SiC silicon carbide wafer SiC wafer 4H-N 6H-N HPSI (High ịdị ọcha Semi-Insulating) 4H/6H-P 3C -n ụdị 2 3 4 6 8inch dị
Njirimara
4H-N na 6H-N (ụdị SiC Wafers)
Ngwa:Ejiri ya na ngwa eletrọnịkị ike, optoelectronics, na ngwa okpomọkụ dị elu.
Oke dayameta:50.8 mm na 200 mm.
Ọkpụrụkpụ:350 μm ± 25 μm, na nhọrọ ọkpụrụkpụ nke 500 μm ± 25 μm.
Nguzogide:N-ụdị 4H/6H-P: ≤ 0.1 Ω·cm (Z-ọkwa), ≤ 0.3 Ω · cm (P-ọkwa); N-ụdị 3C-N: ≤ 0.8 mΩ·cm (Z-ọkwa), ≤ 1 mΩ·cm (P-ọkwa).
Isi ike:Ra ≤ 0.2 nm (CMP ma ọ bụ MP).
Njupụta Micropipe (MPD):<1 ea/cm².
TTV: ≤ 10 μm maka dayameta niile.
Warp: ≤ 30 μm (≤ 45 μm maka 8-inch wafers).
Mwepu ihu:3 mm ruo 6 mm dabere na ụdị wafer.
Nkwakọ ngwaahịa:Multi-wafer cassette ma ọ bụ otu akpa wafer.
Ohter dị nha 3inch 4inch 6inch 8inch
HPSI (SiC Wafers dị ọcha nke ukwuu)
Ngwa:Ejiri ya maka ngwaọrụ chọrọ nguzogide dị elu yana arụmọrụ kwụsiri ike, dị ka ngwaọrụ RF, ngwa fotonic na sensọ.
Oke dayameta:50.8 mm na 200 mm.
Ọkpụrụkpụ:Standard ọkpụrụkpụ nke 350 μm ± 25 μm na nhọrọ maka thicker wafers ruo 500 μm.
Isi ike:Ra ≤ 0.2 nm.
Njupụta Micropipe (MPD): ≤ 1 ea/cm².
Nguzogide:Nguzogide dị elu, nke a na-ejikarị na ngwa mkpuchi ọkara.
Warp: ≤ 30 μm (maka obere nha), ≤ 45 μm maka dayameta buru ibu.
TTV: ≤ 10 μm.
Ohter dị nha 3inch 4inch 6inch 8inch
4H-P,6H-P&3C SiC wafer(SiC Wafers ụdị P)
Ngwa:N'ụzọ bụ isi maka ike na ngwaọrụ dị elu.
Oke dayameta:50.8 mm na 200 mm.
Ọkpụrụkpụ:350 μm ± 25 μm ma ọ bụ ahaziri nhọrọ.
Nguzogide:Ụdị P-4H/6H-P: ≤ 0.1 Ω·cm (Z-ọkwa), ≤ 0.3 Ω·cm (P-ọkwa).
Isi ike:Ra ≤ 0.2 nm (CMP ma ọ bụ MP).
Njupụta Micropipe (MPD):<1 ea/cm².
TTV: ≤ 10 μm.
Mwepu ihu:3 mm ruo 6 mm.
Warp: ≤ 30 μm maka obere nha, ≤ 45 μm maka nha buru ibu.
Ohter dị nha 3inch 4inch 6inch5×5 10×10
Tebụl Ntụle Data akụkụ
Ngwongwo | 2 inch | 3 anụ ọhịa | 4 anụ ọhịa | 6 anụ ọhịa | 8 anụ ọhịa | |||
Ụdị | 4H-N/HPSI/ | 4H-N/HPSI/ | 4H-N/HPSI//4H/6H-P/3C; | 4H-N/HPSI//4H/6H-P/3C; | 4H-N/HPSI/4H-SEMI | |||
Dayameta | 50.8 ± 0.3 mm | 76.2 ± 0.3mm | 100± 0.3mm | 150± 0.3mm | 200 ± 0.3 mm | |||
Ọkpụrụkpụ | 330 ± 25 um | 350 ± 25 um | 350 ± 25 um | 350 ± 25 um | 350 ± 25 um | |||
350± 25um; | 500± 25um | 500± 25um | 500± 25um | 500± 25um | ||||
ma ọ bụ ahaziri | ma ọ bụ ahaziri | ma ọ bụ ahaziri | ma ọ bụ ahaziri | ma ọ bụ ahaziri | ||||
Isi ike | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | Ra ≤ 0.2nm | |||
Warp | ≤ 30um | ≤ 30um | ≤ 30um | ≤ 30um | ≤45um | |||
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um | |||
Scratch/gwuo | CMP/MP | |||||||
MPD | <1ea/cm-2 | <1ea/cm-2 | <1ea/cm-2 | <1ea/cm-2 | <1ea/cm-2 | |||
Ụdị | Gburugburu, Flat 16mm;OF ogologo 22mm; Nke Ogologo 30 / 32.5mm; Nke Ogologo 47.5mm; ỌZỌ; ỌZỌ; | |||||||
Bevel | 45°, SEMI Spec; Ụdị C | |||||||
Ọkwa | Ọkwa mmepụta maka MOS&SBD; Nchọpụta ọkwa ; Nzuzu grade ,Mkpụrụ wafer ọkwa | |||||||
Okwu | Dayameta, ọkpụrụkpụ, nghazi, nkọwa dị n'elu nwere ike ịhazi ya na arịrịọ gị |
Ngwa
·Igwe ọkụ eletrik
N ụdị SiC wafers dị oke mkpa na ngwaọrụ eletrọnịkị ike n'ihi ikike ha nwere ijikwa voltaji dị elu na ugbu a dị elu. A na-ejikarị ha eme ihe na ndị na-agbanwe ike, ndị ntụgharị, na moto draịva maka ụlọ ọrụ dị ka ume ọhụrụ, ụgbọ ala eletrik, na akpaaka ụlọ ọrụ.
· Optoelectronics
N ụdị SiC ihe, karịsịa maka ngwa optoelectronic, na-arụ ọrụ na ngwaọrụ ndị dị ka ìhè-emitting diodes (LEDs) na laser diodes. Igwe ọkụ ha dị elu na bandgap sara mbara na-eme ka ha dị mma maka ngwaọrụ optoelectronic na-arụ ọrụ dị elu.
·Ngwa dị oke ọkụ
4H-N 6H-N SiC wafers dị mma maka gburugburu okpomọkụ dị elu, dị ka sensọ na ngwaọrụ ike eji eme ihe na mbara igwe, ụgbọ ala, na ngwa mmepụta ihe ebe ikpo ọkụ na nkwụsi ike na okpomọkụ dị elu dị oke egwu.
·Ngwa RF
A na-eji 4H-N 6H-N SiC wafers na ngwaọrụ ugboro redio (RF) na-arụ ọrụ n'ogo dị elu. A na-etinye ha na sistemụ nkwukọrịta, teknụzụ radar, na nkwukọrịta satịlaịtị, ebe achọrọ ike dị elu na arụmọrụ.
·Ngwa Photonic
Na fotonics, a na-eji wafer SiC maka ngwaọrụ dị ka fotodetectors na modulators. Ngwongwo pụrụ iche nke ihe ahụ na-enye ya ohere ịdị irè n'ọgbọ ọkụ, mgbanwe, na nchọpụta n'ime usoro nkwurịta okwu anya na ngwaọrụ onyonyo.
·Ihe mmetụta
A na-eji wafer SiC n'ụdị ngwa ihe mmetụta dị iche iche, ọkachasị na gburugburu ebe siri ike ebe ihe ndị ọzọ nwere ike daa. Ndị a gụnyere okpomọkụ, nrụgide, na ihe mmetụta kemịkalụ, nke dị mkpa na mpaghara dị ka ụgbọ ala, mmanụ & gas, na nlekota gburugburu ebe obibi.
·Sistemụ ịnya ụgbọ ala eletrik
Teknụzụ SiC na-arụ ọrụ dị mkpa na ụgbọ ala eletrik site na imeziwanye arụmọrụ na arụmọrụ nke sistemu mbanye. Site na semiconductors ike SiC, ụgbọ ala eletrik nwere ike nweta ndụ batrị ka mma, oge nchaji ngwa ngwa, yana ịrụ ọrụ ike ka ukwuu.
·Ihe mmetụta dị elu na ndị ntụgharị fotonic
Na teknụzụ sensọ dị elu, a na-eji wafer SiC maka ịmepụta ihe mmetụta dị elu maka ngwa na robotics, ngwaọrụ ahụike na nlekota gburugburu ebe obibi. N'ime ndị ntụgharị foto, a na-erigbu akụrụngwa SiC iji mee ka ntụgharị ọkụ eletrik rụọ ọrụ nke ọma ka ọ bụrụ akara ngosi, nke dị mkpa na nkwukọrịta na akụrụngwa ịntanetị dị elu.
Ajụjụ & A
Q: Kedu ihe bụ 4H na 4H SiC?
A:"4H" na 4H SiC na-ezo aka n'ụdị kristal silicon carbide, kpọmkwem ụdị hexagonal nwere akwa anọ (H). "H" na-egosi ụdị polytype hexagonal, na-akọwapụta ya na ụdị SiC ndị ọzọ dị ka 6H ma ọ bụ 3C.
Q: Gịnị bụ thermal conductivity nke 4H-SiC?
A: The thermal conductivity nke 4H-SiC (Silicon Carbide) bụ mkpokọta 490-500 W / m · K na ụlọ okpomọkụ. Igwe ọkụ ọkụ a dị elu na-eme ka ọ dị mma maka ngwa eletriki eletrik na gburugburu ebe okpomọkụ dị elu, ebe ikpo ọkụ dị mma dị oké mkpa.