Tube Ọkụ kwụ ọtọ nke Silicon Carbide (SiC)

Foto a na-egosi na Tube Silicon Carbide (SiC) dị n'akụkụ ọkụ kwụ ọtọ

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Tube Silicon Carbide (SiC) nke dị n'akụkụ Ọkụ kwụ ọtọ na-eje ozi dị ka isi ụlọ ọrụ na oke nrụgide maka mmeghachi omume gas-phase dị elu na ọgwụgwọ okpomọkụ eji eme ihe na mmepụta semiconductor, mmepụta fotovoltaic, na nhazi ihe dị elu.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Ihe osise zuru ezu

Ọnọdụ Ngwaahịa na Atụmatụ Uru

Ejiri otu ihe e ji SiC arụ ọrụ nke e tinyere ihe mgbakwunye ya na akwa nchekwa CVD-SiC dị oke arọ rụọ ya, ọ na-enye ike okpomọkụ pụrụ iche, obere mmetọ, ike siri ike n'ime ihe, na ike kemịkalụ pụrụ iche.
Nhazi ya na-eme ka okpomọkụ dị mma, oge ọrụ agbatịkwuru, na ọrụ ogologo oge kwụsiri ike.

Uru Isi

Na-eme ka usoro okpomọkụ, ịdị ọcha, na arụmọrụ akụrụngwa zuru oke (OEE) dịkwuo mma.
Na-ebelata oge ọrụ nhicha ma na-agbatị usoro nnọchi, na-ebelata ọnụ ahịa zuru oke nke onye nwe (TCO).
Na-enye ụlọ dị ogologo ndụ nke nwere ike ijikwa kemịkalụ dị elu nke nwere oxidative na chlorine nke nwere obere ihe egwu.

Ikuku na Window Usoro Dị Mkpa

Gas ndị na-emeghachi omume: oxygen (O₂) na ngwakọta oxidizing ndị ọzọ
Gas ndị na-ebu ibu/ihe nchebe: nitrogen (N₂) na gas ndị na-adịghị ọcha nke ukwuu
Ụdịdị ndị dakọtara: Chọpụta gas ndị nwere chlorine (njikwa usoro nhazi oge na ntinye uche)

Usoro Ndị A Na-ahụkarị: oxidation akọrọ/mmiri mmiri, annealing, mgbasa, ntinye LPCVD/CVD, ime ka elu rụọ ọrụ, photovoltaic passivation, uto dị gịrịgịrị na-arụ ọrụ, carbonization, nitridation, na ndị ọzọ.

Ọnọdụ Ọrụ

Okpomọkụ: okpomọkụ ụlọ ruo 1250 °C (kwere ka oke nchekwa dị 10–15% dabere na imewe ihe na-ekpo ọkụ na ΔT)
Nrụgide: site na ọkwa oghere dị ala/LPCVD ruo na nrụgide dị mma nke dị nso na ikuku (nkọwa ikpeazụ maka usoro ịzụrụ)

Ihe na Usoro Nhazi

Ahụ SiC nke Monolithic (Emepụtara ya na mgbakwunye)

β-SiC ma ọ bụ SiC nwere ọtụtụ usoro, nke e wuru dịka otu ihe mejupụtara ya—enweghị njikọ ma ọ bụ ihe mkpuchi e ji brazed mee nke nwere ike ịgbapụta ma ọ bụ mepụta ebe nrụgide.
Nnukwu ike okpomọkụ na-eme ka mmeghachi omume okpomọkụ ngwa ngwa na ịdị mma nke okpomọkụ axial/radial dị mma.
Ọkwa dị ala, nke kwụsiri ike nke mgbasa okpomọkụ (CTE) na-eme ka nkwụsi ike na akara a pụrụ ịtụkwasị obi na okpomọkụ dị elu.

Mkpuchi Ọrụ CVD SiC

E tinyere ya n'ime ebe a, nke dị oke ọcha (ihe ruru unyi n'elu/mkpuchi ihe karịrị 5 ppm) iji gbochie mmepụta ihe na mwepụta ion ígwè.
Ọ na-eme ka ikuku kemịkalụ dị oke mma megide ikuku oxygen na gas ndị na-ebu chlorine, na-egbochi mwakpo mgbidi ma ọ bụ iwepụ ihe ọzọ.
Nhọrọ ọkpụrụkpụ nke mpaghara kpọmkwem iji dozie nguzogide nchara na nzaghachi okpomọkụ.

Uru ejikọtara ọnụ: ahụ siri ike nke SiC na-enye ike nhazi na ikpo ọkụ, ebe oyi akwa CVD na-ekwe nkwa ịdị ọcha na iguzogide nchara maka ntụkwasị obi na mmepụta kachasị.

Ebumnuche Arụmọrụ Dị Mkpa

Okpomọkụ ojiji na-aga n'ihu:≤ 1250 °C
Ihe ndị na-adịghị mma nke ukwuu:<300 ppm
Ihe ndị na-adịghị ọcha n'elu CVD-SiC:<5 ppm
Nkwenye nha: OD ±0.3–0.5 mm; njikọta ≤ 0.3 mm/m (a na-ahụ ike karịa)
Ọdịdị mgbidi dị n'ime: Ra ≤ 0.8–1.6 µm (a na-etecha ya nke ọma ma ọ bụ nke dị nso na enyo)
Ọkwa ntapu helium: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
Ntachi obi na ujo okpomọkụ: na-adị ndụ ugboro ugboro na-agbagharị n'ọkụ/oyi na-enweghị mgbawa ma ọ bụ na-agbapụta mmiri
Mgbakọ ụlọ nhicha: ISO Klas 5–6 nwere ọkwa ihe fọdụrụ nke ihe na-adịghị arụ ọrụ nke ọma/nke nwere ion ígwè

Nhazi na Nhọrọ

Jiometrị: OD 50–400 mm (ka ukwuu site na nyocha) yana ogologo ihe owuwu otu iberibe; ọkpụrụkpụ mgbidi nke emebere maka ike igwe, ibu, na mgbanwe okpomọkụ.
Nhazi ikpeazụ: flanges, mgbịrịgba ọnụ, bayonet, mgbaaka ịchọta, oghere mgbanaka O, na ọdụ ụgbọ mmiri mgbapụta ma ọ bụ nrụgide ahaziri ahazi.
Ọdụ ụgbọ mmiri arụ ọrụ: ihe eji echekwa thermocouple, oche ndị na-ahụ anya, oghere gas nke na-agafe agafe—ihe niile e mepụtara maka ọrụ dị elu na nke na-anaghị agbapụta mmiri.
Atụmatụ mkpuchi: mgbidi dị n'ime (ndabara), mgbidi dị n'èzí, ma ọ bụ mkpuchi zuru oke; ihe nchebe ezubere iche ma ọ bụ ọkpụrụkpụ ọkwa maka mpaghara ndị nwere nnukwu nsogbu.
Ọgwụgwọ na ịdị ọcha nke elu: ọkwa dị iche iche nke adịghị ike, nhicha ultrasonic/DI, na usoro ịme achịcha/akọrọ omenala.
Ngwa: flanges graphite/seramiiki/metal, akara, ihe ndị e ji achọ ebe a ga-etinye ihe, aka uwe eji ejikwa ihe, na ihe e ji echekwa ihe.

Ntụnyere Arụmọrụ

Metric	Tube SiC	Ọdụ Quartz	Tube Alumina	Ọdụdọ Graphite
Ọkwa okpomọkụ	Elu, otu, otu	Dị ala	Dị ala	Elu
Ike okpomọkụ dị elu/na-agbagharị agbagharị	Ọ dị mma nke ukwuu	Ezigbo	Ọ dị mma	Ọ dị mma (na-emetụta oxidation)
Ujo okpomọkụ	Ọ dị mma nke ukwuu	Ike adịghị ike	Nke dị n'etiti	Ọ dị mma nke ukwuu
Ịdị ọcha / ion ígwè	Ezigbo (obere)	Nke dị n'etiti	Nke dị n'etiti	Ogbenye
Oxidation na Cl-kemistri	Ọ dị mma nke ukwuu	Ezigbo	Ọ dị mma	Ọgwụ adịghị mma (na-eme ka oxidizes)
Ọnụ ego na ndụ ọrụ	Ndụ ọkara / ogologo	Obere / mkpụmkpụ	Ọkara / ọkara	Oke/ebe dị oke mma

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị (FAQ)

Q1. Gịnị mere ị ga-eji họrọ ahụ SiC monolithic nke e biri ebi na 3D?
A. Ọ na-ewepụ ihe mkpuchi na brazes nke nwere ike ịgbapụta ma ọ bụ itinye nrụgide n'ime ihe, ma na-akwado geometrị dị mgbagwoju anya na nha ziri ezi.

Q2. SiC ọ na-eguzogide gas ndị nwere chlorine?
A. Ee. CVD-SiC anaghị arụ ọrụ nke ọma n'ime oke okpomọkụ na nrụgide akọwapụtara. Maka ebe ndị nwere mmetụta dị elu, a na-atụ aro ka e jiri mkpuchi siri ike mee ihe na sistemụ nhicha/ikpochapụ siri ike.

Q3. Kedu ka o si eme ka ọ ka mma karịa ọkpọkọ quartz?
A. SiC na-enye ndụ ọrụ ogologo oge, ịdị n'otu okpomọkụ ka mma, obere mmetọ nke ihe ndị dị n'ime/ígwè-ion, yana TCO ka mma—karịsịa karịa ~900 °C ma ọ bụ na ikuku oxidizing/chlorine.

Q4. Ọ ga-ekwe omume na ọkpọkọ ahụ ga-enwe ike ijikwa ọsọ ọsọ nke okpomọkụ?
A. Ee, ma ọ bụrụ na e lebara anya na ntuziaka ΔT kachasị na rampụ-ọsọ. Ijikọta ahụ dị elu-κ SiC na oyi akwa CVD dị gịrịgịrị na-akwado mgbanwe okpomọkụ ngwa ngwa.

Q5. Olee mgbe a chọrọ nnọchi?
A. Dochie ọkpọkọ ahụ ma ọ bụrụ na ị chọpụta mgbawa flange ma ọ bụ n'akụkụ, oghere mkpuchi ma ọ bụ mmụba mmiri, mmụba nke ọnụego mmiri ozuzo, mmụba dị ukwuu nke profaịlụ okpomọkụ, ma ọ bụ mmepụta ihe na-adịghị mma.

Gbasara anyị

XKH bụ ọkachamara n'ihe gbasara mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta, na ire nke iko anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-enye ngwa eletrọnịkị anya, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa, na ndị agha. Anyị na-enye ihe ndị mejupụtara anya Sapphire, mkpuchi anya ekwentị mkpanaaka, seramiiki, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers kristal semiconductor. Site na ahụmịhe ọkachamara na ngwa ọgbara ọhụrụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu nke ihe optoelectronic.