6inch 150mm Silicon Carbide SiC Wafers 4H-N ụdị maka MOS ma ọ bụ SBD Production Research na Dummy ọkwa

Nkọwa dị mkpirikpi:

Otu mkpụrụ kristal silicon carbide 6-inch bụ ihe na-arụ ọrụ dị elu nwere ezigbo anụ ahụ na kemịkal.Emepụtara site na silicon carbide dị otu kristal dị ọcha, ọ na-egosipụta nrụpụta ọkụ dị elu, nkwụsi ike igwe, yana nguzogide oke ọkụ.Mkpụrụ a, nke ejiri usoro mmepụta nke ọma na ihe ndị dị elu mee ihe, aghọwo ihe a na-ahọrọ maka ịmepụta ngwá electronic dị elu na mpaghara dị iche iche.

Zitere anyị email

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Mpaghara ngwa

Otu mkpụrụ kristal silicon carbide 6-inch na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ọtụtụ ụlọ ọrụ.Nke mbụ, a na-eji ya eme ihe na ụlọ ọrụ semiconductor maka imepụta ngwaọrụ eletrọnịkị dị elu dị ka transistor ike, sekit agbakwunyere, na modul ike.Igwe ọkụ ọkụ ya dị elu na nguzogide okpomọkụ na-eme ka ikpochapụ ọkụ dị mma, na-eme ka arụmọrụ na ntụkwasị obi dịkwuo mma.Nke abuo, silicon carbide wafers dị mkpa na mpaghara nyocha maka mmepe nke ihe ọhụrụ na ngwaọrụ.Na mgbakwunye, silicon carbide wafer na-achọta ngwa dị ukwuu n'ọhịa nke optoelectronics, gụnyere imepụta LEDs na diodes laser.

Nkọwapụta ngwaahịa

Otu mkpụrụ kristal silicon carbide 6-inch nwere dayameta nke sentimita isii (ihe dịka 152.4 mm).Ọkpụkpụ n'elu bụ Ra <0.5 nm, na ọkpụrụkpụ bụ 600 ± 25 μm.Enwere ike ịhazi mkpụrụ ahụ na ụdị N-ụdị ma ọ bụ ụdị P, dabere na ihe ndị ahịa chọrọ.Ọzọkwa, ọ na-egosipụta nkwụsi ike n'ibu pụrụiche, nke nwere ike iguzogide nrụgide na ịma jijiji.

Dayameta		150± 2.0mm (6 inch)
Ọkpụrụkpụ		350 μm± 25μm
Nhazi		Na axis: <0001>±0.5°		Gbanyụọ axis: 4.0 ° n'ebe 1120± 0.5°
Ụdị poly		4H
Nguzogide (Ω·cm)	4H-N	0.015 ~ 0.028 Ω·cm/0.015 ~ 0.025ohm·cm
	4/6H-SI	> 1E5
Ntuzi aka dị larịị		{10-10}±5.0°
Ogologo flat nke isi (mm)		47.5 mm± 2.5 mm
Ọnụ		Chamfer
TTV/ Ụta / Warp (um)		≤15 /≤40 /≤60
AFM ihu (Si-face)		Polish Ra≤1 nm
		CMP Ra≤0.5 nm
LTV		≤3μm (10mm*10mm)	≤5μm (10mm*10mm)		≤10μm (10mm*10mm)
TTV		≤5μm	≤10μm		≤15μm
Peel oroma / olulu / mgbawa / mmetọ / ntụpọ / striations		Ọ dịghị	Ọ dịghị		Ọ dịghị
indents		Ọ dịghị	Ọ dịghị		Ọ dịghị

Mkpụrụ kristal silicon carbide 6 nke anụ ọhịa ahụ bụ ihe na-arụ ọrụ dị elu nke a na-ejikarị na semiconductor, nyocha, na ụlọ ọrụ optoelectronics.Ọ na-enye ezigbo conductivity thermal, nkwụsi ike n'ibu, na nguzogide okpomọkụ dị elu, na-eme ka ọ dị mma maka ịmepụta ngwá electronic dị elu na nyocha ihe ọhụrụ.Anyị na-enye nkọwa dị iche iche na nhọrọ nhazi iji gboo ihe dị iche iche ndị ahịa chọrọ.Kpọtụrụ anyị maka nkọwa ndị ọzọ na silicon carbide wafers!