Ngwá Ọrụ SiC Ceramic Fork Arm / Ọgwụgwụ - Njikwa Nhazi Dị Elu maka Mmepụta Semiconductor

Ihe na-eme ka SiC seramiiki dịrị aka/nrụpụta njedebe – Njikwa nkenke dị elu maka imepụta semiconductor Foto a na-egosipụta

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Ogwe aka SiC Ceramic Fork Arm, nke a na-akpọkarị Ceramic End Effector, bụ ihe eji arụ ọrụ nke ọma nke e mepụtara kpọmkwem maka ibuga wafer, nhazi, na nhazi n'ime ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu, ọkachasị n'ime mmepụta semiconductor na fotovoltaic. Ejiri seramiiki silicon carbide dị ọcha mee ya, ihe a na-ejikọta ike igwe pụrụ iche, mgbasawanye okpomọkụ dị ala, na iguzogide oke ọkụ na nchara.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Ihe osise zuru ezu

Nchịkọta Ngwaahịa

N'adịghị ka ihe ndị e ji eme ihe n'oge ochie nke e ji aluminom, ígwè anaghị agba nchara, ma ọ bụ ọbụna quartz mee, ihe ndị e ji eme ihe n'oge seramiiki SiC na-enye arụmọrụ na-enweghị atụ n'ime ụlọ ndị na-adịghị ọcha, ụlọ nhicha, na gburugburu ebe a na-ahazi ihe siri ike, na-eme ka ha bụrụ akụkụ dị mkpa nke robot ndị na-eji wafer arụ ọrụ n'ọgbọ na-abịa. Ka ọchịchọ maka mmepụta na-enweghị mmetọ na nnabata siri ike na imepụta chip, ojiji nke ihe ndị e ji eme ihe n'oge seramiiki na-aghọ ọkọlọtọ ụlọ ọrụ ngwa ngwa.

Ụkpụrụ Mmepụta

Mmepụta nkeIhe ndị na-eme ka SiC seramiiki dị irègụnyere usoro nhazi dị oke mma, nke na-eme ka arụmọrụ na ịdịte aka sie ike. A na-ejikarị usoro abụọ bụ isi eme ihe:

Silicon Carbide ejiri ihe jikọtara ọnụ (RB-SiC)

N'ime usoro a, a na-etinye silicon agbaze agbaze n'ime ihe e ji silicon carbide powder na ihe njikọ mee n'ime ya na okpomọkụ dị elu (~1500°C), nke na-emeghachi omume na carbon fọdụrụnụ iji mepụta ngwakọta SiC-Si siri ike ma sie ike. Usoro a na-enye njikwa nha dị mma ma na-efu ego maka mmepụta buru ibu.

Carbide Silicon Sintered Enweghị Nrụgide (SSiC)

A na-eme SSiC site na iji ntụ ntụ SiC dị oke mma, dị ọcha nke ukwuu na oke okpomọkụ dị oke elu (>2000°C) na-ejighị ihe mgbakwunye ma ọ bụ usoro njikọ. Nke a na-eme ka ngwaahịa nwee ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ 100% njupụta na ihe kachasị elu nke igwe na okpomọkụ dị n'etiti ihe SiC. Ọ dị mma maka ngwa njikwa wafer dị oke mkpa.

Nhazi mgbe emechara

Ngwuputa CNC nke ọma: Na-enweta ịdị larịị na ihe yiri ya.
Mmecha Elu: Ịchacha daịamọnd na-ebelata oke iru ala ruo <0.02 µm.
Nnyocha: A na-eji nyocha interferometry anya, CMM, na ule na-anaghị emebi emebi iji chọpụta ihe ọ bụla.

Usoro ndị a na-emesi obi ike naihe na-eme ka njedebe SiC dị irèna-enye izi ezi nke itinye wafer n'ọnọdụ kwesịrị ekwesị, nhazi dị mma, na obere mmepụta ihe dị iche iche.

Atụmatụ na Uru Ndị Dị Mkpa

atụmatụ	Nkọwa
Ike Dị Elu nke Ukwuu	Ike siri ike nke Vickers > 2500 HV, na-eguzogide iyi na mgbawa.
Mgbasawanye Okpomọkụ Dị Ala	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, na-eme ka akụkụ kwụsie ike na okirikiri okpomọkụ.
Enweghị ike kemịkalụ	Na-eguzogide HF, HCl, gas plasma, na ihe ndị ọzọ na-emebi emebi.
Ezigbo Nguzogide Ọkụ Ọkụ	Ọ dabara adaba maka ikpo ọkụ/oyi ngwa ngwa na sistemu ikuku na ọkụ.
Elu siri ike na ike	Na-akwado ogwe aka ndụdụ dị ogologo nke nwere ike ịgbanwe agbanwe n'enweghị ntụgharị.
Mbelata dị ala na gas	Ọ dị mma maka gburugburu ebe ikuku dị elu (UHV).
Ụlọ Nhicha ISO Klas 1 Dị njikere	Ọrụ enweghị ihe ndị na-eme ka a hụ na wafer na-eguzosi ike n'ezi ihe.

Ngwa

A na-eji SiC Ceramic Fork Arm / End Effector eme ihe nke ọma n'ụlọ ọrụ ndị chọrọ oke nkenke, ịdị ọcha, na iguzogide kemịkal. Ihe ndị bụ isi gbasara ngwa gụnyere:

Mmepụta Semiconductor

Ibu/ibudata Wafer n'ime ebe a na-edebe ihe (CVD, PVD), ime ihe e ji ehicha ihe (RIE, DRIE), na sistemụ nhicha.
Mbugharị wafer robotic n'etiti FOUPs, kaseti, na ngwaọrụ nhazi.
Njikwa okpomọkụ dị elu n'oge nhazi okpomọkụ ma ọ bụ iwepụ ihe mkpofu.

Mmepụta Mkpụrụ Fotovoltaic

Mbugharị dị nro nke wafer silicon ndị na-adịghị ike ma ọ bụ ihe ndị dị n'ime anyanwụ n'ime ahịrị akpaaka.

Ụlọ ọrụ Ngosipụta Panel Dị larịị (FPD)

Ịkwaga nnukwu panel iko ma ọ bụ ihe ndị dị n'ime ya na gburugburu mmepụta OLED/LCD.

Semiconductor compound / MEMS

A na-eji ya eme ihe n'ụdị mmepụta GaN, SiC, na MEMS ebe njikwa mmetọ na izi ezi nke nhazi dị oke mkpa.

Ọrụ ya dị oke mkpa n'ịhụ na njikwa ya enweghị ntụpọ, kwụsiri ike n'oge ọrụ ndị dị nro.

Ike Nhazi

Anyị na-enye nhazi sara mbara iji mezuo ihe dị iche iche achọrọ maka akụrụngwa na usoro:

Nhazi ndụdụ: Nhazi nke nwere mkpisi aka abụọ, mkpisi aka dị iche iche, ma ọ bụ nke nwere ọkwa kewara ekewa.
Ndakọrịta nha Wafer: Site na wafers 2" ruo 12".
Njikọta Nwụnye: Dakọtara na ogwe aka robot OEM.
Oke na Nkwenye Elu: Enwere ike ịnweta larịị dị larịị nke Micron na gburugburu ọnụ.
Atụmatụ Mgbochi Mmịpụ: Ụdị elu ma ọ bụ mkpuchi nhọrọ maka ijide wafer dị nchebe.

Nke ọ bụlaihe na-eme ka njedebe seramiiki rụọ ọrụA na-ahazi ya na ndị ahịa iji hụ na ọ dabara nke ọma na obere mgbanwe ngwaọrụ.

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị (FAQ)

Q1: Kedu ka SiC si dị mma karịa quartz maka ngwa ndị na-eme ihe njedebe?
A1:Ọ bụ ezie na a na-ejikarị quartz eme ihe maka ịdị ọcha ya, ọ nweghị ike ígwè ma nwee ike ịgbaji n'okpuru ibu ma ọ bụ ọnọdụ okpomọkụ. SiC na-enye ike dị elu, iguzogide iyi, na nkwụsi ike okpomọkụ, na-ebelata nke ukwuu ihe egwu nke mmebi oge na wafer.

Q2: Ogwe aka seramiiki a ọ dakọtara na ndị na-eji wafer robot niile?
A2:Ee, ihe ndị na-eme ka seramiiki anyị dị irè na ọtụtụ sistemụ njikwa wafer dị mkpa, a pụkwara ịhazi ha ka ha dabara na ụdị robot gị nke ọma site na iji eserese injinia ziri ezi.

Q3: Ọ nwere ike ijikwa wafers 300 mm na-enweghị mgbagharị?
A3:N'ezie. Nkwụsi ike dị elu nke SiC na-enye ohere ka ogwe aka ndụdụ dị gịrịgịrị ma dị ogologo jide wafers 300 mm nke ọma n'enweghị ịda ada ma ọ bụ gbagọrọ agbagọ n'oge mmegharị ahụ.

Q4: Kedu ka ọrụ nkịtị nke SiC seramiiki effector si arụ ọrụ?
A4:Ọ bụrụ na ejiri ya nke ọma, ihe na-eme ka SiC dị irè nwere ike ịdịru ogologo oge karịa quartz ọdịnala ma ọ bụ ụdị aluminom, n'ihi ezigbo iguzogide nrụgide okpomọkụ na nke igwe.

Q5: Ị na-enye ọrụ nnọchi anya ma ọ bụ ọrụ nhazi ngwa ngwa?
A5:Ee, anyị na-akwado mmepụta ihe nlele ngwa ngwa ma na-enye ọrụ nnọchi dabere na eserese CAD ma ọ bụ akụkụ ndị e ji aka ha rụọ site na akụrụngwa dị ugbu a.

Gbasara anyị

XKH bụ ọkachamara n'ihe gbasara mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta, na ire nke iko anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-enye ngwa eletrọnịkị anya, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa, na ndị agha. Anyị na-enye ihe ndị mejupụtara anya Sapphire, mkpuchi anya ekwentị mkpanaaka, seramiiki, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers kristal semiconductor. Site na ahụmịhe ọkachamara na ngwa ọgbara ọhụrụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu nke ihe optoelectronic.