Ụgbọ Mmiri Wafer Silicon Carbide (SiC)

Foto a egosipụtara n'ụgbọ mmiri Silicon Carbide (SiC) Wafer

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Ụgbọ mmiri wafer Silicon Carbide (SiC) bụ ihe eji ebu usoro semiconductor nke e ji ihe SiC dị ọcha nke ukwuu mee, nke e mere iji jide ma bufee wafers n'oge usoro dị oke mkpa dị ka epitaxy, oxidation, diffusion, na annealing.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Ihe osise zuru ezu

Nkọwa nke Iko Quartz

Site na mmepe ngwa ngwa nke semiconductors ike na ngwaọrụ bandgap sara mbara, ụgbọ mmiri quartz nkịtị na-enwe oke mgbochi dịka mgbanwe na okpomọkụ dị elu, mmetọ dị oke njọ, na ndụ ọrụ dị mkpụmkpụ. Ụgbọ mmiri SiC wafer, nke nwere nkwụsi ike okpomọkụ dị elu, obere mmetọ, na ndụ ogologo oge, na-anọchi ụgbọ mmiri quartz ma na-aghọ nhọrọ kachasị mma na nrụpụta ngwaọrụ SiC.

Isi Atụmatụ

1. Uru Ihe

Emepụtara ya site na SiC dị ọcha nke ukwuuike na ike dị elu.
Ebe agbaze ihe karịrị 2700°C, nke dị elu karịa quartz, na-eme ka o doo anya na ọ ga-adịgide ruo ogologo oge n'ebe dị oke njọ.

2. Njirimara nke Okpomọkụ

Ọkwa okpomọkụ dị elu maka mbufe okpomọkụ ngwa ngwa na otu nha, na-ebelata nrụgide wafer.
Ọnụọgụ nke mgbasawanye okpomọkụ (CTE) na-adakọ nke ọma na ihe ndị dị na SiC, na-ebelata mkpụkọ na mgbawa nke wafer.

3. Nkwụsi ike nke kemịkalụ

Ọ na-adị mma n'okpuru oke okpomọkụ na ikuku dị iche iche (H₂, N₂, Ar, NH₃, wdg).
Ezigbo iguzogide oxidation, na-egbochi ire ere na mmepụta ihe.

4. Arụmọrụ usoro

Elu dị nro ma dị oke arọ na-ebelata mwụfu na mmetọ nke ihe ndị dị n'ime ya.
Na-ejigide nkwụsi ike na ikike ibu mgbe ejiri ya ogologo oge.

5. Ịrụ ọrụ ọnụ ahịa

Ogologo ndụ ọrụ dị okpukpu atọ ruo ise karịa ụgbọ mmiri quartz.
Mbelata ugboro ole a na-arụzi ihe, belata oge ọrụ na mmefu nnọchi.

Ngwa

SiC Epitaxy: Na-akwado ihe ndị dị na SiC nke dị sentimita 4, sentimita 6, na sentimita 8 n'oge uto epitaxial dị elu.
Mmepụta Ngwaọrụ Ike: Ọ dị mma maka SiC MOSFETs, Schottky Barrier Diodes (SBDs), IGBTs, na ngwaọrụ ndị ọzọ.
Ọgwụgwọ okpomọkụ: Usoro nkwụsịtụ, nitride, na carbonization.
Ọkụkọ na Mgbasa: Ikpo okwu nkwado wafer kwụsiri ike maka oxidation na mgbasa okpomọkụ dị elu.

Nkọwapụta Nkà na ụzụ

ihe	Nkọwapụta
ihe	Ọcha dị elu nke Silicon Carbide (SiC)
Nha Wafer	4-inch / 6-inch / 8-inch (enwere ike ịhazi ya)
Oke okpomọkụ ọrụ.	≤ 1800°C
Mgbasawanye okpomọkụ CTE	4.2 × 10⁻⁶ /K (dị nso na SiC substrate)
Ọgbakọ okpomọkụ	120–200 W/m·K
Ọdịdị Elu	Ra < 0.2 μm
Iyikọ yiri ibe ya	±0.1 mm
Ndụ Ọrụ	≥ 3× ogologo karịa ụgbọ mmiri quartz

Ntụnyere: Ụgbọ mmiri Quartz vs. Ụgbọ mmiri SiC

Akụkụ	Ụgbọ mmiri Quartz	Ụgbọ mmiri SiC
Nguzogide Okpomọkụ	≤ 1200°C, mgbanwe na okpomọkụ dị elu.	≤ 1800°C, ọ kwụsiri ike n'oge okpomọkụ
Njikọ CTE na SiC	Nnukwu enweghị nkwekọ, ihe egwu nke nrụgide wafer	Mechie njikọ ahụ, na-ebelata mgbawa wafer
Mmetọ nke ihe ndị dị ndụ	Elu, na-emepụta ihe ndị na-adịghị ọcha	Ala dị ala, dị ire ụtọ ma dịkwa oke arọ
Ndụ Ọrụ	Ndochi dị mkpirikpi, ugboro ugboro	Ogologo ndụ, 3–5× ogologo ndụ
Usoro kwesịrị ekwesị	Epitaxy nkịtị Si	Emebere maka ngwaọrụ ike na SiC epitaxy

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị - Ụgbọ Mmiri Wafer Silicon Carbide (SiC)

1. Gịnị bụ ụgbọ mmiri wafer SiC?

Ụgbọ mmiri wafer SiC bụ ihe eji ebu usoro semiconductor nke e ji silicon carbide dị ọcha mee. A na-eji ya ejide ma na-ebuga wafers n'oge usoro okpomọkụ dị elu dịka epitaxy, oxidation, diffusion, na annealing. Ma e jiri ya tụnyere ụgbọ mmiri quartz ọdịnala, ụgbọ mmiri wafer SiC na-enye nkwụsi ike okpomọkụ dị elu, obere mmetọ, na ndụ ọrụ dị ogologo.

2. Gịnị mere e ji họrọ ụgbọ mmiri wafer SiC karịa ụgbọ mmiri quartz?

Nguzogide okpomọkụ dị elu: Ọ kwụsiri ike ruo 1800°C vs. quartz (≤1200°C).
Ndakọrịta CTE ka mma: Dị nso na ihe ndị dị na SiC, na-ebelata nrụgide wafer na mgbawa.
Mmepụta obere ihe dị iche iche: Elu dị nro ma dị oke arọ na-ebelata mmetọ.
Ndụ ogologo oge: Ogologo oge karịa ụgbọ mmiri quartz ugboro 3–5, na-ebelata ọnụ ahịa nke onye nwe ya.

3. Kedu nha wafer ụgbọ mmiri wafer SiC nwere ike ịkwado?

Anyị na-enye nhazi ọkọlọtọ maka4-inch, 6-inch, na 8-inchWafers, yana nhazi zuru oke dị maka izute mkpa ndị ahịa.

4. Kedu usoro e ji eji ụgbọ mmiri wafer SiC eme ihe?

Uto nke SiC epitaxial
Mmepụta ngwaọrụ semiconductor ike (SiC MOSFETs, SBDs, IGBTs)
Ịkpọcha ihe n'okpomọkụ dị elu, nitride, na carbonization
Usoro oxidation na mgbasa

Gbasara anyị

XKH bụ ọkachamara n'ihe gbasara mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta, na ire nke iko anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-enye ngwa eletrọnịkị anya, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa, na ndị agha. Anyị na-enye ihe ndị mejupụtara anya Sapphire, mkpuchi anya ekwentị mkpanaaka, seramiiki, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers kristal semiconductor. Site na ahụmịhe ọkachamara na ngwa ọgbara ọhụrụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu nke ihe optoelectronic.