12 inch suc nke silicon carbide premime dayameta 300mm buru ibu 4h-n kwesịrị ekwesị maka akwa ike dị ọkụ
Nmekorita Ngwaahịa
1. Mmegide ikuku dị elu nke Silicon Carbitivide dị ka ugboro atọ nke Silicon, nke kwesịrị ekwesị maka ike dị elu na-efe efe.
2. Ike ubi dị elu: ike ubi dị elu bụ ugboro 10 nke silicon, kwesịrị ekwesị maka ngwa nrụgide dị elu.
3. Yide bandgap: Bankgap bụ 3.26EV (Sic), kwesịrị ekwesị maka ọnọdụ okpomọkụ na ngwa ugboro.
4
5. Ọnọdụ kemịkalụ: ike na-eguzogide, arụmọrụ kwụsiri ike na ọnọdụ okpomọkụ na gburugburu ebe obibi.
6. Ogo buru ibu: 12 inch (300mm), na-eme ka arụmọrụ arụpụta, belata ọnụahịa.
7.Low Desect Deventy: teknụzụ dị elu na-eto kristal iji hụ na ntụpọ na ọnọdụ dị elu.
Nduzi ngwa ngwa
1. Electrics ike:
Moshets: Ejiri ya na ugbo ala eletrik, draịvụ ndị na-eme ihe na ndị ntụgharị ọrụ.
Deedes: Dị ka Schumky Diodide (SBD), ejiri maka njikọta arụmọrụ nke ọma na ịgbanye ike.
2. Ngwaọrụ RF:
RF Power Amplifier: Ejiri ya na Stationlọ Ọrụ Nkụzi 5G na nkwukọrịta satịlaịtị.
Ngwa ndakwa: Kwesịrị ekwesị maka radar na sistemụ nkwukọrịta ikuku.
3. Ugbo ala ndi ohuru:
Sistemụ na-eletrik na-eletrik: Ndị na-ahụ maka nsogbu na-eme ka ụgbọala eletrik.
Igeri ozu na-akwụ ụgwọ: modul ike maka akụrụngwa na-akwụ ụgwọ ngwa ngwa.
4. Ngwa mmepụta Ngwa:
Onye na-ebugharị ọkụ eletrik dị elu: maka njikwa moto na njikwa ike.
Smart Grid: Maka nnyefe HVDC na ndị na - ele anya elektrọniki.
5. Aerospace:
Eletrọniki dị elu: Kwesịrị ekwesị maka gburugburu ebe a na-ahụkarị.
6. Ubi nnyocha:
Nnyocha Secongap Seconductor: Maka mmepe nke ihe ọmịiko semiconductor ọhụrụ.
Iru mmiri 12-inch nke dị na mmiri na-eme nke ọma bụ ụdị ihe omume akwara dịgasị iche iche na-arụ ọrụ dị ka ihe dị ka ihe na-akpata ọkụ ọkụ, ike dị elu ike. A na-eji ya ebe a na-eji eledos ike, ụgbọ ala redio, na ụgbọ ala ndị ọhụrụ, njikwa ọrụ na aerospace, ma na-eme ka mmepe nke ọgbọ na-esote ike na nke dị elu.
Ọ bụ ezie na silicon carbide nke nwere ngwa dị ole na ole na elektrọnikị nwere ike ịkwado dị ka ihe na-edozi ahụ maka ngwaọrụ AR / VR dị elu. Ugbu a, ihe bụ isi mmepe nke silicon carbide mkpụrụ dị ka ụgbọ ala ndị dị ka ụgbọ ala ndị ọhụrụ, ma na-akwalite ụlọ ọrụ semiconductor iji zụlite na ezi echiche.
XKH a na-eme ka ị na-enye ndị na-eme mkpọtụ dị mma nke ọma na Nkwado teknụzụ dị iche iche, gụnyere:
1. Mmepụta ahaziri iche: Dabere na ndị ahịa chọrọ inye ihe dị iche iche na-eguzosi ike, Crystal Crystal na usoro ọgwụgwọ dị elu.
2. Usoro njikọta: Nye ndị ahịa na nkwado teknụzụ nke Epitaxal Uto, Ngwaọrụ na-arụpụta na usoro ndị ọzọ iji melite arụmọrụ ngwaahịa.
3. Nyocha na asambodo: Nye onyinye siri ike na asambodo siri ike iji hụ na mkpụrụ ndị na-ezute ụkpụrụ ụlọ ọrụ.
4.R & D imekọ ihe ọnụ: ọnụ jikọtara ngwaọrụ silicon ọhụrụ na ndị ahịa iji kwalite teknụzụ.
Eserese data
| Nkọwapụta nke 1 2 na-acha odo odo (Sic) | |||||
| Greedi | Mmepụta Zerompd Grade (Zoo) | Mmelite Grade (PLA) | Dummy ọkwa (D klas) | ||
| Dayameta | 3 0 0 mm ~ 1305mm | ||||
| Okpurukpu | 4h-n | 750μm ± 15 μm | 750μm ± 25 μm | ||
| 4h-si | 750μm ± 15 μm | 750μm ± 25 μm | |||
| Wafer Usoro | Gbanyụọ Axis: 4.0 Celsius na <1120> ± 0h-n, na axis: <± 4h-si | ||||
| Micropia | 4h-n | ≤0.4cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
| 4h-si | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
| Iguzosi ike | 4h-n | 0.015 ~ 0.024 ω | 0.015 ~ 0.028 ω | ||
| 4h-si | ≥1E10 ω | ≥1E5 ω | |||
| Ngazi Fraịn Primation | {10-10 ± ± 5.0 Celsius | ||||
| Ogologo dị larịị | 4h-n | N / a | |||
| 4h-si | Notch | ||||
| Iwepu Ozo | 3 mm | ||||
| LTV / TTV / ụta / Agha | ≤5μm / ≤15μm / ≤35 μm / ≤55 μm | ≤5μm / ≤15μm / ≤35 □ μm / Án5 □ Án | |||
| Ike ike | Polish RA≤1 NM | ||||
| CMP RA50.2 NM | RA50.5 nm | ||||
| Okirikiri mgbawa site na oke ọkụ dị elu Hex pletes site na elu elu ọkụ Polyype mpaghara site na oke ọkụ dị elu Nleta carbon carbon Silicon n'elu ọkụ dị elu | Onweghi Mpaghara cumulative ≤0.05% Onweghi Mpaghara cumulative ≤0.05% Onweghi | Ogologo ogologo ≤ 20 mm, ogologo ogologo≤2 mm Mpaghara cumulative ≤0.1% Cumulative mpaghara≤3% Mpaghara cumulative ≤3% Mpempe akwụkwọ dị ogologo ch1 × Wafeter | |||
| Eserechi nke oke ọkụ | Ọ dịghị onye na-anabataghị ≥0.2mm obosara na omimi | 7 na-ahapụ, ≤1 mm nke ọ bụla | |||
| (Tsd) na-eri nri | ≤500 cm-2 | N / a | |||
| (BPD) Base Plane na-enweghị nsogbu | ≤1000 cm-2 | N / a | |||
| Silicon n'elu mmetọ site na oke ọkụ dị elu | Onweghi | ||||
| Mbukota | Akpa ma ọ bụ igwe ma ọ bụ otu oghere | ||||
| Ndetu: | |||||
| Ibelata 1 na-eme ka ọ dị n'elu warara niile ma e wezụga mpaghara nkewa. A ga-enyocha scres na ihu naanị. 3 Data data na-enweghị enyemaka bụ naanị site na Koh Etched wafers. | |||||
XKH ga-aga n'ihu itinye ego na nyocha na mmepe nke 12-inch na-emegharị ngwa ya na-apụta (dịka calcialess consured (dịka mobiles nke ar / vr). Site na ibelata ego na ike ịbawanye ike, XKH ga-eweta abamuru na ụlọ ọrụ semiconductor.
Ihe osise zuru ezu
