P-ụdị SiC wafer 4H/6H-P 3C-N 6inch ọkpụrụkpụ 350 μm na Isi Flat Orientation

Nkọwa dị mkpirikpi:

The P-ụdị SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, bụ 6-inch semiconductor ihe na a ọkpụrụkpụ nke 350 μm na isi flat orientation, e mere maka elu eletrọnịkị ngwa. Amara maka ịdị elu ya dị elu, voltaji na-emebi emebi, na iguzogide oke okpomọkụ na gburugburu ebe na-emebi emebi, wafer a dabara maka ngwaọrụ eletrọnịkị dị elu. Ụdị doping nke P na-ewebata oghere dị ka ndị na-ebu ụgwọ mbụ, na-eme ka ọ dị mma maka ngwa eletriki na ngwa RF. Ọdịdị ya siri ike na-eme ka arụmọrụ kwụsie ike n'okpuru ọnọdụ voltaji dị elu na nke dị elu, na-eme ka ọ dị mma maka ngwaọrụ ọkụ, ọkụ eletrik dị elu, na ntụgharị ike dị elu. Ntuzi aka dị larịị nke bụ isi na-eme ka nkwekọ ziri ezi na usoro nrụpụta, na-enye nkwekọ n'ichepụta ngwaọrụ.

Zitere anyị email

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Specification4H/6H-P Ụdị SiC Ngwakọta Ngwakọta Ngwakọta Tebụlụ Nkịtị

6 inch dayameta Silicon Carbide (SiC) mkpụrụ Nkọwapụta

Ọkwa			Mmepụta MPD efuỌkwa (Z Ọkwa)	Standard mmepụtaỌkwa (P Ọkwa)	Ngụsị akwụkwọ (D Ọkwa)
Dayameta			145.5 mm ~ 150.0 mm
Ọkpụrụkpụ			350 μm ± 25 μm
Usoro Wafer			-Offaxis: 2.0°-4.0° chere ihu [1120] ± 0.5° maka 4H/6H-P, On axis:〈111〉± 0.5° maka 3C-N
Njupụta Micropipe			0 cm-2
Nguzogide	p-ụdị 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏcm		≤0.3 mm
	n-ụdị 3C-N		≤0.8 mΩ nke cm		≤1 m Ωꞏcm
Nhazi Flat nke izizi		4H/6H-P	-{1010} ± 5.0°
		3C-N	-{110} ± 5.0°
Ogologo Flat nke izizi			32.5 mm ± 2.0 mm
Ogologo Flat nke abụọ			18.0 mm ± 2.0 mm
Nhazi Flat nke abụọ			Silicon ihu elu: 90° CW. si Prime flat ± 5.0°
Mwepu ihu			3 mm		6 mm
LTV/TTV/Ụta/Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Isi ike			Polish Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra ≤0.5 nm
Edge cracks Site na nnukwu ọkụ ọkụ			Ọ dịghị		Ogologo ngụkọta ≤ 10 mm, otu ogologo≤2 mm
Efere Hex Site na Ìhè Dị Elu			Mpaghara mkpokọta ≤0.05%		Mpaghara mkpokọta ≤0.1%
Mpaghara Polytype Site n'ìhè dị elu			Ọ dịghị		Mpaghara mkpokọta≤3%
Ntinye Carbon Anya Anya			Mpaghara mkpokọta ≤0.05%		Mpaghara mkpokọta ≤3%
Silicon dị n'elu Scratches Site na nnukwu ọkụ ọkụ			Ọ dịghị		Mgbakọ ogologo≤1 × dayameta wafer
Edge Chips High Site n'ọkụ ọkụ			Ọnweghị nke anabatara obosara na omimi ≥0.2mm		5 kwere, ≤1 mm nke ọ bụla
Mmetọ Silicon dị n'elu site na oke ike			Ọ dịghị
Nkwakọ ngwaahịa			Cassette Multi-wafer ma ọ bụ otu akpa wafer

ndetu:

※ Oke ntụpọ na-emetụta n'elu wafer dum ma ewezuga mpaghara mwepu ihu. # Ekwesịrị ịlele ncha ahụ na Si ihu o

Ụdị SiC nke P-ụdị, 4H / 6H-P 3C-N, yana nha 6-inch na ọkpụrụkpụ 350 μm, na-arụ ọrụ dị mkpa na mmepụta mmepụta nke ngwá electronic na-arụ ọrụ dị elu. Nrụpụta ọkụ ya dị mma na oke mgbawa voltaji na-eme ka ọ dị mma maka imepụta ihe ndị dị ka ọkụ ọkụ, diodes, na transistor eji na gburugburu okpomọkụ dị elu dị ka ụgbọ ala eletrik, grids ike na sistemụ ume ọhụrụ. Ikike nke wafer na-arụ ọrụ nke ọma na ọnọdụ siri ike na-eme ka arụmọrụ a pụrụ ịdabere na ya na ngwa mmepụta ihe na-achọ njupụta ike dị elu na ike ike. Na mgbakwunye, nghazi ewepụghị isi ya na-enyere aka n'usoro n'ụzọ ziri ezi n'oge a na-emepụta ngwaọrụ, na-eme ka nrụpụta nrụpụta na nkwụsi ike nke ngwaahịa.

Uru nke ụdị N-ụdị SiC ngwakọta mejupụtara gụnyere

Omume okpomọkụ dị elu: P-ụdị SiC wafers na-ekpochapụ ọkụ nke ọma, na-eme ka ha dị mma maka ngwa okpomọkụ dị elu.
Voltaji ndakpọ dị elu: Enwere ike iguzogide oke voltaji, na-ahụ na a pụrụ ịdabere na eletrik eletrik na ngwaọrụ dị elu.
Nguzogide gburugburu ebe siri ike: Ogologo oge dị oke mma na ọnọdụ dị oke egwu, dị ka okpomọkụ dị elu na gburugburu ebe obibi.
Ntugharị ike nke ọma: Ụdị doping nke P na-eme ka njikwa ike rụọ ọrụ nke ọma, na-eme ka wafer dị mma maka usoro ntụgharị ike.
Nhazi Flat nke izizi: Na-eme ka nkwekọ ziri ezi n'oge nrụpụta, na-emeziwanye izi ezi ngwaọrụ na nkwụsi ike.
Ihe owuwu dị mkpa (350 μm): Ọkpụrụkpụ kacha mma nke wafer na-akwado ntinye n'ime ngwaọrụ eletrọnịkị nke nwere ohere dị elu.

N'ozuzu, P-ụdị SiC wafer, 4H / 6H-P 3C-N, na-enye ọtụtụ uru na-eme ka ọ dị mma maka ngwa mmepụta ihe na ngwa eletrik. Igwe ọkụ ọkụ ya dị elu na mgbawa voltaji na-eme ka ọrụ a pụrụ ịdabere na ya na gburugburu okpomọkụ na elu voltaji, ebe ọ na-eguzogide ọnọdụ siri ike na-eme ka ọ dị ogologo ndụ. Ụdị doping nke P na-enye ohere maka ntụgharị ike nke ọma, na-eme ka ọ dị mma maka eletrik eletrik na usoro ike. Na mgbakwunye, nghazi ewepụghị isi nke wafer na-eme ka nkwekọ ziri ezi n'oge usoro nrụpụta, na-eme ka nrụpụta na-agbanwe agbanwe. Na ọkpụrụkpụ nke 350 μm, ọ dabara nke ọma maka ntinye n'ime ngwaọrụ dị elu, kọmpat.