4H/6H-P Wafer SiC nke 6inch Ọkwa mmepụta ọkwa MPD Ọkwa Dọmị
Ụdị 4H/6H-P SiC Composite Substrates Tebụl paramita nkịtị
6 Ihe mejupụtara Silicon Carbide (SiC) nke dayameta inch Nkọwapụta
| Ọkwa | Mmepụta MPD efuỌkwa (Z) Ọkwa) | Mmepụta ọkọlọtọỌkwa (P) Ọkwa) | Akara Dọmị (D Ọkwa) | ||
| Dayameta | 145.5 mm~150.0 mm | ||||
| Ọkpụrụkpụ | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Nhazi Wafer | -Offaxis: 2.0°-4.0° gaa [1120] ± 0.5° maka 4H/6H-P, N'axis: 〈111〉± 0.5° maka 3C-N | ||||
| Njupụta nke paịpụ micropipe | 0 cm-2 | ||||
| Nguzogide | ụdị p-4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| ụdị n-3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
| Nhazi Ala Dị Elu nke Mbụ | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| Ogologo Dị larịị nke Mbụ | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
| Ogologo Dị larịị nke Abụọ | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
| Nhazi Ala Dị Elu nke Abụọ | Ihu silicon dị elu: 90° CW. site na Prime flat ± 5.0° | ||||
| Mwepu nke Ọnụọgụ | 3 mm | 6 mm | |||
| LTV/TTV/Bọọlụ/Mgbawa | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| Isi ike | Polish Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| Mgbawa Ọkụ Site na Ọkụ Ike Dị Elu | Ọ dịghị | Ogologo mkpokọta ≤ 10 mm, otu ogologo ≤ 2 mm | |||
| Efere Hex Site na Ìhè Dị Ike | Mpaghara mkpokọta ≤0.05% | Mpaghara mkpokọta ≤0.1% | |||
| Ebe Polytype Site na Ọkụ Dị Ike | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta≤3% | |||
| Ihe Ndị A Na-ahụ Anya Banyere Carbon | Mpaghara mkpokọta ≤0.05% | Mpaghara mkpokọta ≤3% | |||
| Ọkpụkpọ Elu Silikọn Site na Ìhè Dị Ike | Ọ dịghị | Ogologo mkpokọta ≤ 1 × dayameta wafer | |||
| Ibe Ọkụ Dị Elu Site na Ìhè Ike | Ọ dịghị nke a nabatara ≥0.2mm obosara na omimi | 5 e kwere, ≤1 mm nke ọ bụla | |||
| Mmetọ Elu Silikọn Site na Ike Dị Elu | Ọ dịghị | ||||
| Nkwakọ ngwaahịa | Kaseti nwere ọtụtụ wafer ma ọ bụ otu Wafer Container | ||||
Ihe ndị e dere:
※ Oke ntụpọ dị na elu wafer dum ma e wezụga ebe a na-ewepụ nsọtụ ya. # A ga-enyocha ihe ndị ahụ na ihu Si o
A na-ejikarị ụdị 4H/6H-P nke nwere ọkwa 6-inch SiC nke nwere ọkwa Zero MPD na mmepụta ma ọ bụ ọkwa dummy eme ihe n'ọtụtụ ebe na ngwa eletrọniki dị elu. Ọ na-eme ka okpomọkụ ya dị mma, voltaji mgbawa dị elu, na iguzogide gburugburu siri ike na-eme ka ọ dị mma maka eletrọniki ike, dị ka swiitị voltaji dị elu na inverters. Ọkwa Zero MPD na-ahụ na enwere obere ntụpọ, dị oke mkpa maka ngwaọrụ a pụrụ ịtụkwasị obi. A na-eji wafer ọkwa mmepụta na nnukwu mmepụta nke ngwaọrụ ike na ngwa RF, ebe arụmọrụ na nkenke dị oke mkpa. N'aka nke ọzọ, a na-eji wafer ọkwa dummy maka nhazi usoro, nnwale akụrụngwa, na prototyping, na-eme ka njikwa mma na-aga n'ihu na gburugburu mmepụta semiconductor.
Uru nke ihe mejupụtara SiC nke ụdị N-type gụnyere
- Oke Ọkụ Na-eduzi Ya: Wafer 4H/6H-P SiC na-ewepụ okpomọkụ nke ọma, na-eme ka ọ dabara adaba maka ngwa eletrọniki dị elu na nke nwere ike dị elu.
- Voltaji Nkwụsị Dị Elu: Ike ya ijikwa voltaji dị elu n'enweghị nsogbu na-eme ka ọ dị mma maka ngwa eletrọniki ike na ngwa mgbanwe voltaji dị elu.
- Ọkwa Efu MPD (Nrụpụ Paịpụ Obere): Njupụta ntụpọ pere mpe na-eme ka a pụrụ ịtụkwasị obi na arụmọrụ dị elu, nke dị oke mkpa maka ngwaọrụ eletrọnịkị siri ike.
- Ọkwa Mmepụta maka Mmepụta Oke: Dabara adaba maka mmepụta nnukwu ngwaọrụ semiconductor arụmọrụ dị elu nwere ụkpụrụ dị elu siri ike.
- Akara Dummy maka Ule na Nhazi: Na-eme ka nhazi usoro, nnwale akụrụngwa, na nhazi ihe osise dị mfe na-enweghị iji wafers dị oke ọnụ ahịa mmepụta.
N'ozuzu, wafer SiC nke dị sentimita 6 nke 4H/6H-P nwere ọkwa Zero MPD, ọkwa mmepụta, na ọkwa dummy na-enye uru dị ukwuu maka mmepe nke ngwaọrụ eletrọnịkị dị elu. Wafer ndị a bara uru karịsịa na ngwa ndị chọrọ ọrụ okpomọkụ dị elu, njupụta ike dị elu, na mgbanwe ike dị irè. Ọkwa Zero MPD na-eme ka obere ntụpọ dị maka arụmọrụ ngwaọrụ a pụrụ ịdabere na ya na nke kwụsiri ike, ebe wafer ọkwa mmepụta na-akwado mmepụta buru ibu na njikwa mma siri ike. Wafer ọkwa dummy na-enye ngwọta dị ọnụ ala maka nhazi usoro na nhazi akụrụngwa, na-eme ka ha dị mkpa maka imepụta semiconductor dị elu.
Ihe osise zuru ezu
