000 rpm |
| Nha agụba | 2" ~ 3" |
| Axis Y1 / Y2
| Mgbakwunye otu nzọụkwụ: 0.0001 mm |
| Izi ezi nke ọnọdụ: < 0.002 mm | |
| Ebe a na-egbutu ihe: 310 mm | |
| X Axis | Oke ọsọ nri: 0.1–600 mm/s |
| Axis Z1 / Z2
| Mgbakwunye otu nzọụkwụ: 0.0001 mm |
| Izi ezi nke ọnọdụ: ≤ 0.001 mm | |
| θ Axis | Izi ezi nke ọnọdụ: ± 15" |
| Ọdụ Nhicha
| Ọsọ ntụgharị: 100–3000 rpm |
| Usoro nhicha: Sachaa na akpaghị aka ma kpọọ nkụ | |
| Voltaji ọrụ | Usoro atọ nke 380V 50Hz |
| Nha (W×D×H) | 1550 × 1255 × 1880 mm |
| Ibu | 2100 n'arọ |
Ụkpụrụ Ọrụ
Ngwaọrụ ahụ na-enweta oke nkenke site na teknụzụ ndị a:
1. Sistemụ Spindle Dị Elu: Ọsọ ntụgharị ruo 60,000 RPM, nke nwere agụba diamond ma ọ bụ isi ịkpụ laser iji mee ka ọ dabara na ihe dị iche iche e ji mee ihe.
2. Njikwa Njem Ọtụtụ Axis: Nhazi ọnọdụ X/Y/Z nke ±1μm, jikọtara ya na ihe ndị dị elu iji hụ na ụzọ ịkpụ ihe na-enweghị ntụgharị.
3. Nhazi Anya Nwere Ọgụgụ Isi: CCD nwere mkpebi dị elu (megapixel 5) na-amata ebe okporo ụzọ na-egbutu ma na-akwụghachi ụgwọ maka mgbanwe ma ọ bụ nhazi adịghị mma.
4. Iwepụ Uzuzu na Mmiri: Sistemụ oyi mmiri dị ọcha jikọtara ọnụ na mwepụ uzuzu mmiri iji belata mmetụta okpomọkụ na mmetọ ihe.
Ụdị Ịcha
1. Ịkpụcha Agụba: Dabara adaba maka ihe ndị e ji eme semiconductor ọdịnala dịka Si na GaAs, nwere obosara kerf nke 50–100μm.
2. Ngwunye Laser Stealth: A na-eji ya maka wafers dị gịrịgịrị (<100μm) ma ọ bụ ihe ndị na-adịghị ike (dịka ọmụmaatụ, LT/LN), nke na-eme ka nkewa ghara inwe nchekasị.
Ngwa Ndị A Na-ahụkarị
| Ihe Dakọtara | Ubi Ngwa | Ihe Nhazi Chọrọ |
| Silikọn (Si) | Ihe mmetụta IC, ihe mmetụta MEMS | Mkpụcha dị elu, ịkpụcha ihe <10μm |
| Silicon Carbide (SiC) | Ngwaọrụ ike (MOSFET/diodiọd) | Mbelata obere mmebi, njikwa okpomọkụ kachasị mma |
| Gallium Arsenide (GaAs) | Ngwaọrụ RF, ibe optoelectronic | Mgbochi obere mgbawa, njikwa ịdị ọcha |
| Ihe ndị dị na LT/LN | Ihe nzacha SAW, ihe nhazi anya | Ịcha ihe na-enweghị nrụgide, na-echekwa ihe onwunwe piezoelectric |
| Ihe ndị e ji seramiiki mee | Modulu ike, nkwakọ ngwaahịa LED | Nhazi ihe siri ike dị elu, ọnụ larịị |
| Fọmụ QFN/DFN | Nkwakọ ngwaahịa dị elu | Ịcha ọtụtụ mgbawa n'otu oge, njikarịcha arụmọrụ |
| WLCSP Wafers | Nkwakọ ngwaahịa dị larịị Wafer | Ịkpụcha wafers dị gịrịgịrị nke na-enweghị mmebi (50 μm) |
Uru
1. Nnyocha etiti kaseti dị elu yana mkpu mgbochi mkpọka, nhazi mbufe ngwa ngwa, na ikike idozi njehie siri ike.
2. Ụdị ịkpụcha okpukpu abụọ kachasị mma, na-eme ka arụmọrụ dịkwuo mma site na ihe dịka 80% ma e jiri ya tụnyere sistemụ spindle otu.
3. Skru bọọlụ e bubatara nke ọma, ntuziaka ndị dị n'ahịrị, na njikwa mkpọchi nke Y-axis grating scale, na-eme ka igwe nhazi dị elu kwụsie ike ruo ogologo oge.
4. Ibu/ibudata ngwa ngwa nke ọma, nhazi mbufe, ịkpụ nhazi, na nyocha kerf, na-ebelata oke ọrụ onye ọrụ (OP).
5. Nhazi nke ụdị spindle nke Gantry, nke nwere oghere agụba abụọ kacha nta nke 24mm, na-eme ka o kwe omume ịgbanwe usoro ịkpụ spindle abụọ.
atụmatụ
1. Nha nha elu na-anaghị emetụ aka nke ọma.
2.Multi-wafer abụọ-ịcha mma n'otu tray.
3. Nhazi akpaka, nyocha kerf, na sistemụ nchọpụta mgbawa agụba.
4. Na-akwado usoro dị iche iche site na iji algọridim nhazi akpaka ahọpụtara.
5. Ọrụ mmezi onwe onye na-akpata nsogbu na nlekota ọnọdụ ọtụtụ oge n'ezie.
6. Ike nyocha mbụ mgbe e mechara ịkpụcha ihe mbụ.
7. Modulu akpaaka ụlọ ọrụ mmepụta ihe nwere ike ịhazi ya na ọrụ nhọrọ ndị ọzọ.
Ọrụ Ngwa
Anyị na-enye nkwado zuru oke site na nhọrọ akụrụngwa ruo na mmezi ogologo oge:
(1) Mmepe ahaziri ahazi
· Kwado ngwọta ịkpụ agụba/laser dabere na ihe onwunwe (dịka ọmụmaatụ, ike SiC, mmebi GaAs).
· Nye nnwale ihe nlele n'efu iji chọpụta ịdị mma nke ịkpụ (gụnyere mgbawa, obosara kerf, oke iru ala, wdg).
(2) Ọzụzụ teknụzụ
· Ọzụzụ Dị Mkpa: Ọrụ akụrụngwa, nhazi paramita, mmezi oge niile.
· Usoro Ọmụmụ Dị Elu: Nhazi usoro maka ihe ndị dị mgbagwoju anya (dịka ọmụmaatụ, ịkpụ ihe ndị na-enweghị nrụgide nke ihe ndị na-emepụta LT).
(3) Nkwado Mgbe Ahịa Gasịrị
· Nzaghachi 24/7: Nchọpụta ihe dị n'ebe dị anya ma ọ bụ enyemaka n'ebe ahụ.
· Ngwakọta Akụkụ Mgbakwunye: A na-etinye spindles, agụba, na ihe ndị dị na anya maka nnọchi ngwa ngwa.
· Nlekọta Mgbochi: Nhazi oge niile iji nọgide na-enwe izi ezi ma gbasaa ndụ ọrụ.
Uru Anyị
✔ Ahụmịhe Ụlọ Ọrụ: Na-ejere ndị na-emepụta semiconductor na eletrọniki 300+ ozi n'ụwa niile.
✔ Teknụzụ Dị Mfe: Nduzi linear nke ọma na sistemụ servo na-eme ka ụlọ ọrụ kwụsie ike.
✔ Netwọk Ọrụ Ụwa Nile: Mkpuchi na Eshia, Yuropu, na Ugwu Amerịka maka nkwado mpaghara.
Maka nnwale ma ọ bụ ajụjụ, kpọtụrụ anyị!












