8 inch SiC silicon carbide wafer 4H-N ụdị 0.5mm ọkwa mmepụta ọkwa nyocha ihe eji egwuri egwu ahaziri ahazi

Wafer SiC silicon carbide nke dị sentimita asatọ, ụdị 4H-N, ọkwa nyocha ọkwa mmepụta 0.5mm, ihe e ji kpụọ akpụ nke ọma, nke a na-egosipụta n'elu ya. Foto a na-egosi

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Silicon carbide (SiC), nke a makwaara dị ka silicon carbide, bụ semiconductor nwere silicon na carbon nwere usoro kemịkalụ SiC. A na-eji SiC eme ihe na ngwaọrụ eletrọniki semiconductor nke na-arụ ọrụ na okpomọkụ dị elu ma ọ bụ nrụgide dị elu, ma ọ bụ ha abụọ. SiC bụkwa otu n'ime ihe ndị dị mkpa maka LED, ọ bụ ihe a na-ejikarị eme ihe maka ịkụ ngwaọrụ GaN, enwere ike iji ya dị ka ihe na-ekpo ọkụ maka LED ndị nwere ike dị elu.
Ihe mejupụtara silicon carbide nke dị sentimita asatọ bụ akụkụ dị mkpa nke ọgbọ nke atọ nke ihe semiconductor, nke nwere njirimara nke ike ubi dị elu, ike okpomọkụ dị elu, ọnụego ndọda elektrọn dị elu, wdg, ma dabara adaba maka imepụta ngwaọrụ elektrọnik dị elu, voltaji dị elu, na ike dị elu. Isi ihe dị na ya gụnyere ụgbọ ala eletrik, ụgbọ okporo ígwè, nnyefe ike voltaji dị elu na mgbanwe, fotovoltaics, nkwukọrịta 5G, nchekwa ike, ebe nchekwa ikuku, na ebe nchekwa ike AI isi.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Isi ihe dị na ụdị 4H-N nke silicon carbide nke dị sentimita 8 gụnyere:

1. Njupụta nke obere akpa: ≤ 0.1/cm² ma ọ bụ karịa, dịka njupụta obere akpa na-ebelata nke ukwuu ruo ihe na-erughị 0.05/cm² na ụfọdụ ngwaahịa.
2. Oke ụdị kristal: Oke ụdị kristal 4H-SiC ruru 100%.
3. Nguzogide: 0.014 ~ 0.028 Ω·cm, ma ọ bụ kwụsie ike karịa n'etiti 0.015-0.025 Ω·cm.
4. Ọdịdị elu: CMP Si Ihu Ra≤0.12nm.
5. Ọkpụrụkpụ: Ọtụtụ mgbe, ọ na-abụkarị 500.0±25μm ma ọ bụ 350.0±25μm.
6. Nkuku Chamfering: 25±5° ma ọ bụ 30±5° maka A1/A2 dabere na ọkpụrụkpụ ya.
7. Njupụta nke mgbanwe niile: ≤3000/cm².
8. Mmetọ ígwè n'elu: ≤1E+11 atọm/cm².
9. Ngbagọ na mgbagọ: ≤ 20μm na ≤2μm, n'otu n'otu.
Njirimara ndị a na-eme ka ihe ndị dị na silicon carbide nke dị sentimita asatọ nwee uru dị mkpa n'ịmepụta ngwaọrụ eletrọniki dị elu, nke dị elu, na nke nwere ike dị elu.

Wafer silicon carbide nke dị sentimita 8 nwere ọtụtụ ojiji.

1. Ngwaọrụ Ike: A na-eji wafer SiC eme ihe nke ukwuu n'ịmepụta ngwaọrụ eletrọniki ike dịka MOSFETs ike (transistors metal-oxide-semiconductor field-effect), Schottky diodes, na modulu njikọta ike. N'ihi nnukwu ike okpomọkụ, voltaji mgbawa dị elu, na nnukwu ngagharị eletrọn nke SiC, ngwaọrụ ndị a nwere ike nweta mgbanwe ike dị irè, nke dị elu na gburugburu okpomọkụ dị elu, voltaji dị elu, na ugboro ugboro dị elu.

2. Ngwaọrụ Optoelectronic: Wafers SiC na-arụ ọrụ dị mkpa na ngwaọrụ optoelectronic, nke e ji emepụta fotodetectors, laser diode, isi mmalite ultraviolet, wdg. Njirimara anya na eletrọniki dị elu nke silicon carbide na-eme ka ọ bụrụ ihe a họọrọ, ọkachasị n'ọrụ ndị chọrọ okpomọkụ dị elu, ugboro ugboro dị elu, na ọkwa ike dị elu.

3. Ngwaọrụ Frequency Radio (RF): A na-ejikwa chips SiC emepụta ngwaọrụ RF dịka amplifiers power RF, switches frequency dị elu, sensọ RF, na ndị ọzọ. Nkwụsi ike okpomọkụ dị elu nke SiC, njirimara frequency dị elu, na obere mfu na-eme ka ọ dị mma maka ngwa RF dịka nkwukọrịta ikuku na sistemụ radar.

4. Igwe eletrọniki dị elu: N'ihi nkwụsi ike okpomọkụ ha na ike mgbanwe okpomọkụ ha, a na-eji wafer SiC emepụta ngwaahịa eletrọniki emebere iji rụọ ọrụ na gburugburu okpomọkụ dị elu, gụnyere igwe eletrọniki ike dị elu, ihe mmetụta, na ndị njikwa.

Ụzọ ndị bụ isi e si eji ihe dị ka silicon carbide substrate nke dị sentimita asatọ 4H-N gụnyere imepụta ngwa eletrọniki dị elu, nke na-adị elu, na nke na-enye ike dị elu, ọkachasị n'ọhịa nke ngwa eletrọniki ụgbọ ala, ike anyanwụ, mmepụta ike ifufe, locomotives eletriki, sava, ngwa ụlọ, na ụgbọ ala eletrik. Na mgbakwunye, ngwaọrụ dịka SiC MOSFETs na Schottky diodes egosipụtala arụmọrụ dị mma na ugboro mgbanwe, nnwale sekit dị mkpụmkpụ, na ngwa inverter, na-akwalite ojiji ha na ngwa eletrọniki ike.

Enwere ike ịhazi XKH site na iji ọkpụrụkpụ dị iche iche dịka ihe ndị ahịa chọrọ si dị. Enwere ike iji ụdị doping dị iche iche (dịka nitrogen doping) mee ihe. XKH nwere ike inye nkwado teknụzụ na ọrụ ndụmọdụ iji hụ na ndị ahịa nwere ike idozi nsogbu n'oge ojiji. Substrate silicon carbide nke dị sentimita 8 nwere uru dị ukwuu n'ihe gbasara mbelata ọnụ ahịa na mmụba ikike, nke nwere ike ibelata ọnụ ahịa chip nkeji ihe dị ka pasent 50 ma e jiri ya tụnyere substrate nke dị sentimita 6. Na mgbakwunye, mmụba ọkpụrụkpụ nke substrate nke sentimita 8 na-enyere aka belata ọdịiche geometric na wrepping n'oge igwe, si otú a na-eme ka mmepụta dịkwuo mma.