Ogbo ikuku SiC nke Ultra-Precision

Foto a na-egosi na SiC Air-Bearing Ogbo nke Ultra-Precision

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Site na mgbanwe na-aga n'ihu nke ụlọ ọrụ semiconductor, akụrụngwa nhazi na nyocha chọrọ arụmọrụ ka mma. Site na ahụmịhe sara mbara na njikwa mmegharị na ọnọdụ ọkwa nanometer, anyị emepụtala usoro ikuku nke nwere ụdị H-type dual-axis ultra-precision.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Ihe osise zuru ezu

Nchịkọta

E ji usoro seramiiki silicon carbide (SiC) nke e ji ihe mejupụtara ya na teknụzụ ikuku akwụgoro ụgwọ rụọ ya, usoro a na-enye izi ezi pụrụ iche, nkwụsi ike, na nzaghachi na-agbanwe agbanwe. Ọ dabara nke ọma maka:

Nhazi na nyocha semiconductor
Mmepụta na usoro iheomume nke obere/nano
Ịcha na ịchacha ikuku nke nha Nanometer
Nnyocha nkenke ọsọ dị elu

Isi Atụmatụ

Ntuziaka nke na-ebu ikuku SiCmaka oke ike na nkenke dị elu
Ike dị elu: ọsọ ruo 1 m/s, ọsọ ruo 4 g, nkwụsị ngwa ngwa
Oghere Y nke na-agbagharị agagharị nke abụọna-eme ka ikike ibu dị elu na nkwụsi ike sie ike
Nhọrọ ihe ndeksi: oghere anya ma ọ bụ interferometer laser
Izi ezi nke ọnọdụ: ±0.15 μm;imeghachi ihe: ±75 nm
Nhazi eriri kachasị mmamaka imewe dị ọcha na ntụkwasị obi ogologo oge
Nhazi ahaziri ahazimaka mkpa kpọmkwem maka ngwa

Nhazi Ultra-Precision & Direct-Drive, Nhazi Na-anaghị Akpọtụrụ Aka

SiC Efere Efere: ~5× ike nke alloy aluminom na ~5× obere mgbasawanye okpomọkụ, na-eme ka ọ kwụsie ike ọsọ ọsọ na ike okpomọkụ.
Ibu Ikuku A Na-akwụghachi ỤgwọNhazi nkeonwe na-eme ka ike, ikike ibu, na nkwụsi ike mmegharị dịkwuo mma.
Arụmọrụ Ike: Na-akwado ọsọ 1 m/s na ọsọ 4 g, nke dị mma maka usoro mmepụta dị elu.
Njikọta Na-enweghị Ntụpọ: Dakọtara na sistemụ mwepụ nke mkpọtụ, usoro ntụgharị, modulu tilt, na nyiwe njikwa wafer.
Njikwa eriri: radius mgbagọ a na-achịkwa na-ebelata nrụgide maka ndụ ọrụ ogologo oge.

Moto Linear Coreless: Mmegharị dị nro na enweghị ike igbochi.
Draịvụ Ọtụtụ Moto: Ntinye moto ibu-plane na-eme ka ịdị larịị, ịdị larịị, na nhazi akụkụ dị mma.
Mwepụ nke Okpomọkụ: A na-ekewapụ injin ndị ahụ site na nhazi ikpo okwu; ikuku ma ọ bụ mmiri oyi nhọrọ maka usoro ọrụ dị elu.

Nkọwapụta

Ụdị nlereanya	400-400	500-500	600-600
Axes	X (nyocha) / Y (nzọụkwụ)	X (nyocha) / Y (nzọụkwụ)	X (nyocha) / Y (nzọụkwụ)
Njem (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Izi ezi (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Imeghachi (nm)	±75	±100	±100
Mkpebi (nm)	0.3	0.3	0.3
Ọsọ Kachasị (m/s)	1	1	1
Ọsọ ọsọ (g)	4	4	4
Nhazi kwụ ọtọ (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Ịkwụsi ike (nm)	±5	±5	±5
Ibu Kachasị (kg)	20	20	20
Pitch/Mpịakọta/Yaw (arc-sec)	±1	±1	±1

Ọnọdụ Ule:

Ikuku: dị ọcha, kpọrọ nkụ; ebe igirigi ≤ 0°F; nzacha ihe dị na ya ≤ 0.25 μm; ma ọ bụ nitrogen 99.99%.
A tụrụ izi ezi nke 25 mm n'elu etiti ogbo na 20±1°C, 40–60% RH.

Ngwa

Nhazi, nyocha, na njikwa wafer semiconductor
Nhazi Micro/nano na usoro nhazi ziri ezi
Mmepụta ihe onyonyo dị elu na interferometry
Ụgbọelu na nnyocha sayensị dị elu

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị - Ogbo Ikuku Silicon Carbide

1. Gịnị bụ ogbo ikuku na-ebu?

Ebe a na-ebu ikuku na-eji obere ihe mkpuchi nke ikuku a na-agbanye n'ime ikpo okwu na ụzọ nduzi iji nyemmegharị na-enweghị esemokwu, enweghị iyi, na mmegharị dị nro nke ukwuuN'adịghị ka bearings igwe nkịtị, ọ na-ewepụ mmịpụta osisi, na-enye izi ezi nke ọkwa nanomita, ma na-akwado ntụkwasị obi ogologo oge.

2. Gịnị mere e ji eji silicon carbide (SiC) eme ihe maka nhazi ọkwa?

Isi ike dị elu: ~5× nke alloy aluminom, na-ebelata mgbanwe n'oge mmegharị ike.
Mgbasawanye okpomọkụ dị ala: ~ 5× dị ala karịa aluminom, na-eme ka izi ezi dị n'okpuru mgbanwe okpomọkụ.
Dị fechaa: Njupụta dị ala ma e jiri ya tụnyere ígwè, nke na-eme ka ọrụ ọsọ dị elu na ọsọ dị elu.
Ezigbo nkwụsi ike: Ndapụ na nkwụsi ike dị elu maka nhazi nke ọma.

3. Ọ dị mkpa ka e jiri mmanụ mee ihe ma ọ bụ rụzie ya?

Ọ dịghị mkpa iji mmanụ ọdịnala eme ihe ebe ọ bụ na e nwereenweghị kọntaktị igweNlekọta akwadoro gụnyere:

Inyeikuku dị ọcha, akọrọ ma ọ bụ nitrogen ma ọ bụ ikuku akpọnwụrụ akpọnwụ
Nnyocha oge niile nke nzacha na igwe nkụ
Nlekota waya na sistemụ oyi

4. Kedu ihe achọrọ maka nnyefe ikuku?

Ebe igirigi: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Nzacha nke ihe ndị dị na ya: ≤ 0.25 μm
Ikuku dị ọcha ma kpọọ nkụ ma ọ bụ 99.99% nitrogen dị ọcha
Nrụgide kwụsiri ike na obere mgbanwe

Gbasara anyị

XKH bụ ọkachamara n'ihe gbasara mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta, na ire nke iko anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-enye ngwa eletrọnịkị anya, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa, na ndị agha. Anyị na-enye ihe ndị mejupụtara anya Sapphire, mkpuchi anya ekwentị mkpanaaka, seramiiki, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers kristal semiconductor. Site na ahụmịhe ọkachamara na ngwa ọgbara ọhụrụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu nke ihe optoelectronic.