Ngwọta Ịchacha Sapphire Etched Wafer Wet & Dry

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

A na-eji ihe ndị dị n'ime sapphire dị ọcha nke otu kristal (Al₂O₃) emepụta wafers e ji sapphire mee, nke a na-ejikwa fotolithography dị elu yana teknụzụ e ji mmiri mee na e ji mmiri mee. Ngwaahịa ndị a nwere ụkpụrụ nhazi dị iche iche, izi ezi dị mma, na nkwụsi ike anụ ahụ na kemịkalụ pụrụ iche, na-eme ka ha dabara adaba maka ngwa a pụrụ ịtụkwasị obi na microelectronics, optoelectronics, nkwakọ ngwaahịa semiconductor, na ngalaba nyocha dị elu.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Ihe osise zuru ezu

Ngwọta Ịchacha Sapphire Etched Wafer Wet & Dry

Okwu Mmalite Ngwaahịa

A na-eji ihe ndị dị ọcha nke otu kristal sapphire (Al₂O₃) dị elu emepụta wafers e ji sapphire mee, nke a na-ejikwa fotolithography dị elu jikọta ya nateknụzụ ịkụcha mmiri mmiri na ịkụcha akọrọNgwaahịa ndị a nwere usoro nhazi dị iche iche, izi ezi dị mma, na nkwụsi ike anụ ahụ na kemịkalụ dị egwu, na-eme ka ha dabara adaba maka ngwa a pụrụ ịtụkwasị obi na microelectronics, optoelectronics, nkwakọ ngwaahịa semiconductor, na ngalaba nyocha dị elu.

A maara Sapphire nke ọma maka ike ya pụrụ iche na nkwụsi ike nhazi ya, yana ike Mohs nke 9, nke abụọ karịa dayamọnd. Site na ijikwa paramita etching kpọmkwem, enwere ike ịmepụta obere ihe owuwu ndị a kapịrị ọnụ ma na-emegharị n'elu sapphire, na-ahụ na nsọtụ ụkpụrụ dị nkọ, geometry kwụsiri ike, na nguzozi dị mma n'etiti otu.

Teknụzụ Ịkpụcha Ihe

Ịkpụcha mmiri mmiri

A na-eji ihe ngwọta kemịkalụ pụrụ iche ewepụ ihe sapphire ma mepụta obere ihe owuwu achọrọ. Usoro a na-enye nnukwu mmepụta, ezigbo otu, na obere ọnụ ahịa nhazi, na-eme ka ọ dabara adaba maka nhazi mpaghara buru ibu na itinye ya na ihe achọrọ maka profaịlụ akụkụ akụkụ dị mma.

Site n'ịchịkwa nhazi ngwọta, okpomọkụ, na oge ịkpụcha ihe nke ọma, enwere ike nweta njikwa kwụsiri ike nke omimi na ọdịdị elu. A na-eji wafer sapphire e ji mmiri mee ihe nke ukwuu na ihe ndị e ji ekpuchi ihe na LED, akwa nkwado nhazi, na ngwa MEMS ahọpụtara.

Ịkpụcha ahịhịa

Ịkpụcha ihe n'ọkụ, dịka ịkpụcha ihe n'ime plasma ma ọ bụ ịkpụcha ihe n'ime ion (RIE), na-eji ion ndị nwere ike dị elu ma ọ bụ ụdị ndị na-emeghachi omume eme ihe iji kpụcha sapphire site na usoro anụ ahụ na nke kemịkalụ. Usoro a na-enye anisotropy dị elu, ezigbo nkenke, na ikike mbufe ụkpụrụ dị mma, na-eme ka mmepụta nke atụmatụ dị mma na obere nhazi dị elu.

Ịkpụcha ihe n'ọkụ dị mma karịsịa maka ngwa ndị chọrọ akụkụ kwụ ọtọ, nkọwapụta atụmatụ dị nkọ, na njikwa nha siri ike, dị ka ngwaọrụ Micro-LED, nkwakọ ngwaahịa semiconductor dị elu, na nhazi MEMS dị elu.

Isi Atụmatụ na Uru

Ihe mejupụtara sapphire dị otu kristal dị ọcha nke nwere ike igwe dị mma
Nhọrọ usoro mgbanwe: imecha mmiri mmiri ma ọ bụ imecha akọrọ dabere na ihe achọrọ maka ngwa
Ike siri ike na nguzogide iyi maka ntụkwasị obi ogologo oge
Ezigbo nkwụsi ike na okpomọkụ na kemịkalụ, dabara adaba maka gburugburu siri ike
Nnukwu nghọta anya na ihe onwunwe dielectric kwụsiri ike
Ịhazi otu ụkpụrụ na nguzozi otu-na-otu

Ngwa

Nkwakọ ngwaahịa LED na Micro-LED na ihe nnwale
Ndị na-ebu mgbawa Semiconductor na nkwakọ ngwaahịa dị elu
Ihe mmetụta MEMS na sistemụ micro-elektromechanical
Ihe ndị dị na ngwa anya na nhazi nhazi nke ọma
Ụlọ ọrụ nyocha na mmepe micro-structure ahaziri ahazi

Nhazi na Ọrụ

Anyị na-enye ọrụ nhazi zuru oke, gụnyere nhazi ụkpụrụ, nhọrọ usoro ịkpụ ihe (mmiri ma ọ bụ akọrọ), njikwa omimi ịkpụ ihe, nhọrọ ọkpụrụkpụ na nha nke ihe ndị dị n'okpuru ala, ịkpụ ihe n'akụkụ otu ma ọ bụ akụkụ abụọ, yana ọkwa mmacha elu. Usoro njikwa na nyocha siri ike na-eme ka wafer sapphire ọ bụla mezuo ụkpụrụ ntụkwasị obi na arụmọrụ dị elu tupu ebuga ya.

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị - Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị

Q1: Kedu ihe dị iche n'etiti ịkpụ mmiri mmiri na ịkpụ akọrọ maka sapphire?

A:Ịkpụcha mmiri mmiri dabere na mmeghachi omume kemịkalụ ma dabara adaba maka nhazi buru ibu na nke dị ọnụ ala, ebe ịkpụcha mmiri kpọrọ nkụ na-eji usoro plasma ma ọ bụ ion eme ihe iji nweta nkenke ka mma, anisotropy ka mma, na njikwa atụmatụ ka mma. Nhọrọ a dabere na mgbagwoju anya nhazi, ihe achọrọ maka nkenke, na ihe ndị a na-atụle ọnụ ahịa.

Q2: Kedu usoro ịcha akwa m kwesịrị ịhọrọ maka ngwa m?

A:A na-atụ aro ka e jiri mmiri tee ihe maka ngwa ndị chọrọ usoro nha nhata nke ọma, dịka ihe ndị e ji LED mee. Ịkpụ ihe n'ọkụ na-adabara maka ngwa dị elu, nke nwere akụkụ dị elu, ma ọ bụ ngwa Micro-LED na MEMS ebe usoro geometry ziri ezi dị oke mkpa.

Q3: Ị nwere ike ịkwado ụkpụrụ na nkọwapụta ahaziri ahazi?

A:Ee. Anyị na-akwado atụmatụ ahaziri ahazi nke ọma, gụnyere nhazi ụkpụrụ, nha atụmatụ, omimi etch, ọkpụrụkpụ wafer, na nha substrate.

Gbasara anyị

XKH bụ ọkachamara n'ihe gbasara mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta, na ire nke iko anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-enye ngwa eletrọnịkị anya, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa, na ndị agha. Anyị na-enye ihe ndị mejupụtara anya Sapphire, mkpuchi anya ekwentị mkpanaaka, seramiiki, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers kristal semiconductor. Site na ahụmịhe ọkachamara na ngwa ọgbara ọhụrụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu nke ihe optoelectronic.