Gịnị bụ Wafer Chipping na kedu ka esi edozi ya?

Usoro dị oke mkpa n'imepụta ihe na-emepụta ihe na semiconductor bụ usoro dị mkpa ma nwee mmetụta kpọmkwem na ịdị mma na arụmọrụ nke chip ikpeazụ. Na mmepụta n'ezie,wafer iberi—karịsịamgbawa ihunamgbawa azụ—bụ ntụpọ dị oke njọ nke na-ebelata arụmọrụ mmepụta na mmepụta nke ukwuu. Iberibe abụghị naanị na ọ na-emetụta ọdịdị nke ibe kamakwa ọ nwere ike imebi arụmọrụ eletriki ha na ntụkwasị obi igwe ha.

Nkọwa na Ụdị Mkpọchi Wafer

Mkpọchi Wafer na-ezo aka namgbawa ma ọ bụ mmebi ihe dị n'akụkụ ibe n'oge usoro ịkpụA na-ekewa ya n'imemgbawa ihunamgbawa azụ:

• Mkpọchi ihu n'akụkụỌ na-eme n'elu ihe na-arụ ọrụ nke mgbawa ahụ nke nwere usoro sekit. Ọ bụrụ na mgbawa ahụ agbasaa n'ime mpaghara sekit ahụ, ọ nwere ike imebi arụmọrụ eletriki na ntụkwasị obi ogologo oge.

• Mkpọchi azụỌ na-emekarị mgbe wafer na-ebelata, ebe mgbawa na-apụta n'ala ma ọ bụ oyi akwa mebiri emebi n'azụ.

Site n'echiche nhazi,Mkpọchi akụkụ ihu na-abụkarị site na mgbawa na akwa epitaxial ma ọ bụ elu, mgbeMkpọchi azụ na-esite na oyi akwa mmebi e mepụtara n'oge wafer thinning na mwepụ nke ihe substrate.

Enwere ike kewaa chipping n'ihu n'ime ụdị atọ:

1. Mbibi mbụ- ọ na-emekarị n'oge a na-egbutu ihe tupu e tinye agụba ọhụrụ, nke a na-ahụkarị site na mmebi akụkụ ya na-adịghị mma.

2. Mkpọchi oge (cyclic)- na-apụta ugboro ugboro na mgbe niile n'oge ọrụ ịkpụcha na-aga n'ihu.

3. Mkpọchi na-adịghị mma- nke sitere na mmiri agụba na-agbapụta, ọnụego nri na-ezighi ezi, oke omimi ịkpụcha, mbufe wafer, ma ọ bụ mgbanwe.

Isi Ihe Na-akpata Mgbọrọgwụ Wafer

1. Ihe Ndị Na-akpata Mbibi Mbụ

• Ezughi oke nwụnye agụba ziri ezi

• Agụba anaghị agbaze nke ọma ka ọ bụrụ ọdịdị okirikiri zuru oke

• Mkpughe mkpụrụ dayamọnd ezughị ezu

Ọ bụrụ na etinyere agụba ahụ n'ebe dịtụ ntakịrị, ike ịkpụ ya na-aga n'ihu na-adị iche. Agụba ọhụrụ nke na-eyighị nke ọma ga-egosi na ọ na-aga n'ihu nke ọma, nke na-eduga n'ịgbanwe ụzọ ịkpụ ya. Ọ bụrụ na mkpụrụ dayamọnd ekpugheghị ya nke ọma n'oge a na-egbutu ya tupu oge a gbutu ya, oghere chip ndị dị irè agaghị etolite, nke na-eme ka ohere nke ịkpụ ya dịkwuo elu.

2. Ihe Ndị Na-akpata Mkpọchi Oge

• Mmebi mmetụta nke elu na agụba

• Mkpụrụ dayamọnd buru ibu na-apụta

• Nrapado nke ihe ndị dị n'èzí (resin, ihe ndị dị n'ime ígwè, wdg)

N'oge ịkpụcha, obere oghere nwere ike ịpụta n'ihi mmetụta nke chip. Mkpụrụ dayamọnd buru ibu na-apụta na-etinye nrụgide mpaghara, ebe ihe fọdụrụ ma ọ bụ ihe ndị si mba ọzọ na-emerụ ahụ n'elu agụba nwere ike imebi nkwụsi ike nke ịkpụcha.

3. Ihe Ndị Na-akpata Mkpọchi Adịghị Mma

• Ọgba ọsọ sitere na nguzozi ike na-adịghị mma na ọsọ dị elu

• Ọkwa nri na-ezighi ezi ma ọ bụ omimi ịkpụ oke

• Mbugharị ma ọ bụ mgbanwe Wafer n'oge ịkpụ

Ihe ndị a na-ebute ike ịkpụcha ihe na-adịghị agbanwe agbanwe na mgbanwe site na ụzọ ịkpụcha ihe e mere tupu oge eruo, na-akpata mgbawa n'akụkụ.

4. Ihe Ndị Na-akpata Mgbubi Azụ

Isi ihe na-esi na azụ azụ apụta bụ na ọ na-esinchịkọta nrụgide n'oge ịcha wafer na wafer warpage.

Mgbe a na-eme ka ọ dị gịrịgịrị, oyi akwa mebiri emebi na-etolite n'azụ, na-emebi nhazi kristal ma na-akpata nrụgide dị n'ime. N'oge a na-egbutu ya, mwepụta nrụgide na-eduga na mmalite obere mgbawa, nke na-agbasa nwayọ nwayọ gaa na nnukwu mgbawa azụ. Ka ọkpụrụkpụ wafer na-ebelata, iguzogide nrụgide ya na-ebelata, agha na-abawanye - na-eme ka azụ mgbawa dịkwuo mfe.

Mmetụta nke Iberibe na Iberibe na Mgbochi

Mmetụta na Arụmọrụ Chip

Mkpụcha na-ebelata nke ukwuuike igweỌbụna obere mgbawa n'akụkụ nwere ike ịnọgide na-agbasa n'oge nkwakọ ngwaahịa ma ọ bụ ojiji n'ezie, nke na-eduga na mgbawa mgbawa na mmebi eletriki. Ọ bụrụ na mgbawa n'akụkụ ihu abanye n'ebe sekit, ọ na-emebi arụmọrụ eletriki na ntụkwasị obi ngwaọrụ ogologo oge.

Ngwọta Dị Irè Maka Ibe Wafer

1. Nhazi Usoro Nhazi

A ga-agbanwe ọsọ ịkpụ, ọsọ nri, na omimi ịkpụ ihe n'ụzọ dị iche iche dabere na mpaghara wafer, ụdị ihe, ọkpụrụkpụ, na ọganihu ịkpụ ihe iji belata nrụgide.
Site na ijikọtaọhụụ igwe na nlekota dabere na AI, enwere ike ịchọpụta ọnọdụ agụba na omume mgbawa ozugbo ma gbanwee paramita nhazi na akpaghị aka maka njikwa ziri ezi.

2. Nlekọta na Njikwa Ngwaọrụ

Ọ dị mkpa ka a na-arụzi igwe dicing mgbe niile iji hụ na:

• Izizi nke spindle

• Nkwụsi ike nke sistemụ nnyefe

• Arụmọrụ sistemụ jụrụ oyi

A ga-etinye usoro nlekota agụba ndụ ndụ iji hụ na edochiri agụba ndị mebiri emebi nke ukwuu tupu mbelata arụmọrụ emee ka ha daa.

3. Nhọrọ na Nhazi Agụba

Njirimara agụba dịkanha mkpụrụ daịamọnd, ike njikọ, na njupụta ọkanwere mmetụta siri ike na omume chipping:

• Mkpụrụ dayamọnd buru ibu na-eme ka akụkụ ihu na-agbawa agbawa.

• Mkpụrụ ndị pere mpe na-ebelata ịkpụcha ihe mana ha anaghị arụ ọrụ nke ọma.

• Mbelata njupụta ọka na-ebelata iberibe mana ọ na-eme ka ndụ ngwaọrụ dị mkpụmkpụ.

• Ihe ndị dị nro na-ebelata mgbawa mana ha na-eme ka iyi ngwa ngwa.

Maka ngwaọrụ ndị dabere na silicon,nha mkpụrụ diamond bụ ihe kachasị mkpaỊhọrọ agụba dị elu nke nwere obere oke mkpụrụ na njikwa nha ọka siri ike na-egbochi mmebi ihu ma na-achịkwa ọnụ ahịa.

4. Usoro Njikwa Mkpụcha Azụ

Atụmatụ dị mkpa gụnyere:

• Ịhazi ọsọ spindle

• Ịhọrọ ihe ndị e ji mee ka diamond dị nro

• Iji ihe njikọ dị nro na obere njupụta abrasive

• Na-ahụ na etinyere agụba nke ọma na ịma jijiji spindle kwụsiri ike

Ọsọ ntụgharị dị elu ma ọ bụ nke dị ala na-eme ka ihe egwu nke mgbawa azụ dịkwuo elu. Mkpọtụ agụba ma ọ bụ ịma jijiji spindle nwere ike ibute mgbawa azụ nnukwu mpaghara. Maka wafers dị gịrịgịrị nke ukwuu,ọgwụgwọ mgbe emechara dịka CMP (Chemical Mechanical Polishing), akọrọ akọrọ, na mmiri mmiri kemịkalụnyere aka wepụ ihe ndị mebiri emebi fọdụrụ, wepụta nrụgide dị n'ime, belata agha, ma melite ike mgbawa nke ukwuu.

5. Teknụzụ Ịkpụcha Elu

Ụzọ ndị na-adịghị emetụ aka na nke na-ebelata nrụgide na-eme ka ọganihu dịkwuo mma:

• Ịkpụcha laserna-ebelata kọntaktị igwe ma na-ebelata mgbawa site na nhazi ike dị elu.

• Ịkpụcha mmiri-jetna-eji mmiri nrụgide dị elu agwakọtara ya na obere ihe na-eme ka ihe dị nro belata nke ukwuu, na-ebelata nrụgide okpomọkụ na nke igwe.

Ịkwalite Njikwa na Nnyocha Ogo

Ekwesịrị ịmepụta usoro njikwa mma siri ike n'ofe usoro mmepụta niile—site na nyocha ihe ndị e ji arụ ọrụ ruo na nkwenye ngwaahịa ikpeazụ. Ngwa nyocha dị oke mma dịkaigwe onyonyo anya na igwe onyonyo elektrọn nyocha (SEM)ekwesịrị iji ya nyochaa nke ọma wafers mgbe a gbusịrị ya, na-enye ohere ịchọpụta ma dozie ntụpọ chipping n'oge.

Mmechi

Wafer chipping bụ nsogbu dị mgbagwoju anya, nke nwere ọtụtụ ihe kpatara yaparamita usoro, ọnọdụ akụrụngwa, njirimara agụba, nrụgide wafer, na njikwa mmaNaanị site na nhazi usoro n'akụkụ ndị a niile ka a ga-esi chịkwaa mgbawa nke ọma - si otú a na-emeziwanyemmepụta mmepụta, ntụkwasị obi mgbawa, na arụmọrụ ngwaọrụ niile.