Usoro TVG na quartz sapphire BF33 wafer Ịkụcha wafer iko

Uru nke TGV (Through Glass Via) na-egosipụtakarị na:

1) Njirimara eletriki dị elu nke ukwuu. Ihe iko bụ ihe mkpuchi, ihe na-agbanwe agbanwe nke dielectric dị naanị ihe dịka 1/3 nke ihe silicon, ihe na-efunahụ bụ 2-3 nke nha dị ala karịa ihe silicon, na-eme ka mfu substrate na mmetụta nje belata nke ukwuu iji hụ na ihe mgbaàmà ebufere ziri ezi;

(2) Ọ dị mfe inweta nnukwu iko dị arọ ma dị gịrịgịrị. Anyị nwere ike inye Sapphire, Quartz, Corning, na SCHOTT, ndị ọzọ na-emepụta iko nwere ike inye iko panel buru ibu (>2m × 2m) na iko panel dị gịrịgịrị (<50µm) na ihe iko na-agbanwe agbanwe nke ukwuu.

3) Ọnụ ego dị ala. Rite uru site na ịnweta iko panel buru ibu nke dị oke mkpa, ọ chọghịkwa ka e tinye akwa mkpuchi, ọnụ ahịa mmepụta nke efere nkwụnye iko bụ naanị ihe dị ka 1/8 nke efere nkwụnye silicon;

4) Usoro dị mfe. Ọ dịghị mkpa itinye akwa mkpuchi n'elu ihe mkpuchi na mgbidi dị n'ime nke TGV (Site na Glass Via), ọ dịghịkwa mkpa ịcha ihe n'ime efere ihe nkwụnye dị oke mkpa;

(5) Nkwụsi ike siri ike nke igwe. Ọbụlagodi mgbe ọkpụrụkpụ nke efere ihe nkwụnye ahụ erughị 100µm, ihe agha ahụ ka dị obere;

6) Ngwa dị iche iche. Na mgbakwunye na ezigbo atụmanya ngwa n'ọhịa nke ugboro ugboro dị elu, dị ka ihe na-edoghị anya, enwere ike iji ya na ngalaba njikọta sistemụ optoelectronic, uru ikuku na-egbochi nchara na-eme ka ihe mkpuchi iko dị na ngalaba nke mkpuchi MEMS nwere nnukwu ikike.

Ugbu a, ụlọ ọrụ anyị na-enye iko TGV (Site na Glass Via) site na teknụzụ oghere, nwere ike ịhazi nhazi nke ihe ndị na-abata ma nye ngwaahịa ahụ ozugbo. Anyị nwere ike inye Sapphire, Quartz, Corning, na SCHOTT, BF33 na iko ndị ọzọ. Ọ bụrụ na ịchọrọ, ị nwere ike ịkpọtụrụ anyị ozugbo n'oge ọ bụla! Nnọọ ajụjụ!