Wafer Sapphire nke dị sentimita iri na abụọ maka imepụta semiconductor dị elu

Foto a na-egosi na Wafer Sapphire nke dị sentimita iri na abụọ (12 inch) maka imepụta Semiconductor dị elu

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Emebere wafer sapphire nke dị sentimita iri na abụọ iji gboo mkpa na-eto eto maka mmepụta semiconductor na optoelectronic nke nwere nnukwu mpaghara, nke na-arụ ọrụ nke ọma na nke nwere ike ime ka ihe dị n'ime ya dịkwuo mma. Ka usoro nhazi ngwaọrụ na-aga n'ihu na-amụba ma na-aga n'ihu na usoro wafer buru ibu, ihe ndị e ji sapphire mee nwere dayameta buru ibu na-enye uru doro anya na mmepụta, nhazi mmepụta, na njikwa ọnụ ahịa.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Ihe osise zuru ezu

Okwu Mmalite nke wafer sapphire nke dị sentimita iri na abụọ

E ji otu kristal Al₂O₃ dị ọcha nke ukwuu mepụta wafer sapphire anyị dị sentimita iri na abụọ, ha na-ejikọta ike igwe dị mma, nkwụsi ike okpomọkụ, na ịdị mma elu. Site na nhazi kristal kachasị mma na nhazi wafer ziri ezi, ihe ndị a na-enye arụmọrụ a pụrụ ịdabere na ya maka LED dị elu, GaN, na ngwa semiconductor pụrụ iche.

Njirimara Ihe

A maara Sapphire (otu kristal aluminom oxide, Al₂O₃) nke ọma maka ihe ndị dị na anụ ahụ na kemịkalụ ya pụrụ iche. Wafe sapphire nke dị sentimita iri na abụọ na-eketa uru niile nke ihe sapphire ma na-enye nnukwu ebe a na-eji ya eme ihe.

Isi ihe ndị dị mkpa gụnyere:

Ike siri ike na nguzogide iyi dị oke elu
Ezigbo nkwụsi ike okpomọkụ na ebe agbaze elu
Nnukwu iguzogide kemịkalụ megide asịd na alkalis
Nnukwu nghọta anya site na ogologo ogologo UV ruo IR
Njirimara mkpuchi ọkụ eletrik dị mma

Njirimara ndị a na-eme ka wafer sapphire dị sentimita iri na abụọ dabara adaba maka gburugburu nhazi siri ike na usoro mmepụta semiconductor okpomọkụ dị elu.

Usoro Mmepụta

Mmepụta wafer sapphire nke dị sentimita iri na abụọ chọrọ uto kristal dị elu na teknụzụ nhazi nke ọma. Usoro mmepụta a na-ahụkarị gụnyere:

Otu Crystal Uto
A na-eji usoro dị elu dịka KY ma ọ bụ teknụzụ ndị ọzọ dị oke dayameta na-eto kristal sapphire, na-eme ka nhazi kristal dị otu na obere nrụgide dị n'ime.
Ịkpụzi na Ịbepụ kristal
A na-akpụzi sapphire ingot ahụ nke ọma ma bee ya n'ime wafers dị sentimita iri na abụọ site na iji ngwa ịkpụcha ihe nke ọma iji belata mmebi dị n'okpuru ala.
Ịkụcha na Ịchacha
A na-eji usoro nhazi ọtụtụ nzọụkwụ na nhazi kemịkalụ (CMP) eme ihe iji nweta oke iru ala, ịdị larịị, na ịdị n'otu ọkpụrụkpụ dị mma.
Nhicha na Nnyocha
A na-ehicha akwa sapphire ọ bụla nke dị sentimita iri na abụọ nke ọma ma na-enyocha ya nke ọma, gụnyere ịdị mma elu, TTV, ụta, walp, na nyocha ntụpọ.

Ngwa

A na-eji wafer sapphire nke dị sentimita iri na abụọ eme ihe n'ọtụtụ teknụzụ dị elu na ndị na-apụta, gụnyere:

Ihe ndị na-emepụta LED dị elu ma na-enwu gbaa
Ngwaọrụ ike dabere na GaN na ngwaọrụ RF
Ihe ndị na-ebu ngwaọrụ Semiconductor na ihe ndị na-egbochi ihe mkpuchi
Windo anya na akụkụ anya buru ibu
Nkwakọ ngwaahịa semiconductor dị elu na ndị na-ebu usoro pụrụ iche

Nnukwu dayameta ahụ na-eme ka mmepụta dị elu ma melite arụmọrụ ọnụ ahịa na mmepụta oke.

Uru nke Wafers Sapphire nke Inch 12

Ebe a na-eji eme ihe ka ukwuu maka mmepụta ngwaọrụ dị elu maka wafer ọ bụla
Mmeziwanye nguzozi na otu usoro
Mbelata ọnụ ahịa maka ngwaọrụ ọ bụla n'ime mmepụta dị elu
Ike igwe dị mma maka njikwa buru ibu
Nkọwapụta ahaziri maka ngwa dị iche iche

Nhọrọ Nhazi

Anyị na-enye nhazi mgbanwe maka wafer sapphire 12 inch, gụnyere:

Nhazi kristal (C-plane, A-plane, R-plane, wdg)
Ndabere na ọkpụrụkpụ
Ịchacha otu akụkụ ma ọ bụ okpukpu abụọ
Nhazi profaịlụ na nhazi chamfer
Ihe achọrọ maka ịdị nro na ịdị larịị nke elu

Paramita	Nkọwapụta	Ihe ndetu
Dayameta Wafer	12 inch (300 mm)	Wafer nke nwere dayameta buru ibu nkịtị
ihe	Safaịre kristal nke otu kristal (Al₂O₃)	Ọcha dị elu, ọkwa eletrọniki/anya
Nhazi kristal	C-plane (0001), A-plane (11-20), R-plane (1-102)	Ntuziaka nhọrọ dị
Ọkpụrụkpụ	430–500 μm	Ọkpụrụkpụ omenala dị maka arịrịọ
Ntachi Obi	±10 μm	Nnwere onwe siri ike maka ngwaọrụ dị elu
Mgbanwe Oke Ọkpụrụkpụ (TTV)	≤10 μm	Na-ahụ na nhazi otu nha n'ofe wafer
Ụta	≤50 μm	A tụrụ ya n'elu wafer dum
Warp	≤50 μm	A tụrụ ya n'elu wafer dum
Mmecha Elu	E ji otu akụkụ kpụọ mma (SSP) / E ji akụkụ abụọ kpụọ mma (DSP)	Elu elu dị elu nke nwere mma anya
Ọdịdị siri ike nke elu (Ra)	≤0.5 nm (emechara ka ọ dị mma)	Ịdị nro nke ọkwa atọm maka uto epitaxial
Profaịlụ nke Ọkpụkpọ	Chamfer / Ọnụ gbara okirikiri	Iji gbochie mgbawa n'oge ejizi
Izi ezi nke nhazi	±0.5°	Na-eme ka epitaxial too nke ọma
Njupụta ntụpọ	<10 cm⁻²	A tụrụ ya site na nyocha anya
Ịdị larịị	≤2 μm / 100 mm	Na-eme ka lithography na epitaxial too nke ọma
Ịdị ọcha	Klas nke 100 - Klas nke 1000	Dakọtara na ụlọ nhicha
Nnyefe Anya	>85% (UV–IR)	Dabere na ogologo na ọkpụrụkpụ

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị Banyere Wafer Sapphire Inch 12

Q1: Kedu ka ọkpụrụkpụ ọkọlọtọ nke wafer sapphire nke dị sentimita iri na abụọ?
A: Ọkpụrụkpụ ọkọlọtọ dị site na 430 μm ruo 500 μm. Enwere ike imepụta ọkpụrụkpụ omenala dịka ihe ndị ahịa chọrọ si dị.

Q2: Kedu ntụzịaka kristal dị maka wafer sapphire nke dị sentimita iri na abụọ?
A: Anyị na-enye ntụziaka C-plane (0001), A-plane (11-20), na R-plane (1-102). Enwere ike ịhazi ntụziaka ndị ọzọ dabere na ihe achọrọ maka ngwaọrụ.

Q3: Kedu ihe bụ mgbanwe ọkpụrụkpụ (TTV) nke wafer ahụ?
A: Wafe sapphire anyị nke dị sentimita iri na abụọ na-enwekarị TTV ≤10 μm, nke na-eme ka o doo anya na ọ ga-adị n'otu n'elu wafe ahụ dum maka imepụta ngwaọrụ dị elu.

Gbasara anyị

XKH bụ ọkachamara n'ihe gbasara mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta, na ire nke iko anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-enye ngwa eletrọnịkị anya, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa, na ndị agha. Anyị na-enye ihe ndị mejupụtara anya Sapphire, mkpuchi anya ekwentị mkpanaaka, seramiiki, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers kristal semiconductor. Site na ahụmịhe ọkachamara na ngwa ọgbara ọhụrụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu nke ihe optoelectronic.