Ụdị Wafers Silicon Carbide SiC nke dị sentimita 6, 150mm, ụdị 4H-N maka MOS ma ọ bụ SBD Production Research na Dummy grade

Ụdị Wafers Silicon Carbide SiC nke dị sentimita 6 nke 150mm maka MOS maọbụ SBD Production Research na Dummy Grade Foto a egosipụtara

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Ihe mkpuchi kristal silicon carbide nke dị sentimita isii bụ ihe eji arụ ọrụ nke ọma, nke nwere ezigbo ihe anụ ahụ na kemịkalụ. E ji ihe kristal silicon carbide dị ọcha nke e ji ihe kristal silicon carbide rụọ ya, ọ na-egosipụta ike okpomọkụ dị elu, nkwụsi ike mekaniki, na ike iguzogide okpomọkụ dị elu. Ihe mkpuchi a, nke e ji usoro nrụpụta ziri ezi na ihe dị elu rụọ, aghọwo ihe a kacha mma maka imepụta ngwaọrụ eletrọniki dị elu n'ọtụtụ ngalaba dị iche iche.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Ubi Ngwa

Ihe mkpuchi kristal silicon carbide nke dị sentimita isii na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ọtụtụ ụlọ ọrụ. Nke mbụ, a na-ejikarị ya eme ihe n'ụlọ ọrụ semiconductor maka imepụta ngwaọrụ eletrọniki dị ike dị elu dịka transistors ike, sekit agbakwunyere, na modulu ike. Ọ na-eme ka okpomọkụ dị elu na iguzogide okpomọkụ dị elu na-eme ka okpomọkụ ka mma, na-ebute arụmọrụ na ntụkwasị obi ka mma. Nke abụọ, wafer silicon carbide dị mkpa n'ọhịa nyocha maka mmepe nke ihe na ngwaọrụ ọhụrụ. Na mgbakwunye, wafer silicon carbide na-achọta ọtụtụ ojiji n'ọhịa optoelectronics, gụnyere imepụta LEDs na diode laser.

Nkọwapụta Ngwaahịa

Ihe mkpuchi kristal silicon carbide nke dị sentimita isii nwere dayameta nke sentimita isii (ihe dị ka 152.4 mm). Nchacha elu ya bụ Ra < 0.5 nm, ọkpụrụkpụ ya bụkwa 600 ± 25 μm. Enwere ike ịhazi ihe mkpuchi ahụ site na iji ụdị N ma ọ bụ P conductivity, dabere na ihe ndị ahịa chọrọ. Ọzọkwa, ọ na-egosipụta nkwụsi ike igwe pụrụ iche, nke nwere ike iguzogide nrụgide na ịma jijiji.

Dayameta		150±2.0mm(6inch)
Ọkpụrụkpụ		350 μm±25μm
Nhazi		N'akụkụ ya: <0001>±0.5°		Axis dị n'akụkụ: 4.0° gaa 1120±0.5°
Ụdị Polytype		4H
Nguzogide (Ω·cm)	4H-N	0.015 ~ 0.028 Ω·cm/0.015 ~ 0.025ohm·cm
	4/6H-SI	>1E5
Nhazi dị larịị nke mbụ		{10-10}±5.0°
Ogologo dị larịị nke mbụ (mm)		47.5 mm±2.5 mm
Akụkụ		Chamfer
TTV/Bọọlụ/Mgbawa (otu narị)		≤15 /≤40 /≤60
Ihu AFM (Ihu Si-Si)		Polish Ra≤1 nm
		CMP Ra≤0.5 nm
LTV		≤3μm(10mm*10mm)	≤5μm(10mm*10mm)		≤10μm(10mm*10mm)
TV		≤5μm	≤10μm		≤15μm
Mkpụcha oroma/oghere/mgbawa/mmetọ/ntụpọ/ntụpọ/ntụpọ		Ọ dịghị	Ọ dịghị		Ọ dịghị
ihe ndị na-adịghị mma		Ọ dịghị	Ọ dịghị		Ọ dịghị

Ihe mkpuchi kristal silicon carbide nke dị sentimita isii bụ ihe a na-ejikarị arụ ọrụ nke ọma na ụlọ ọrụ semiconductor, nyocha, na optoelectronics. Ọ na-enye ezigbo ike okpomọkụ, nkwụsi ike mekaniki, na iguzogide okpomọkụ dị elu, na-eme ka ọ dabara adaba maka imepụta ngwaọrụ eletrọniki dị elu na nyocha ihe ọhụrụ. Anyị na-enye nkọwapụta dị iche iche na nhọrọ nhazi iji mezuo ihe dị iche iche ndị ahịa chọrọ.Kpọtụrụ anyị maka nkọwa ndị ọzọ gbasara wafer silicon carbide!