Silicon Carbide SiC Ingot 6inch N type Dummy/praịm ọkwa ọkpụrụkpụ nwere ike ịbụ nke ahaziri ahazi

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Silicon Carbide (SiC) bụ ihe semiconductor sara mbara nke na-enweta nnukwu mmetụta n'ọtụtụ ụlọ ọrụ n'ihi ihe ndị dị elu ya dịka eletriki, okpomọkụ, na igwe. E mepụtara SiC Ingot na ụdị N Dummy/Prime nke dị sentimita isii (6-inch) maka imepụta ngwaọrụ semiconductor dị elu, gụnyere ngwa ike dị elu na nke dị elu. Site na nhọrọ ọkpụrụkpụ ahaziri na nkọwapụta ziri ezi, ingot SiC a na-enye ngwọta zuru oke maka mmepe nke ngwaọrụ eji na ụgbọala eletrik, sistemụ ike ụlọ ọrụ mmepụta ihe, nkwukọrịta, na ngalaba ndị ọzọ dị elu. Ike SiC na ọnọdụ voltaji dị elu, okpomọkụ dị elu, na nke dị elu na-eme ka arụmọrụ na-adịgide adịgide, dị irè, na nke a pụrụ ịtụkwasị obi na ọtụtụ ngwa.
A na-enweta SiC Ingot n'ogo sentimita isii, ya na dayameta nke 150.25mm ± 0.25mm na ọkpụrụkpụ ya karịrị 10mm, nke na-eme ka ọ dị mma maka ịkpụ wafer. Ngwaahịa a na-enye nhazi elu nke ọma nke 4° gaa <11-20> ± 0.2°, na-eme ka ọ dị mma n'ịmepụta ngwaọrụ. Na mgbakwunye, ingot nwere nhazi ala dị larịị nke <1-100> ± 5°, na-enye aka na nhazi kristal kacha mma na arụmọrụ nhazi.
Site na oke iguzogide dị elu n'etiti 0.015–0.0285 Ω·cm, obere njupụta pipụ micro nke <0.5, na mma dị mma nke ukwuu, SiC Ingot a dabara adaba maka mmepụta nke ngwaọrụ ike nke chọrọ obere ntụpọ na arụmọrụ dị elu n'okpuru ọnọdụ dị oke njọ.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Njirimara

Ọkwa: Ọkwa Mmepụta (Dummy/Prime)
Nha: dayameta nke sentimita 6
Dayameta: 150.25mm ± 0.25mm
Ọkpụrụkpụ: > 10mm (Ọkpụrụkpụ nhazi dị maka gị ma ọ bụrụ na ịchọrọ ya)
Nhazi Elu: 4° gaa <11-20> ± 0.2°, nke na-eme ka mma kristal dị elu na nhazi ziri ezi maka imepụta ngwaọrụ.
Nhazi Dị larịị nke Mbụ: <1-100> ± 5°, ihe dị mkpa maka ịkpụ ingot nke ọma n'ime wafers na maka uto kristal kacha mma.
Ogologo Dị larịị nke Mbụ: 47.5mm ± 1.5mm, nke e mere maka njikwa dị mfe na ịkpụ nke ọma.
Nguzogide: 0.015–0.0285 Ω·cm, nke dị mma maka ojiji na ngwaọrụ ike dị elu.
Njupụta nke micropipe: <0.5, na-eme ka obere ntụpọ ndị nwere ike imetụta arụmọrụ nke ngwaọrụ e mepụtara.
BPD (Boron Pitting Density): <2000, uru dị ala nke na-egosi ịdị ọcha kristal dị elu na obere njupụta ntụpọ.
TSD (Njupụta nke ihe mkpuchi threading screw dislocation): <500, na-eme ka ihe dị mma maka ngwaọrụ ndị nwere arụmọrụ dị elu.
Mpaghara Polytype: Ọ dịghị - ingot enweghị ntụpọ polytype, na-enye ezigbo ihe eji eme ihe maka ojiji dị elu.
Ndọtị nke dị n'akụkụ: <3, nwere obosara na omimi nke 1mm, na-eme ka mmebi elu dị ntakịrị ma na-edobe iguzosi ike n'ezi ihe nke ingot maka ịkpụ wafer dị irè.
Mgbawa nke akụkụ: 3, <1mm nke ọ bụla, yana obere mmebi nke akụkụ, na-eme ka njikwa dị mma na nhazi ọzọ.
Nkwakọba: Akpa Wafer - A na-etinye SiC ingot n'ime akpa wafer iji hụ na e nwere nchekwa ibugharị na njikwa.

Ngwa

Ngwa eletrọniki ike:A na-eji ingot SiC nke dị sentimita isii eme ihe nke ukwuu n'imepụta ngwaọrụ eletrọniki ike dịka MOSFETs, IGBTs, na diodes, nke bụ ihe dị mkpa na sistemụ mgbanwe ike. A na-eji ngwaọrụ ndị a eme ihe nke ukwuu na inverters ụgbọ ala eletrik (EV), draịva moto ụlọ ọrụ mmepụta ihe, ihe ndị na-enye ike, na sistemụ nchekwa ike. Ike SiC nwere ịrụ ọrụ na voltaji dị elu, ugboro ugboro dị elu, na oke okpomọkụ na-eme ka ọ dị mma maka ngwa ebe ngwaọrụ silicon (Si) ọdịnala ga-esiri ike ịrụ ọrụ nke ọma.

Ụgbọala eletriki (EV):N'ime ụgbọala eletriki, ihe ndị dabere na SiC dị oke mkpa maka mmepe nke modulu ike na inverters, DC-DC converters, na chaja n'ime ụgbọ. Ike okpomọkụ dị elu nke SiC na-enye ohere maka mbelata mmepụta okpomọkụ na arụmọrụ ka mma na ntụgharị ike, nke dị oke mkpa maka ime ka arụmọrụ na oke ịnya ụgbọ ala eletrik dịkwuo mma. Na mgbakwunye, ngwaọrụ SiC na-enye obere akụkụ, dị mfe, na nke a pụrụ ịtụkwasị obi karị, na-enye aka na arụmọrụ zuru oke nke sistemụ EV.

Sistemụ Ike Mmegharị Ọhụrụ:Ingots SiC bụ ihe dị mkpa n'ịmepụta ngwaọrụ mgbanwe ike eji eme ihe na sistemụ ike mmeghari ohuru, gụnyere inverters anyanwụ, turbine ikuku, na ngwọta nchekwa ike. Ike njikwa ike dị elu nke SiC na njikwa okpomọkụ dị irè na-enye ohere maka arụmọrụ mgbanwe ike dị elu na ntụkwasị obi ka mma na sistemụ ndị a. Ojiji ya na ike mmeghari ohuru na-enyere aka ịkwalite mgbalị zuru ụwa ọnụ iji kwado ike.

Nkwukọrịta:Ingot SiC nke dị sentimita isii (6 inch) dịkwa mma maka imepụta ihe eji eme ihe na ngwa RF (frequency redio) dị elu. Ndị a gụnyere amplifiers, oscillators, na nzacha eji eme ihe na sistemụ nkwukọrịta na satịlaịtị. Ike SiC nwere ijikwa ugboro ugboro dị elu na ike dị elu na-eme ka ọ bụrụ ihe dị mma maka ngwaọrụ nkwukọrịta nke chọrọ arụmọrụ siri ike na obere mfu mgbaàmà.

Ụgbọelu na Nchebe:Oke voltaji nke SiC na iguzogide oke okpomọkụ na-eme ka ọ dị mma maka ngwa ụgbọelu na nchekwa. A na-eji ihe ndị e ji SiC ingots mee na sistemụ radar, nkwukọrịta satịlaịtị, na ngwa eletrọniki ike maka ụgbọelu na ụgbọ elu. Ihe ndị dabere na SiC na-eme ka sistemụ ikuku rụọ ọrụ n'okpuru ọnọdụ dị oke njọ a na-ahụ na mbara igwe na gburugburu ebe dị elu.

Mmepụta akpaaka ụlọ ọrụ:N'ime akpaaka ụlọ ọrụ mmepụta ihe, a na-eji ihe ndị dị na SiC eme ihe na sensọ, ihe ndị na-eme ihe, na sistemụ njikwa ndị kwesịrị ịrụ ọrụ n'ebe siri ike. A na-eji ngwaọrụ ndị dabere na SiC eme ihe n'ime igwe nke chọrọ ihe ndị dị irè, ndị na-adịgide adịgide nke nwere ike iguzogide oke okpomọkụ na nrụgide eletriki.

Tebụl Nkọwapụta Ngwaahịa

Akụ na ụba	Nkọwapụta
Ọkwa	Mmepụta (Dummy/Prime)
Nha	sentimita isii
Dayameta	150.25mm ± 0.25mm
Ọkpụrụkpụ	>10mm (Enwere ike ịhazi ya)
Nhazi Elu	4° gaa <11-20> ± 0.2°
Nhazi Ala Dị Elu nke Mbụ	<1-100> ± 5°
Ogologo Dị larịị nke Mbụ	47.5mm ± 1.5mm
Nguzogide	0.015–0.0285 Ω·cm
Njupụta nke paịpụ micropipe	<0.5
Njupụta Boron Pitting (BPD)	<2000
Njupụta nke Skrọ Eriri (TSD)	<500
Ebe Polytype	Ọ dịghị
Ndọtị Ọnụ	<3, obosara na omimi nke 1mm
Mgbawa Ọnụ	3, <1mm/ea
Nkwakọ ngwaahịa	Akpa Wafer

Mmechi

Ọkwa SiC Ingot – N-type Dummy/Prime nke dị sentimita isii bụ ihe dị oke mma nke na-emezu ihe achọrọ siri ike nke ụlọ ọrụ semiconductor. Ọ na-eme ka okpomọkụ dị elu, iguzogide ya pụrụ iche, na obere ntụpọ na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ magburu onwe ya maka mmepụta nke ngwaọrụ eletrọniki ike dị elu, akụkụ ụgbọ ala, sistemụ nkwukọrịta, na sistemụ ike mmeghari ohuru. Nkọwapụta ọkpụrụkpụ na nkenke enwere ike ịhazi ya na-eme ka a hazie ingot SiC a maka ọtụtụ ngwa, na-ahụ na arụmọrụ dị elu na ntụkwasị obi na gburugburu ebe siri ike. Maka ozi ndị ọzọ ma ọ bụ ịtụ iwu, biko kpọtụrụ ndị otu ahịa anyị.