Ụdị SiC P-ụdị 4H/6H-P 3C-N 4inch nwere ọkpụrụkpụ nke 350um Production ọkwa dummy

Ụdị SiC P-ụdị 4H/6H-P 3C-N 4inch nwere ọkpụrụkpụ nke 350um Mmepụta ọkwa Dummy ọkwa egosipụtara

Nkọwa dị mkpirikpi:

Ụdị SiC nke P-ụdị 4H/6H-P 3C-N 4-inch SiC, nke nwere ọkpụrụkpụ nke 350 μm, bụ ihe semiconductor na-arụ ọrụ dị elu nke a na-ejikarị eme ihe n'ichepụta ngwaọrụ eletrọnịkị. Amara maka ọpụrụiche thermal conductivity, nnukwu mgbawa voltaji, na iguzogide oke okpomọkụ na gburugburu corrosive, mkpụrụ a dị mma maka ngwa eletrọnịkị ike. A na-eji ihe mmepụta ihe na-emepụta ihe na-emepụta ihe na-emepụta nnukwu ihe, na-eme ka njikwa dị mma na ntụkwasị obi dị elu na ngwaọrụ eletrik dị elu. Ka ọ dị ugbu a, a na-eji mkpụrụ osisi dummy-grade mee ihe maka nbibi nhazi, nhazi ngwa ngwa, na imepụta ihe. Ngwongwo kachasị elu nke SiC na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ magburu onwe ya maka ngwaọrụ ndị na-arụ ọrụ na okpomọkụ dị elu, nnukwu voltaji na gburugburu ebe dị elu, gụnyere ngwaọrụ ike na usoro RF.

Zitere anyị email

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

4inch SiC mkpụrụ osisi P-ụdị 4H/6H-P 3C-N tebụl oke

4 inch dayameta SiliconMkpụrụ osisi Carbide (SiC). Nkọwapụta

Ọkwa			Mmepụta MPD efu Ọkwa (Z Ọkwa)	Standard mmepụta Ọkwa (P Ọkwa)	Ngụsị akwụkwọ (D Ọkwa)
Dayameta			99.5 mm ~ 100.0 mm
Ọkpụrụkpụ			350 μm ± 25 μm
Usoro Wafer			Gbanyụọ axis: 2.0°-4.0° chere ihu [112(-)0] ± 0.5° maka 4H/6H-P, On axis:〈111〉± 0.5° maka 3C-N
Njupụta Micropipe			0 cm-2
Nguzogide	p-ụdị 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏcm		≤0.3 mm
	n-ụdị 3C-N		≤0.8 mΩ nke cm		≤1 m Ωꞏcm
Nhazi Flat nke izizi		4H/6H-P	- {1010} ± 5.0°
		3C-N	- {110} ± 5.0°
Ogologo Flat nke izizi			32.5 mm ± 2.0 mm
Ogologo Flat nke abụọ			18.0 mm ± 2.0 mm
Nhazi Flat nke abụọ			Silicon ihu elu: 90° CW. si Prime flat±5.0°
Mwepu ihu			3 mm		6 mm
LTV/TTV/Ụta/Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Isi ike			Polish Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra ≤0.5 nm
Edge cracks Site na nnukwu ọkụ ọkụ			Ọ dịghị		Ogologo ngụkọta ≤ 10 mm, otu ogologo≤2 mm
Efere Hex Site na Ìhè Dị Elu			Mpaghara mkpokọta ≤0.05%		Mpaghara mkpokọta ≤0.1%
Mpaghara Polytype Site n'ìhè dị elu			Ọ dịghị		Mpaghara mkpokọta≤3%
Ntinye Carbon Anya Anya			Mpaghara mkpokọta ≤0.05%		Mpaghara mkpokọta ≤3%
Silicon dị n'elu Scratches Site na nnukwu ọkụ ọkụ			Ọ dịghị		Mgbakọ ogologo≤1 × dayameta wafer
Edge Chips High Site n'ọkụ ọkụ			Ọnweghị nke anabatara obosara na omimi ≥0.2mm		5 kwere, ≤1 mm nke ọ bụla
Mmetọ Silicon dị n'elu site na oke ike			Ọ dịghị
Nkwakọ ngwaahịa			Cassette Multi-wafer ma ọ bụ otu akpa wafer

ndetu:

※ Oke ntụpọ na-emetụta n'elu wafer dum ma ewezuga mpaghara mwepu ihu. # Ekwesịrị ịlele ncha ahụ naanị na ihu Si.

A na-etinye ụdị P-ụdị 4H / 6H-P 3C-N 4-inch SiC mkpụrụ nwere ọkpụrụkpụ nke 350 μm n'ichepụta ngwa elektrọnik na ike ngwaọrụ. Site na njikwa ọkụ dị mma, voltaji ndakpọ dị elu, yana nguzogide siri ike na gburugburu ebe dị oke egwu, mkpụrụ a dị mma maka ngwa eletrọnịkị dị elu dị ka mgba ọkụ voltaji dị elu, ndị inverters na ngwaọrụ RF. A na-eji ihe ndị na-emepụta ihe na-emepụta ihe na-emepụta ihe na-emepụta nnukwu ihe, na-ahụ na a pụrụ ịdabere na ya, na-arụ ọrụ ngwaọrụ dị elu, nke dị oke mkpa maka ngwa eletrik eletrik na ngwa ngwa dị elu. Dummy-grade substrates, n'aka nke ọzọ, a na-ejikarị eme ihe maka nhazi usoro, nyocha ngwá ọrụ, na mmepe prototype, na-enyere aka ịnọgide na-ahụ maka njikwa mma na nhazi usoro na mmepụta semiconductor.

Nkọwapụta Uru nke ụdị N-ụdị SiC ngwakọta mejupụtara gụnyere

Omume okpomọkụ dị elu: Mgbasa ọkụ na-arụ ọrụ nke ọma na-eme ka mkpụrụ ahụ dị mma maka ngwa ọkụ dị elu na ike dị elu.
Voltaji ndakpọ dị elu: Na-akwado ọrụ voltaji dị elu, na-ahụ na a pụrụ ịdabere na eletrik eletrik na ngwaọrụ RF.
Nguzogide gburugburu ebe siri ike: Na-adịgide adịgide na ọnọdụ dị oke egwu dị ka okpomọkụ dị elu na gburugburu ebe obibi na-emebi emebi, na-eme ka arụmọrụ na-adịte aka.
Mmepụta-ọkwa nkenke: Na-eme ka arụmọrụ dị elu na nke a pụrụ ịdabere na ya na nnukwu mmepụta ihe, dabara maka ike dị elu na ngwa RF.
Dummy-ọkwa maka ule: Na-eme ka nhazi usoro ziri ezi, nyocha akụrụngwa, na prototyping na-emebighị wafer ọkwa ọkwa mmepụta.

N'ozuzu, P-ụdị 4H / 6H-P 3C-N 4-inch SiC mkpụrụ na a ọkpụrụkpụ nke 350 μm na-enye nnukwu uru maka elu-arụmọrụ electronic ngwa. Igwe ọkụ ọkụ ya dị elu na volta mmebi na-eme ka ọ dị mma maka ike dị elu na gburugburu okpomọkụ, ebe ọ na-eguzogide ọnọdụ siri ike na-eme ka ọ dị ogologo na ntụkwasị obi. Mgbopụta ọkwa ọkwa na-eme ka arụ ọrụ ziri ezi na arụ ọrụ na-agbanwe agbanwe n'ichepụta ngwa elektrọnik na ngwaọrụ RF buru ibu. Ka ọ dị ugbu a, mkpụrụ osisi dummy-grade dị mkpa maka nhazi usoro, nnwale akụrụngwa, na prototyping, na-akwado njikwa mma na nkwụsi ike na mmepụta semiconductor. Atụmatụ ndị a na-eme ka ihe ndị SiC na-arụ ọrụ nke ọma maka ngwa dị elu.