SiC wafer 4H-N 6H-N HPSI 4H-ọkara 6H-ọkara 4H-P 6H-P 3C ụdị 2inch 3inch 4inch 6inch 8inch
Njirimara
4H-N na 6H-N (Ụdị N-N-SiC Wafers)
Ngwa:A na-ejikarị ya eme ihe n'ihe gbasara ike eletrọniki, optoelectronics, na ngwa okpomọkụ dị elu.
Oke Dayameta:Ogologo ya sitere na 50.8 ruo 200 mm.
Ọkpụrụkpụ:350 μm ± 25 μm, nke nwere ọkpụrụkpụ nhọrọ nke 500 μm ± 25 μm.
Nguzogide:Ụdị N-4H/6H-P: ≤ 0.1 Ω·cm (Ọkwa Z), ≤ 0.3 Ω·cm (Ọkwa P); Ụdị N-3C-N: ≤ 0.8 mΩ·cm (Ọkwa Z), ≤ 1 mΩ·cm (Ọkwa P).
Ike:Ra ≤ 0.2 nm (CMP ma ọ bụ MP).
Njupụta nke paịpụ micropipe (MPD):<1 otu/cm².
TV: ≤ 10 μm maka dayameta niile.
Mkpụcha: ≤ 30 μm (≤ 45 μm maka wafers nke dị sentimita asatọ).
Mwepu nke Akụkụ:3 mm ruo 6 mm dabere na ụdị wafer.
Nkwakọ ngwaahịa:Kaseti nwere ọtụtụ wafer ma ọ bụ otu wafer.
Ohter dị nha 3inch 4inch 6inch 8inch
HPSI (Mpempe Mmiri SiC Dị Ọcha Dị Elu)
Ngwa:A na-eji ya maka ngwaọrụ ndị chọrọ nguzogide dị elu na arụmọrụ kwụsiri ike, dịka ngwaọrụ RF, ngwa photonic, na sensọ.
Oke Dayameta:Ogologo ya sitere na 50.8 ruo 200 mm.
Ọkpụrụkpụ:Ọkpụrụkpụ ọkọlọtọ nke 350 μm ± 25 μm yana nhọrọ maka wafers dị arọ ruo 500 μm.
Ike:Ra ≤ 0.2 nm.
Njupụta nke paịpụ micropipe (MPD): ≤ 1 ½ nke otu 1/cm².
Nguzogide:Nguzogide dị elu, a na-ejikarị ya eme ihe na ngwa mkpuchi ọkara.
Mkpụcha: ≤ 30 μm (maka obere nha), ≤ 45 μm maka dayameta buru ibu.
TV: ≤ 10 μm.
Ohter dị nha 3inch 4inch 6inch 8inch
4H-P、6H-P&3C Wafer SiC(Ụdị P-ụdị SiC Wafers)
Ngwa:Karịsịa maka ngwaọrụ ike na nke dị elu.
Oke Dayameta:Ogologo ya sitere na 50.8 ruo 200 mm.
Ọkpụrụkpụ:350 μm ± 25 μm ma ọ bụ nhọrọ ahaziri ahazi.
Nguzogide:Ụdị P-4H/6H-P: ≤ 0.1 Ω·cm (Ọkwa Z), ≤ 0.3 Ω·cm (Ọkwa P).
Ike:Ra ≤ 0.2 nm (CMP ma ọ bụ MP).
Njupụta nke paịpụ micropipe (MPD):<1 otu/cm².
TV: ≤ 10 μm.
Mwepu nke Akụkụ:Site na 3 ruo 6 mm.
Mkpụcha: ≤ 30 μm maka obere nha, ≤ 45 μm maka nnukwu nha.
Ohter dị nha 3inch 4inch 6inch5×5 10×10
Tebụl Paramita Data nkebi
| Akụ na ụba | 2 inch | sentimita atọ | 4inch | 6inch | sentimita asatọ | |||
| Ụdị | 4H-N/HPSI/ | 4H-N/HPSI/ | 4H-N/HPSI//4H/6H-P/3C; | 4H-N/HPSI//4H/6H-P/3C; | 4H-N/HPSI/4H-SEMI | |||
| Dayameta | 50.8 ± 0.3 mm | 76.2±0.3mm | 100±0.3mm | 150±0.3mm | 200 ± 0.3 mm | |||
| Ọkpụrụkpụ | 330 ± 25 um | 350 ±25 um | 350 ±25 um | 350 ±25 um | 350 ±25 um | |||
| 350±25um; | 500±25um | 500±25um | 500±25um | 500±25um | ||||
| ma ọ bụ ahaziri ahazi | ma ọ bụ ahaziri ahazi | ma ọ bụ ahaziri ahazi | ma ọ bụ ahaziri ahazi | ma ọ bụ ahaziri ahazi | ||||
| Isi ike | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | |||
| Warp | ≤ 30um | ≤ 30um | ≤ 30um | ≤ 30um | ≤45um | |||
| TV | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um | |||
| Kpụọ/Gwuo | CMP/MP | |||||||
| MPD | <1ea/cm-2 | <1ea/cm-2 | <1ea/cm-2 | <1ea/cm-2 | <1ea/cm-2 | |||
| Ụdị | Gburugburu, Dị larịị 16mm; N'ogologo 22mm; N'ogologo 30/32.5mm; N'ogologo 47.5mm; N'ọkwa; N'ọkwa; | |||||||
| Bevel | 45°, Ọkara nkọwapụta; Ọdịdị C | |||||||
| Ọkwa | Ọkwa mmepụta maka MOS&SBD; Ọkwa nyocha; Ọkwa Dummy, Ọkwa Wafer Mkpụrụ | |||||||
| Okwu ndị e kwuru | Enwere ike ịhazi dayameta, ọkpụrụkpụ, nhazi, nkọwapụta dị n'elu dịka arịrịọ gị si dị | |||||||
Ngwa
·Eletrọniki Ike
Wafers ụdị N dị oke mkpa na ngwaọrụ eletrọniki ike n'ihi ikike ha nwere ijikwa voltaji dị elu na ọkụ eletrik dị elu. A na-ejikarị ha eme ihe na ihe mgbanwe ike, inverters, na draịva moto maka ụlọ ọrụ dịka ike mmeghari ohuru, ụgbọ ala eletrik, na akpaaka ụlọ ọrụ mmepụta ihe.
· Optoelectronics
A na-eji ihe ndị dị ka N SiC, ọkachasị maka ojiji optoelectronic, eme ihe na ngwaọrụ dịka diode na-ewepụta ìhè (LED) na diode laser. Ọkwa okpomọkụ dị elu ha na bandgap sara mbara na-eme ka ha dị mma maka ngwaọrụ optoelectronic dị elu.
·Ngwa Okpomọkụ Dị Elu
Wafers 4H-N 6H-N SiC dị mma maka gburugburu okpomọkụ dị elu, dịka na sensọ na ngwaọrụ ike eji eme ihe na mbara igwe, ụgbọ ala, na ụlọ ọrụ mmepụta ihe ebe mgbasa okpomọkụ na nkwụsi ike na okpomọkụ dị elu dị oke mkpa.
·Ngwaọrụ RF
A na-eji wafers 4H-N 6H-N SiC eme ihe na ngwaọrụ redio ugboro ugboro (RF) nke na-arụ ọrụ na oke ugboro ugboro. A na-etinye ha na sistemụ nkwukọrịta, teknụzụ radar, na nkwukọrịta satịlaịtị, ebe achọrọ arụmọrụ ike dị elu na arụmọrụ dị elu.
·Ngwa Photonic
Na fotonik, a na-eji wafer SiC maka ngwaọrụ dịka fotodetektọ na modulators. Njirimara pụrụ iche nke ihe ahụ na-enye ya ohere ịrụ ọrụ nke ọma na mmepụta ìhè, mgbanwe, na nchọpụta na sistemụ nkwukọrịta anya na ngwaọrụ onyonyo.
·Sensọ
A na-eji wafer SiC eme ihe n'ọtụtụ ihe mmetụta, ọkachasị n'ebe siri ike ebe ihe ndị ọzọ nwere ike ịda. Ndị a gụnyere okpomọkụ, nrụgide, na ihe mmetụta kemịkalụ, nke dị mkpa n'ọhịa dịka ụgbọala, mmanụ na gas, na nlekota gburugburu ebe obibi.
·Sistemụ draịva ụgbọala eletriki
Teknụzụ SiC na-arụ ọrụ dị mkpa n'ụgbọala eletrik site n'ime ka arụmọrụ na arụmọrụ nke sistemụ draịva dịkwuo mma. Site na SiC power semiconductors, ụgbọala eletrik nwere ike nweta ndụ batrị ka mma, oge chajị ngwa ngwa, na arụmọrụ ike ka mma.
·Ihe mmetụta dị elu na ihe mgbanwe fotonik
Na teknụzụ sensọ dị elu, a na-eji wafer SiC emepụta sensọ dị oke nkenke maka ngwa na robotik, ngwaọrụ ahụike, na nlekota gburugburu ebe obibi. Na ndị na-agbanwe fotonik, a na-eji ihe onwunwe SiC eme ihe iji mee ka mgbanwe ike eletriki dị irè gaa na akara anya, nke dị mkpa na nkwukọrịta na akụrụngwa ịntanetị dị elu.
Ajụjụ na Azịza
QKedu ihe bụ 4H na 4H SiC?
A:"4H" na 4H SiC na-ezo aka na nhazi kristal nke silicon carbide, ọkachasị ụdị hexagonal nwere akwa anọ (H). "H" na-egosi ụdị ụdị hexagonal polytype, na-ekewa ya na ụdị SiC ndị ọzọ dị ka 6H ma ọ bụ 3C.
QKedu ihe bụ ike okpomọkụ nke 4H-SiC?
A:Ọnụego okpomọkụ nke 4H-SiC (Silicon Carbide) dị ihe dị ka 490-500 W/m·K n'ọnọdụ okpomọkụ ụlọ. Ọnụego okpomọkụ dị elu a na-eme ka ọ dị mma maka itinye n'ọrụ na eletrọniki ike na gburugburu okpomọkụ dị elu, ebe ọ dị mkpa ka a na-ewepụ okpomọkụ nke ọma.














