200mm 8inch GaN na sapphire Epi-layer wafer substrate
Okwu mmeghe ngwaahịa
Ihe mejupụtara GaN-on-Sapphire nke dị sentimita asatọ bụ ihe e ji emepụta semiconductor dị elu nke e ji akwa Gallium Nitride (GaN) nke e toro n'elu ihe e ji emepụta Sapphire mee. Ihe a na-enye ezigbo ihe eji ebuga eletrọniki ma dịkwa mma maka imepụta ngwaọrụ semiconductor dị ike ma dị elu.
Ụzọ Mmepụta
Usoro mmepụta ihe a gụnyere uto epitaxial nke oyi akwa GaN na ihe mkpuchi Sapphire site na iji usoro dị elu dịka deposition metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) ma ọ bụ molecular beam epitaxy (MBE). A na-eme deposition ahụ n'okpuru ọnọdụ a na-achịkwa iji hụ na kristal dị elu na otu ihe nkiri ahụ si dị.
Ngwa
Ihe owuwu GaN-on-Sapphire nke dị sentimita asatọ na-achọta ọtụtụ ojiji n'ọtụtụ ngalaba dị iche iche dịka nkwukọrịta microwave, sistemụ radar, teknụzụ ikuku, na optoelectronics. Ụfọdụ n'ime ngwa ndị a na-ejikarị eme ihe gụnyere:
1. Ngwa ngwa ike RF
2. Ụlọ ọrụ ọkụ LED
3. Ngwaọrụ nkwukọrịta netwọk ikuku
4. Ngwaọrụ eletrọniki maka gburugburu okpomọkụ dị elu
5. Ongwaọrụ eletrọniki
Nkọwapụta Ngwaahịa
-Nha: Nha ihe owuwu ahụ dị sentimita asatọ (200 mm) n'obosara.
- Ogo Elu: A na-eme ka elu ahụ dị nro nke ukwuu ma na-egosipụta àgwà dị ka enyo dị mma.
- Ọkpụrụkpụ: Enwere ike ịhazi ọkpụrụkpụ oyi akwa GaN dabere na ihe achọrọ.
- Nkwakọ ngwaahịa: A na-eji ihe ndị na-egbochi mmebi eme ihe nke ọma n'ime ihe ndị na-egbochi mmebi iji gbochie mmebi n'oge njem.
- Nhazi Ala Dị larịị: Ihe owuwu ahụ nwere oghere pụrụ iche iji nyere aka na nhazi na njikwa wafer n'oge usoro nrụpụta ngwaọrụ.
- Paramita ndị ọzọ: Enwere ike ịhazi nkọwapụta nke ọkpụrụkpụ, iguzogide, na ntinye dopant dịka ihe ndị ahịa chọrọ si dị.
Site na ihe onwunwe ya dị elu na ngwa dị iche iche, ihe nchekwa GaN-on-Sapphire nke dị sentimita 8 bụ nhọrọ a pụrụ ịtụkwasị obi maka mmepe nke ngwaọrụ semiconductor dị elu na ụlọ ọrụ dị iche iche.
E wezụga GaN-On-Sapphire, anyị nwekwara ike ịnye n'ọhịa ngwa ngwaọrụ ike, ezinụlọ ngwaahịa ahụ gụnyere wafers epitaxial AlGaN/GaN-on-Si nke dị sentimita asatọ na wafers epitaxial AlGaN/GaN-on-Si nke dị sentimita asatọ. N'otu oge ahụ, anyị mepụtara ngwa nke teknụzụ epitaxial GaN nke dị sentimita asatọ n'ime ite microwave, ma mepụta wafer epitaxy AlGaN/GAN-on-HR Si nke dị sentimita asatọ nke jikọtara arụmọrụ dị elu yana nnukwu nha, ọnụ ala dị ala ma dakọtara na nhazi ngwaọrụ 8-inch ọkọlọtọ. Na mgbakwunye na gallium nitride nke dị na silicon, anyị nwekwara ahịrị ngwaahịa nke wafers epitaxial AlGaN/GaN-on-SiC iji gboo mkpa ndị ahịa maka ihe epitaxial gallium nitride nke dị na silicon.
Ihe osise zuru ezu
