LNOI Wafer (Lithium Niobate na Insulator) Nkwukọrịta Nchọgharị Elektrọnik Dị Elu
Ihe osise zuru ezu
Nchịkọta
N'ime igbe wafer ahụ, e nwere oghere ndị yiri ibe ha, nke nha ha bụ otu iji kwado akụkụ abụọ nke wafer ahụ. A na-ejikarị ihe plastik PP translucent mee igbe kristal ahụ nke na-eguzogide okpomọkụ, iyi na ọkụ eletrik na-anaghị agbanwe agbanwe. A na-eji agba dị iche iche nke ihe mgbakwunye iji mata akụkụ usoro ígwè na mmepụta semiconductor. N'ihi obere nha nke semiconductor, ụkpụrụ dị oke njọ, na ihe achọrọ nha irighiri ihe siri ike na mmepụta, a ga-ekwe nkwa na igbe wafer ga-enwe gburugburu ebe obibi dị ọcha iji jikọọ na oghere mmeghachi omume igbe microenvironment nke igwe mmepụta dị iche iche.
Usoro Mmepụta Ihe
Imepụta wafers LNOI nwere ọtụtụ usoro kpọmkwem:
Nzọụkwụ 1: Ịkụnye Helium IonA na-eji ihe e tinyere ion eme ihe na-etinye ion helium n'ime kristal LN buru ibu. ion ndị a na-anọ n'ime omimi kpọmkwem, na-emepụta oghere na-adịghị ike nke ga-eme ka mwepụta ihe nkiri ahụ dị mfe.
Nzọụkwụ nke 2: Nhazi Ala AlaA na-eji SiO2 ma ọ bụ PECVD ma ọ bụ thermal oxidation tee ma ọ bụ tinye wafer silicon ma ọ bụ LN dị iche. Elu elu ya dị larịị maka njikọ kacha mma.
Nzọụkwụ nke 3: Njikọ nke LN na SubstrateA na-atụgharị kristal LN nke e tinyere n'ime ion ma jikọta ya na wafer isi site na iji njikọ wafer kpọmkwem. N'ebe nyocha, enwere ike iji benzocyclobutene (BCB) dị ka ihe na-arapara iji mee ka njikọ ahụ dị mfe n'okpuru ọnọdụ siri ike.
Nzọụkwụ nke 4: Ọgwụgwọ Okpomọkụ na Nkewa Ihe NkiriỊkpọchi ihe na-eme ka afụfụ ahụ dị n'ime omimi nke etinyere n'ime ya, na-eme ka o kwe omume ikewapụ ihe nkiri dị gịrịgịrị (elu oyi akwa LN) na nnukwu ya. A na-eji ike igwe eme ihe iji mechaa mwepụ ahụ.
Nzọụkwụ nke 5: Ịchacha EluA na-etinye kemịkalụ mekaniki (CMP) iji mee ka elu LN dị nro, na-eme ka mma anya na mmepụta ngwaọrụ dịkwuo mma.
Usoro Nkà na ụzụ
| ihe | Ngwa anya Ọkwa LiNbO3 wafe (Ọcha) or Oji) | |
| Curie Okpomọkụ | 1142±0.7℃ | |
| Ịcha Akụkụ | X/Y/Z wdg | |
| Dayameta/nha | 2”/3”/4” ±0.03mm | |
| Tol(±) | <0.20 mm ±0.005mm | |
| Ọkpụrụkpụ | 0.18 ~ 0.5mm ma ọ bụ karịa | |
| Isiakwụkwọ Dị larịị | 16mm/22mm/32mm | |
| TV | <3μm | |
| Ụta | -30 | |
| Warp | <40μm | |
| Nhazi Dị larịị | Ihe niile dị | |
| Elu Ụdị | Akpụchaala Akụkụ Otu (SSP)/Akụkụ Abụọ Akpụchaala (DSP) | |
| Emechara ka ọ dị ọcha akụkụ Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Akụkụ Ihe achọrọ | R=0.2mm Ụdị C or Imi ehi | |
| Ogo | N'efu of mgbawa (afụfụ na ihe ndị dị na ya) | |
| Ngwa anya ejiri ọgwụ gwọọ | Mg/Fe/Zn/MgO wdg maka ngwa anya ọkwa LN wafers kwa arịọrọ | |
| Wafer Elu Ihe achọrọ | Ndekọ Refractive | Mba=2.2878/Ne=2.2033 @632nm usoro njikọta ogologo ebili mmiri/prism. |
| Mmetọ, | Ọ dịghị | |
| Mkpụrụ c>0.3μ m | <=30 | |
| Ọkpụkpọ, Ịkpụcha | Ọ dịghị | |
| Nrụrụ | Enweghị mgbawa, ọkọ, akara mma, ntụpọ n'ọnụ | |
| Nkwakọ ngwaahịa | Igbe/Igbe Wafer | Iberibe iri abụọ na ise kwa igbe |
Ojiji Ojiji
N'ihi ọtụtụ ọrụ ya na arụmọrụ ya, a na-eji LNOI eme ihe n'ọtụtụ ụlọ ọrụ:
Fotonik:Ndị na-eme ka ihe dị obere, ndị na-eme ka ihe dị iche iche dị mfe, na ndị na-eme ka ihe dị mfe dị na fotonik.
RF/Akụstik:Ndị na-eme ka ihe na-emegharị anya dị ka Acousto-optic modulators, ihe nzacha RF.
Kọmputa Kwatantị:Ngwakọta ugboro ole na-abụghị ahịrị na ihe na-emepụta foton-pair.
Nchekwa na Ụgbọelu:Gyros anya na-efu obere oge, ngwaọrụ na-agbanwe ugboro ugboro.
Ngwaọrụ Ahụike:Ihe mmetụta biosensọ anya na ihe nyocha mgbaàmà ugboro ugboro dị elu.
Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị
A: Gịnị mere e ji ahọrọ LNOI karịa SOI na sistemụ anya?
A:LNOI nwere oke electro-optic dị elu na oke nghọta sara mbara, na-eme ka arụmọrụ dị elu na sekit photonic.
A: CMP ọ dị mkpa mgbe e kewara ya?
A:Ee. Elu LN a na-ekpughere na-adị njọ mgbe e mechara ion-slicing ma a ga-eme ka ọ dị mma iji mezuo nkọwapụta nke ọkwa anya.
Q: Kedu nha wafer kachasị dị?
A:Wafer LNOI azụmaahịa bụ isi 3" na 4", mana ụfọdụ ndị na-ebubata ngwaahịa na-emepụta ụdị 6" dị iche iche.
Q: Enwere ike iji oyi akwa LN ọzọ mgbe emechara nkewa?
A:Enwere ike imegharị kristal ntọala ahụ ma jiri ya mee ihe ugboro ugboro, ọ bụ ezie na àgwà ya nwere ike ịla n'iyi mgbe ọtụtụ oge gasịrị.
Q: Wafer LNOI ọ dakọtara na nhazi CMOS?
A:Ee, e mere ha ka ha kwekọọ na usoro mmepụta semiconductor nkịtị, ọkachasị mgbe ejiri ihe ndị e ji silicon mee ihe.
