Wafer SiC nke ụdị P 4H/6H-P 3C-N 6inch ọkpụrụkpụ 350 μm yana nhazi dị larịị nke mbụ
Nkọwapụta Ụdị 4H/6H-P SiC Composite Substrates Tebụl paramita nkịtị
6 Ihe mejupụtara Silicon Carbide (SiC) nke dayameta inch Nkọwapụta
| Ọkwa | Mmepụta MPD efuỌkwa (Z) Ọkwa) | Mmepụta ọkọlọtọỌkwa (P) Ọkwa) | Akara Dọmị (D Ọkwa) | ||
| Dayameta | 145.5 mm~150.0 mm | ||||
| Ọkpụrụkpụ | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Nhazi Wafer | -Offaxis: 2.0°-4.0° gaa [1120] ± 0.5° maka 4H/6H-P, N'axis: 〈111〉± 0.5° maka 3C-N | ||||
| Njupụta nke paịpụ micropipe | 0 cm-2 | ||||
| Nguzogide | ụdị p-4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| ụdị n-3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
| Nhazi Ala Dị Elu nke Mbụ | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| Ogologo Dị larịị nke Mbụ | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
| Ogologo Dị larịị nke Abụọ | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
| Nhazi nke Abụọ nke Dị larịị | Ihu silicon dị elu: 90° CW. site na Prime flat ± 5.0° | ||||
| Mwepu nke Ọnụọgụ | 3 mm | 6 mm | |||
| LTV/TTV/Bọọlụ/Mgbawa | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| Isi ike | Polish Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| Mgbawa Ọkụ Site na Ọkụ Ike Dị Elu | Ọ dịghị | Ogologo mkpokọta ≤ 10 mm, otu ogologo ≤ 2 mm | |||
| Efere Hex Site na Ìhè Dị Ike | Mpaghara mkpokọta ≤0.05% | Mpaghara mkpokọta ≤0.1% | |||
| Ebe Polytype Site na Ọkụ Dị Ike | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤3% | |||
| Ihe Ndị A Na-ahụ Anya Banyere Carbon | Mpaghara mkpokọta ≤0.05% | Mpaghara mkpokọta ≤3% | |||
| Ọkpụkpọ Elu Silikọn Site na Ìhè Dị Ike | Ọ dịghị | Ogologo mkpokọta ≤ 1 × dayameta wafer | |||
| Ibe Ọkụ Dị Elu Site na Ìhè Ike | Ọ dịghị nke a nabatara ≥0.2mm obosara na omimi | 5 e kwere, ≤1 mm nke ọ bụla | |||
| Mmetọ Elu Silikọn Site na Ike Dị Elu | Ọ dịghị | ||||
| Nkwakọ ngwaahịa | Kaseti nwere ọtụtụ wafer ma ọ bụ otu Wafer Container | ||||
Ihe ndị e dere:
※ Oke ntụpọ dị na elu wafer dum ma e wezụga ebe a na-ewepụ nsọtụ ya. # A ga-enyocha ihe ndị ahụ na ihu Si o
Wafer SiC nke ụdị P, nke dị sentimita 6 n'obosara ya na ọkpụrụkpụ ya bụ 350 μm, na-arụ ọrụ dị oke mkpa na mmepụta nke ngwa eletrọniki ike dị elu n'ụlọ ọrụ mmepụta ihe. Ọ na-eme ka ọ dị mma maka imepụta ihe dịka swiitị ike, diode, na transistors eji eme ihe n'ebe okpomọkụ dị elu dịka ụgbọala eletrik, grid ike, na sistemụ ike mmeghari ohuru. Ike wafer ahụ iji rụọ ọrụ nke ọma n'ọnọdụ siri ike na-eme ka arụmọrụ a pụrụ ịdabere na ya na ngwa ụlọ ọrụ mmepụta ihe nke chọrọ njupụta ike dị elu na arụmọrụ ike. Na mgbakwunye, nhazi ya dị larịị na-enyere aka na nhazi ziri ezi n'oge nrụpụta ngwaọrụ, na-eme ka arụmọrụ mmepụta na ịdị n'otu ngwaahịa dịkwuo mma.
Uru nke ihe mejupụtara SiC nke ụdị N-type gụnyere
- Oke Ọkụ Na-eduzi Ya: Wafers ụdị P-type SiC na-ewepụ okpomọkụ nke ọma, na-eme ka ha dị mma maka ojiji okpomọkụ dị elu.
- Voltaji Nkwụsị Dị Elu: Nwere ike iguzogide nnukwu voltaji, na-ahụ na a pụrụ ịtụkwasị obi na ngwa eletrọniki ike na ngwaọrụ voltaji dị elu.
- Nguzogide Gburugburu Ebe Obibi Dị Ike: Ọ na-adịgide adịgide nke ọma n'ọnọdụ dị oke njọ, dịka oke okpomọkụ na gburugburu ebe obibi na-emebi emebi.
- Mgbanwe Ike Dị Irè: Ụdị P-doping ahụ na-eme ka njikwa ike dị irè, na-eme ka wafer ahụ dabara adaba maka sistemụ mgbanwe ike.
- Nhazi Ala Dị Elu nke Mbụ: Na-ahụ na nhazi ziri ezi n'oge nrụpụta, na-eme ka izi ezi na ịdị n'otu nke ngwaọrụ dịkwuo mma.
- Ọdịdị dị gịrịgịrị (350 μm): Oke ọkpụrụkpụ kachasị mma nke wafer ahụ na-akwado ijikọ na ngwaọrụ eletrọniki dị elu, nke nwere oke oghere.
N'ozuzu ya, ụdị P-type SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, na-enye ọtụtụ uru dị iche iche nke na-eme ka ọ dabara nke ọma maka ngwa ụlọ ọrụ mmepụta ihe na eletrọniki. Oke ike ya na voltaji mmebi na-eme ka ọrụ a pụrụ ịdabere na ya na gburugburu okpomọkụ na oke voltaji, ebe iguzogide ọnọdụ siri ike na-eme ka ọ sie ike. Ụdị P-type doping na-enye ohere maka mgbanwe ike dị irè, na-eme ka ọ dị mma maka eletrọniki ike na sistemụ ike. Na mgbakwunye, nhazi mbụ nke wafer ahụ na-eme ka nhazi ziri ezi n'oge usoro mmepụta, na-eme ka mmepụta ahụ dịkwuo mma. Site na ọkpụrụkpụ nke 350 μm, ọ dabara nke ọma maka itinye aka na ngwaọrụ dị elu, obere.
Ihe osise zuru ezu
