8inch LNOI (LiNbO3 na Insulator) Wafer maka Optical Modulators Waveguides Integrated Circuits
Eserese zuru ezu
Okwu mmalite
Lithium Niobate on Insulator (LNOI) wafers bụ ihe na-egbu egbu ejiri na ngwa ngwa anya na eletrọnịkị dị iche iche. A na-emepụta wafers ndị a site na ibufe obere lithium niobate (LiNbO₃) na ihe mkpuchi mkpuchi, nke na-abụkarị silicon ma ọ bụ ihe ọzọ dabara adaba, na-eji usoro ọkaibe dị ka ntinye ion na njikọ wafer. Teknụzụ LNOI na-ekerịta ọtụtụ myirịta na Silicon on Insulator (SOI) teknụzụ wafer mana ọ na-erite uru na njirimara anya pụrụ iche nke lithium niobate, ihe a ma ama maka piezoelectric, pyroelectric, na njirimara anya na-adịghị adị.
LNOI wafers enwetala nlebara anya dị ukwuu na mpaghara dị ka igwe anya igwe ejikọtara ọnụ, nkwukọrịta, na kọmpụta quantum n'ihi arụmọrụ ha dị elu na ngwa dị elu na ngwa ngwa dị elu. A na-emepụta wafers site na iji usoro "Smart-cut", nke na-enyere aka ịchịkwa oke nke lithium niobate thin film, na-ahụ na wafers na-emezu nkọwa achọrọ maka ngwa dị iche iche.
Ụkpụrụ
Usoro nke ịmepụta LNOI wafers na-amalite site na nnukwu lithium niobate crystal. A na-etinye ion ion kristal, ebe a na-ebute ion helium ume dị elu n'ime elu nke kristal lithium niobate. Ion ndị a na-abanye n'ime kristal n'otu omimi ma mebie nhazi kristal, na-emepụta ụgbọ elu na-esighị ike nke nwere ike iji mee ka ekewa kristal n'ime akwa dị nro. Ike a kapịrị ọnụ nke ion helium na-achịkwa omimi nke nkunye, nke na-emetụta kpọmkwem ọkpụrụkpụ nke oyi akwa lithium niobate ikpeazụ.
Mgbe etinyere ion, kristal lithium niobate na-ejikọta ya na mkpụrụ site na iji usoro akpọrọ wafer bonding. Usoro njikọ ahụ na-eji usoro njikọ aka kpọmkwem, ebe a na-ejikọta elu abụọ ahụ (ion-etinyere lithium niobate crystal na mkpụrụ) n'okpuru nnukwu okpomọkụ na nrụgide iji mepụta njikọ siri ike. N'ọnọdụ ụfọdụ, enwere ike iji ihe nrapado dịka benzocyclobutene (BCB) maka nkwado ọzọ.
Na-esote njikọ, wafer na-enweta usoro nkwụsịtụ iji mezie mmebi ọ bụla nke ntinye ion kpatara na iji kwalite njikọ dị n'etiti ọkwa. Usoro mgbakasị ahụ na-enyekwara akwa lithium niobate dị gịrịgịrị ikepụ na kristal mbụ, na-ahapụ n'azụ lithium niobate dị gịrịgịrị, dị elu nke enwere ike iji maka imepụta ngwaọrụ.
Nkọwapụta
A na-eji ọtụtụ nkọwa dị mkpa mara wafers LNOI nke na-ahụ na ha dabara maka ngwa arụmọrụ dị elu. Ndị a gụnyere:
Nkọwapụta ihe;
| ;Akụrụngwa; | ;Nkọwapụta; |
| Ihe onwunwe | Ihe jikọrọ: LiNbO3 |
| Ogo ihe onwunwe | Afụ ma ọ bụ nsonye <100μm |
| Nhazi | Y-ịkpụ ± 0.2° |
| Njupụta | 4.65 g/cm³ |
| Okpomọkụ Curie | 1142 ±1°C |
| nghọta | > 95% na 450-700 nm (ọkpụrụkpụ 10 mm) |
Nkọwapụta nrụpụta;
| ;Parameter; | ;Nkọwapụta; |
| Dayameta | 150 mm ± 0.2 mm |
| Ọkpụrụkpụ | 350 μm ± 10 μm |
| Ịdị nro | <1.3 μm |
| Mkpokọta Ọdịiche Ọkpụrụkpụ (TTV) | Warp <70 μm @ 150 mm wafer |
| Ọdịiche Ọkpụrụkpụ Mpaghara (LTV) | <70 μm @ 150 mm wafer |
| Isi ike | Rq ≤0.5 nm (uru AFM RMS) |
| Ogo elu | 40-20 |
| Ahụhụ (anaghị ewepu ya) | 100-200 μm ≤3 irighiri ihe |
| ibe | <300 μm (wafer zuru oke, enweghị mpaghara mwepu) |
| Mgbawa | Enweghị mgbawa (wafer zuru ezu) |
| Mmetọ | Enweghị ntụpọ anaghị ewepu (wafer zuru ezu) |
| Myirịta | <30 sekọnd |
| Ụgbọ elu ntụaka nhazi (X-axis) | 47 ± 2 mm |
Ngwa
A na-eji wafer LNOI n'ụdị ngwa dị iche iche n'ihi ihe ha pụrụ iche, ọkachasị n'ubi fotonics, nkwukọrịta, na teknụzụ quantum. Ụfọdụ ngwa igodo gụnyere:
Ngwakọta ngwa anya:A na-eji wafers LNOI eme ihe na sekit ngwa anya jikọtara ọnụ, ebe ha na-eme ka ngwaọrụ fotonic dị elu dị ka modulators, waveguides, na resonators. Njirimara ngwa anya dị elu nke lithium niobate na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ magburu onwe ya maka ngwa chọrọ njikwa ọkụ dị mma.
Nzikọrịta ozi:A na-eji wafer LNOI mee ihe na modulators anya, nke bụ ihe dị mkpa na sistemụ nkwurịta okwu dị elu, gụnyere netwọk fiber optic. Ikike ịmegharị ọkụ n'ogo dị elu na-eme ka wafer LNOI dị mma maka sistemụ nkwukọrịta ọgbara ọhụrụ.
Mgbakọ Quantum:Na teknụzụ quantum, a na-eji wafers LNOI emepụta ihe maka kọmpụta quantum na sistemu nkwukọrịta quantum. Ngwongwo anya na-adịghị ahụ anya nke LNOI ka a na-enye aka iji mepụta ụzọ abụọ foto ndị gbakọtara ọnụ, nke dị oke mkpa maka nkesa igodo quantum na cryptography quantum.
Ihe mmetụta:A na-eji wafer LNOI na ngwa nghọta dị iche iche, gụnyere ihe mmetụta anya na ụda olu. Ikike ha iji ma ọkụ na ụda na-emekọrịta ihe na-eme ka ha nwee ike ịdị iche iche maka teknụzụ nghọta dị iche iche.
FAQ
Q:Kedu ihe bụ teknụzụ LNOI?
A: Teknụzụ LNOI gụnyere ịnyefe ihe nkiri lithium niobate dị gịrịgịrị n'elu ihe mkpuchi mkpuchi, ọkachasị silicon. Nkà na ụzụ a na-eji ihe ndị pụrụ iche nke lithium niobate eme ihe, dị ka àgwà ya dị elu nke na-adịghị ahụ anya, piezoelectricity, na pyroelectricity, na-eme ka ọ dị mma maka ngwa ngwa ngwa na telekomunikashions.
Q:Kedu ihe dị iche n'etiti LNOI na SOI wafers?
A: Ma LNOI na SOI wafers yitere n'ihi na ha nwere obere oyi akwa nke ihe ejikọtara na mkpụrụ. Otú ọ dị, LNOI wafers na-eji lithium niobate dị ka ihe nkiri dị mkpa, ebe SOI wafers na-eji silicon. Isi ihe dị iche na-adabere na njirimara nke ihe nkiri ahụ dị gịrịgịrị, yana LNOI na-enye akụrụngwa ngwa anya na piezoelectric dị elu.
Q:Kedu uru dị na iji wafer LNOI?
A: Isi uru nke LNOI wafers gụnyere ezigbo ngwa anya ha, dị ka ọnụọgụ ngwa anya dị elu na-enweghị isi, yana ike ọrụ ha. Njiri mara ndị a na-eme ka wafer LNOI dị mma maka ojiji na ngwa ọsọ dị elu, nke dị elu, yana ngwa quantum.
Q:Enwere ike iji wafer LNOI maka ngwa quantum?
A: Ee, a na-eji wafers LNOI eme ihe na teknụzụ quantum n'ihi ikike ha nwere imepụta ụzọ abụọ foton jikọtara ọnụ yana ndakọrịta na foto agbakwunyere. Ngwongwo ndị a dị oke mkpa maka ngwa na kọmpụta quantum, nzikọrịta ozi na cryptography.
Q:Gịnị bụ ụdị ọkpụrụkpụ nke ihe nkiri LNOI?
A: Ihe nkiri LNOI na-adịkarị site na narị nanometer ole na ole ruo ọtụtụ micrometers n'ogo, dabere na ngwa a kapịrị ọnụ. A na-achịkwa ọkpụrụkpụ ahụ n'oge usoro ntinye ion.
