3 inch Dị Ọcha Dị Elu (Emebeghị ya) Wafers Silicon Carbide Semi-Insulating Sic Substrates (HPSl)

Foto a na-egosi na ọ dị ọcha nke sentimita atọ (anaghị etinye ya n'ime akpa) nke silicon carbide wafers semi-insulating sic substrates (HPSl)

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Wafer Silicon Carbide (SiC) nke dị sentimita atọ n'obosara bụ ihe e ji eme ka ọ dị mma maka ngwa optoelectronic dị elu, nke na-adị elu, na nke na-anaghị emerụ ahụ. Ejiri ihe 4H-SiC dị ọcha nke na-adịghị emerụ ahụ rụọ ya, wafer ndị a na-egosipụta ezigbo ike ọkụ, bandgap sara mbara, na ihe pụrụ iche nke na-egbochi ihe, nke na-eme ka ha dị mkpa maka mmepe ngwaọrụ dị elu. Site na iguzosi ike n'ezi ihe na ịdị mma elu, ihe ndị e ji eme ihe na HPSI SiC na-eje ozi dị ka ntọala maka teknụzụ ọgbọ na-abịa na ụlọ ọrụ eletrọnịkị ike, nkwukọrịta, na ụgbọ elu, na-akwado ihe ọhụrụ n'ọtụtụ ubi dị iche iche.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Njirimara

1. Njirimara Anụ ahụ na Nhazi
●Ụdị Ihe: Ọcha Dị Elu (Emebeghị ya) Silicon Carbide (SiC)
● Dayameta: sentimita atọ (76.2 mm)
●Ọkpụrụkpụ: 0.33-0.5 mm, enwere ike ịhazi ya dabere na ihe achọrọ maka ngwa.
●Nhazi kristal: ụdị polytype 4H-SiC nwere lattice hexagonal, nke a maara maka ngagharị elektrọn dị elu na nkwụsi ike okpomọkụ.
●Nhazi:
oỤkpụrụ: [0001] (C-plane), nke dabara adaba maka ọtụtụ ngwa dị iche iche.
oNhọrọ: N'akụkụ dị n'akụkụ (4° ma ọ bụ 8° nke na-agbagọ agbagọ) maka mmụba nke epitaxial nke akwa ngwaọrụ.
●Ịdị larịị: Mgbanwe ọkpụrụkpụ zuru oke (TTV) ●Ịdị mma elu:
o A na-eme ka ọ dị mma ruo na njupụta dị ala (<10/cm² micropipe njupụta). 2. Njirimara eletriki ●Nguzogide: >109^99 Ω·cm, nke a na-eji ewepụ ihe ndị e ji mee ihe n'amaghị ama.
●Ike Dielectric: Ike voltaji dị elu yana obere mfu dielectric, nke dị mma maka ojiji ike dị elu.
●Ọnọdụ okpomọkụ: 3.5-4.9 W/cm·K, nke na-eme ka ọkụ dị irè na ngwaọrụ ndị nwere arụmọrụ dị elu.

3. Njirimara nke okpomọkụ na nke mekaniki
●Oke band: 3.26 eV, nke na-akwado ọrụ n'okpuru oke voltaji, oke okpomọkụ, na oke radieshon.
●Isi Ike: Mohs 9, na-eme ka o sie ike megide iyi igwe n'oge nhazi.
●Njikọ Mgbasa Okpomọkụ: 4.2×10−6/K4.2 \ugboro 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, na-eme ka akụkụ kwụsie ike n'okpuru mgbanwe okpomọkụ.

Paramita	Ọkwa Mmepụta	Ọkwa Nnyocha	Akara Dọmị	Ngalaba
Ọkwa	Ọkwa Mmepụta	Ọkwa Nnyocha	Akara Dọmị
Dayameta	76.2 ± 0.5	76.2 ± 0.5	76.2 ± 0.5	mm
Ọkpụrụkpụ	500 ± 25	500 ± 25	500 ± 25	µm
Nhazi Wafer	N'akụkụ: <0001> ± 0.5°	N'akụkụ: <0001> ± 2.0°	N'akụkụ: <0001> ± 2.0°	ogo
Njupụta nke paịpụ micropipe (MPD)	≤ 1	≤ 5	≤ 10	cm−2^-2−2
Nguzogide Ọdụdọ Eletriki	≥ 1E10	≥ 1E5	≥ 1E5	Ω·cm
Dopant	Emeghị ihe ọ bụla e ji amịpụta	Emeghị ihe ọ bụla e ji amịpụta	Emeghị ihe ọ bụla e ji amịpụta
Nhazi Ala Dị Elu nke Mbụ	{1-100} ± 5.0°	{1-100} ± 5.0°	{1-100} ± 5.0°	ogo
Ogologo Dị larịị nke Mbụ	32.5 ± 3.0	32.5 ± 3.0	32.5 ± 3.0	mm
Ogologo Dị larịị nke Abụọ	18.0 ± 2.0	18.0 ± 2.0	18.0 ± 2.0	mm
Nhazi nke Abụọ nke Dị larịị	90° CW site na ụlọ elu mbụ ± 5.0°	90° CW site na ụlọ elu mbụ ± 5.0°	90° CW site na ụlọ elu mbụ ± 5.0°	ogo
Mwepu nke Ọnụọgụ	3	3	3	mm
LTV/TTV/Bọọlụ/Mkpụgharị	3 / 10 / ± 30 / 40	3 / 10 / ± 30 / 40	5 / 15 / ±40 / 45	µm
Ọdịdị Elu	Ihu Si: CMP, Ihu C: Emechara ka ọ dị mma	Ihu Si: CMP, Ihu C: Emechara ka ọ dị mma	Ihu Si: CMP, Ihu C: Emechara ka ọ dị mma
Mgbawa (Ọkụ siri ike nke ukwuu)	Ọ dịghị	Ọ dịghị	Ọ dịghị
Efere Hex (Ọkụ siri ike nke ukwuu)	Ọ dịghị	Ọ dịghị	Mpaghara mkpokọta 10%	%
Ebe Polytype (Ọkụ Dị Ike)	Mpaghara mkpokọta 5%	Mpaghara mkpokọta 20%	Mpaghara mkpokọta 30%	%
Ọkpụkpọ (Ọkụ siri ike nke ukwuu)	≤ 5 ọkọ, ogologo mkpokọta ≤ 150	≤ 10 ọkọ, ogologo mkpokọta ≤ 200	≤ 10 ọkọ, ogologo mkpokọta ≤ 200	mm
Mkpọchi ọnụ	Ọ dịghị ≥ obosara/omimi 0.5 mm	2 ekwere ≤ 1 mm obosara/omimi	A na-ekwe ka 5 ≤ 5 mm obosara/omimi	mm
Mmetọ Elu	Ọ dịghị	Ọ dịghị	Ọ dịghị

Ngwa

1. Elektrọniki Ike
Oke bandgap na oke okpomọkụ nke ihe ndị HPSI SiC substrates na-eme ka ha dị mma maka ngwaọrụ ike na-arụ ọrụ n'ọnọdụ dị oke njọ, dịka:
●Ngwaọrụ voltaji dị elu: Gụnyere MOSFET, IGBT, na Schottky Barrier Diodes (SBDs) maka mgbanwe ike dị irè.
● Sistemụ Ike Mmeghari ohuru: Dịka ihe ndị na-agbanwe ọkụ anyanwụ na ihe ndị na-achịkwa turbine ikuku.
●Ụgbọala eletriki (EV): A na-eji ya eme ihe na inverters, chaja, na sistemu powertrain iji melite arụmọrụ ma belata nha.

2. Ngwa RF na Ngwa ...
Nnukwu iguzogide na obere mfu dielectric nke wafers HPSI dị oke mkpa maka sistemụ redio-frequency (RF) na microwave, gụnyere:
●Akụkụ Nkwukọrịta: Ọdụ ndị dị n'okpuru maka netwọk 5G na nkwukọrịta satịlaịtị.
●Aerospace na Nchebe: Sistemụ radar, antenna nhazi usoro, na akụkụ avionics.

3. Optoelectronics
Nghọta na nnukwu bandgap nke 4H-SiC na-eme ka ojiji ya na ngwaọrụ optoelectronic, dịka:
●Ihe nchọpụta foto UV: Maka nlekota gburugburu ebe obibi na nchọpụta ahụike.
●LED ndị nwere ike dị elu: Na-akwado sistemụ ọkụ siri ike.
●Diodes Laser: Maka ngwa ọrụ ụlọ ọrụ mmepụta ihe na ahụike.

4. Nnyocha na Mmepe
A na-eji ihe ndị e ji emepụta HPSI SiC eme ihe n'ụlọ nyocha na ụlọ ọrụ mmepụta ihe maka ịchọpụta ihe ndị dị elu na imepụta ngwaọrụ, gụnyere:
●Ọganihu nke Epitaxial Layer: Ọmụmụ ihe gbasara mbelata ntụpọ na imeziwanye oyi akwa.
●Ọmụmụ Ihe Ndị Na-ebu Ụgbọala: Nnyocha nke mbugharị elektrọn na oghere n'ime ihe ndị dị ọcha nke ukwuu.
●Ịmepụta ihe atụ: Mmepe mbụ nke ngwaọrụ na sekit ọhụrụ.

Uru

Ogo Kachasị Elu:
Ịdị ọcha dị elu na obere ntụpọ na-enye ikpo okwu a pụrụ ịtụkwasị obi maka ngwa dị elu.

Ịkwụsi Ike nke Okpomọkụ:
Njirimara dị mma nke ikpo ọkụ na-enye ngwaọrụ ohere ịrụ ọrụ nke ọma n'okpuru ọnọdụ ike na okpomọkụ dị elu.

Ndakọrịta sara mbara:
Nhazi dị na nhọrọ ọkpụrụkpụ omenala na-eme ka a nwee ike ịgbanwe ihe dị iche iche achọrọ maka ngwaọrụ.

Ogologo oge:
Ike siri ike na nkwụsi ike nke ihe owuwu na-ebelata iyi na mgbanwe n'oge nhazi na ọrụ.

Ịdị iche iche:
Ọ dabara adaba maka ọtụtụ ụlọ ọrụ dị iche iche, site na ike mmeghari ohuru ruo na ụgbọ elu na nkwukọrịta.

Mmechi

Wafer Silicon Carbide nke dị sentimita atọ n'obosara na-anọchite anya teknụzụ substrate kachasị elu maka ngwaọrụ ike dị elu, ugboro ugboro dị elu, na optoelectronic. Nchikota ya nke ihe ndị dị mma na okpomọkụ, eletriki, na igwe na-eme ka arụmọrụ a pụrụ ịdabere na ya na gburugburu ebe siri ike. Site na ngwa eletrọnịkị ike na sistemụ RF ruo na optoelectronics na R&D dị elu, ihe ndị a na-emepụta HPSI na-enye ntọala maka ihe ọhụrụ echi.
Maka ozi ndị ọzọ ma ọ bụ ịtụ ihe, biko kpọtụrụ anyị. Ndị otu teknụzụ anyị dị njikere inye nduzi na nhọrọ nhazi ahaziri maka mkpa gị.