Igwe Nchacha Ion Beam maka sapphire SiC Si

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Igwe Nlepụta na Ịchacha Ion Beam dabere na ụkpụrụ nke ịgbasa ion. N'ime ụlọ vacuum dị elu, isi iyi ion na-emepụta plasma, nke a na-eme ka ọ bụrụ oghere ion ike dị elu. Ogwe a na-agbagharị elu nke ihe anya, na-ewepụ ihe dị na nha atọm iji nweta mmezi na mmecha elu nke ọma.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Ihe osise zuru ezu

Nkọwa Ngwaahịa nke Igwe Nchacha Ion Beam

Dịka usoro anaghị emetụ aka, ịchacha ion beam na-ewepụ nrụgide igwe ma na-ezere mmebi dị n'okpuru ala, na-eme ka ọ dị mma maka imepụta optics dị oke mma eji eme ihe na mbara igwe, aerospace, semiconductor, na ngwa nyocha dị elu.

Ụkpụrụ Ọrụ nke Ion Beam Polishing Machine

Ọgbọ Ion
A na-etinye gas na-adịghị ike (dịka ọmụmaatụ, argon) n'ime ụlọ vacuum ma mee ka ọ bụrụ ion site na mwepụta eletriki iji mepụta plasma.

Nhazi Ọsọ na Ọkwa Mbara
A na-eme ka ion ndị a dị ngwa ngwa ruo ọtụtụ narị ma ọ bụ puku volt elektrọn (eV) ma mee ka ha bụrụ ebe kwụsiri ike ma lekwasị anya.

Mwepụ Ihe
Ìhè ion ahụ na-efesa atọm site n'elu n'enweghị mmalite mmeghachi omume kemịkalụ.

Nchọpụta Mmejọ na Nhazi Ụzọ
A na-eji interferometry atụ ọdịiche nke ihe dị n'elu. A na-eji ọrụ mwepụ iji chọpụta oge obibi ma mepụta ụzọ ngwaọrụ kachasị mma.

Ndozi Emechiri Emechi
Usoro nhazi na nhagharị na-aga n'ihu ruo mgbe e mezuru ebumnuche ziri ezi nke RMS/PV.

Isi Atụmatụ nke Ion Beam Polishing Machine

Ndakọrịta Elu Elu Ụwa Nile- Na-ahazi elu dị larịị, gburugburu, aspherical, na freeform

Ọnụego Mwepụ Dị Ike nke Ukwuu- Na-eme ka mmezi nke ọnụọgụgụ sub-nanometer dị mfe

Nhazi Na-enweghị Mmebi– Enweghị ntụpọ ma ọ bụ mgbanwe nhazi n'okpuru ala

Arụmọrụ Na-agbanwe Agbanwe- Na-arụ ọrụ nke ọma n'ihe ndị siri ike dị iche iche

Ndozi Ugboro Dị Ala/Ọkara- Na-ewepụ njehie na-enweghị imepụta ihe ochie etiti/elu ugboro ugboro

Ihe achọrọ maka mmezi dị ala- Ọrụ na-aga n'ihu ogologo oge na obere oge nkwụsị

Nkọwapụta Nkà na ụzụ dị mkpa nke igwe polishing ion beam

ihe	Nkọwapụta
Usoro nhazi	Ion na-agbapụta n'ime oghere dị oke ọkụ
Ụdị nhazi	Ịchọpụta na ime ka elu na-adịghị emetụta
Oke nha ọrụ	Φ4000 mm
Axes mmegharị	Axis atọ / axis ise
Mwepụ kwụsiri ike	≥95%
Izi ezi nke Elu	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (RMS nkịtị < 1 nm; PV < 15 nm)
Ike Ndozi Ugboro Ugboro	Na-ewepụ njehie ugboro ole na ole dị ala na-enweghị mmejọ ugboro ole na-aga n'ihu na-enweghị mmejọ ugboro ole na-aga n'ihu na nke dị elu
Ọrụ Na-aga n'ihu	Izu 3-5 na-enweghị mmezi ikuku
Ọnụ ego mmezi	Dị ala

Ike nhazi nke igwe polishing ion

Ụdị Elu Akwadoro

Dị Mfe: Dị larịị, dị okirikiri, prism

Mgbagwoju anya: Asphere Symmetric/Asymmetric, Asphere off-axis, cylindrical

Pụrụ Iche: Optics dị oke mkpa, optics slat, optics hemispherical, optics conformal, phase plates, freeform surfaces

Ihe Ndị A Kwadoro

Iko anya: Quartz, microcrystalline, K9, wdg.

Ihe ndị e ji infrared mee: Silicon, germanium, wdg.

Ígwè: Aluminom, ígwè anaghị agba nchara, titanium alloy, wdg.

Kristal: YAG, otu kristal silicon carbide, wdg.

Ihe siri ike/na-agbawa agbawa: Silicon carbide, wdg.

Ogo Elu / Nkenke

PV < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

Nhazi Ọmụmụ Ihe nke Igwe Nchacha Ion Beam

Ikpe nke 1 - Enyo Dị larịị

Ọrụ: D630 mm quartz flat

Nsonaazụ: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Ikpe nke Abụọ - Enyo Ntụgharị X-ray

Ọrụ: 150 × 30 mm silicon flat

Nsonaazụ: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Ndagwurugwu 0.13 µrad

Ikpe nke 3 - Enyo nke Na-anọghị n'Axis

Ọrụ: enyo ala D326 mm nke na-anaghị axis

Nsonaazụ: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị Banyere Iko Quartz

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị - Igwe Nchacha Ion Beam

Q1: Gịnị bụ ion beam polishing?
A1:Ịchacha ion beam bụ usoro anaghị emetụ aka nke na-eji ion elekwasịrị anya (dịka argon ion) wepụ ihe dị n'elu workpiece. A na-eme ka ion ndị ahụ dị ngwa ma na-eche ihu n'elu, na-eme ka mwepụ ihe dị n'ọkwa atọm pụta, na-eme ka mmecha dị nro nke ukwuu. Usoro a na-ewepụ nrụgide mekaniki na mmebi dị n'okpuru ala, na-eme ka ọ dị mma maka akụkụ anya ziri ezi.

Q2: Kedu ụdị elu Ion Beam Polishing Machine nwere ike isi hazie?
A2:IheIgwe Nchacha Ionnwere ike ịhazi ọtụtụ elu dị iche iche, gụnyere ihe dị mfe dị kaflat, spheres, na prism, yana geometri dị mgbagwoju anya dịkaaspheres, aspheres ndị na-anọghị n'axis, naelu ndị nwere ọdịdị kwụ ọtọỌ na-arụ ọrụ nke ọma karịsịa n'ihe dịka iko anya, ihe ọkụ infrared, ọla, na ihe siri ike/na-emebi emebi.

Q3: Kedu ihe igwe Ion Beam Polishing nwere ike iji rụọ ọrụ?
A3:IheIgwe Nchacha Ionnwere ike ịchacha ọtụtụ ihe dị iche iche, gụnyere:

Iko anya: Quartz, microcrystalline, K9, wdg.
Ihe ndị e ji infrared mee: Silikọn, germanium, wdg.
Ọlaihe ndị a: Aluminom, ígwè anaghị agba nchara, titanium alloy, wdg.
Ihe kristal: YAG, otu kristal silicon carbide, wdg.
Ihe ndị ọzọ siri ike/na-emebi emebi: Silicon carbide, wdg.

Gbasara anyị

XKH bụ ọkachamara n'ihe gbasara mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta, na ire nke iko anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-enye ngwa eletrọnịkị anya, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa, na ndị agha. Anyị na-enye ihe ndị mejupụtara anya Sapphire, mkpuchi anya ekwentị mkpanaaka, seramiiki, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers kristal semiconductor. Site na ahụmịhe nwere nkà na ngwa ọgbara ọhụrụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu nke ihe optoelectronic.