Ihe na-eme ka ihe na-eme ka seramiiki nke Silicon Carbide dị mma (Ọnọdụ aka/Ụdị aka)

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Ihe e ji arụ ọrụ na Silicon Carbide Ceramic End Effector bụ ihe e ji arụ ọrụ nke ọma nke e mepụtara maka imepụta semiconductor, photonics, robotics akpaaka, na nhazi ihe dị elu. E mere ya na nhazi aka/aka nke ndụdụ, Silicon Carbide Ceramic End Effector na-enye nkwụsi ike pụrụ iche, ike siri ike dị elu, na mmepụta obere ihe dị ala, na-eme ka ọ dị mma maka ọrụ mbufe wafer dị nro na substrate.


atụmatụ

Nkọwa nke Iko Quartz

IheIhe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikibụ ihe eji arụ ọrụ nke ọma nke e mepụtara maka imepụta semiconductor, photonics, robotik akpaaka, na nhazi ihe dị elu. E mere ya na nhazi aka/aka maka ndụdụ,Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikina-enye nkwụsi ike dị oke mma, ike siri ike dị oke elu, na mmepụta obere ihe dị ala, na-eme ka ọ dị mma maka ọrụ mbufe wafer dị nro na substrate.

N'adịghị ka ngwaọrụ njedebe ígwè ma ọ bụ polymer ọdịnala,Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikinwere ike ịnọgide na-enwe ezi ọdịdị n'okpuru oke okpomọkụ, ikpughe kemịkalụ, na gburugburu ikuku. Elu ya dị larịị nke na-akwado ya na-eme ka ejiri waya silicon, ihe ndị e ji iko mee, ihe ndị e ji sapphire optics mee ihe, wafer SiC, na ihe ndị ọzọ na-adịghị ike. Site na nhazi dị mfe ma sie ike,Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikina-ebelata mkpọtụ, na-eme ka mmepụta dịkwuo elu, ma na-ebelata nrụgide igwe n'oge ngwa ngwa nke robot.

Emebere ya maka arụmọrụ enweghị mmetọ,Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikiA na-ejikarị ya eme ihe n'ọdụ ụgbọ mmiri ibu FOUP, modulu EFEM, sistemụ lithography, ngwaọrụ mbufe ikuku, na ọdụ metrology - na-enye njikọ a pụrụ ịtụkwasị obi, dị ọcha n'etiti akụrụngwa akpaaka na ihe bara uru.

Ụkpụrụ Mmepụta

IheIhe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikiA na-emepụta ya site na usoro ọrụ seramiiki pụrụ iche nke na-ekwe nkwa ịdị ọcha dị elu, njupụta dị elu, na ntụkwasị obi ogologo oge. N'oge usoro mmepụta ahụ, njikwa mma siri ike na-ahụ na nke ọ bụlaIhe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikina-emezu ihe siri ike achọrọ nke sistemụ akpaaka nke klas semiconductor.

1. Nkwadebe Ihe

Mmepụta ihe na-amalite site na nhọrọ nke ntụ ntụ SiC dị ọcha nke ukwuu. Ntụ ntụ ndị a na-ekpebi ike na ịdị ọcha nke igweIhe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikiA na-agwakọta ihe njikọta pụrụ iche na ihe mgbakwunye sintering iji nweta ngwugwu ihe ndị dị mma ma kwalite njupụta otu.

2. Ịkpụzi na Ịkwalite

Ahụ akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ nkeIhe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikiA na-eji ihe e ji agbanye ihe n'ime ya ma ọ bụ ihe e ji seramiiki mee ya. Nke a na-eme ka usoro ahụ nwee nguzozi na nrụgide, nke nwere obere ntụpọ dị n'ime ya. A na-akpụzi ụdị ihe e ji kee ya n'oge a ka o kwekọọ na dayameta wafer na njikọ ndị e ji ejikọta robotik.

3. Ịsachapụ ihe na-ekpo ọkụ nke ukwuu

A na-ete ihe dị n'ụdị ya n'ime ihe dị n'ime ya n'ebe dị ọkụ ma ọ bụ ebe na-adịghị mma. N'oge a, a na-ete ihe ndị dị n'ụdị ya n'ime ihe dị n'ime ya n'ebe okpomọkụ karịrị 2000°C.Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikiỌ na-eru njupụta dị nso na nke echiche, na-enye ike siri ike dị mma, iguzogide ujo okpomọkụ, na nkwụsi ike kemịkalụ. Nkebi a na-akọwapụta iguzosi ike n'ezi ihe nke ihe mejupụtara ya.

4. Nhazi CNC nke ọma

Mgbe e mechara sintepon, egweri diamond na igwe CNC dị iche iche na-emeziwanye geometry nkeIhe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikiA na-eji ihe ndị dị mkpa dịka elu kọntaktị wafer, oghere ndị a na-etinye n'ime ya, oghere nhazi, na oghere ndụdụ eme ihe ka ha wee sie ike dịka ±0.01 mm.

5. Mmecha na Nhicha Elu

N'ikpeazụ,Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikiA na-eme nhicha dị mma nke ukwuu ma na-ehicha ya nke ọma site na iji ultrasonic. Nzọụkwụ a na-ebelata oke iru mmiri ma na-ewepụ obere ihe ndị na-emebi emebi, na-eme ka ụlọ nhicha ahụ dakọọ. Mkpuchi CVD-SiC ma ọ bụ akwa ndị na-eguzogide plasma nwere ike ime ka ọ sie ike karịa.

Usoro nrụpụta a dị nkọ na-eme ka ọ dị mfe na nke ọ bụlaIhe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikina-arụ ọrụ nke ọma na gburugburu akpaaka dị elu.

Ngwa

IheIhe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikiE mere ya maka ụlọ ọrụ ebe ịdị ọcha, izi ezi, na ntụkwasị obi na-adịghị agbanwe agbanwe. Nhazi aka/aka ya na-eme ka ọ dabara adaba maka ogwe aka robot, sistemụ ịhọrọ na itinye, ngwaọrụ nnyefe ikuku, na nyiwe nyocha dị elu.

1. Mmepụta Semiconductor

N'ime ihe ndị e ji emepụta semiconductor,Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikia na-ejikarị ya eme ihe n'ọtụtụ ebe:

  • Ibu/ibudata Wafer

  • Nhazi FOUP

  • Ibugharị ụlọ ikuku agụụ

  • Usoro nhazi, lithography, na ntinye akwụkwọ

Ezigbo ọcha ma sie ikeIhe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikina-egbochi mịpụ, ịgbagọ, na mmetọ, na-akwado mịpụ site na 150 mm ruo 300 mm.

2. Photonics na Optoelectronics

Maka ijikwa lensị ndị na-adịghị ike, ngwaọrụ anya, ihe ndị dị na GaN, na ibe fotonic,Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikiỌ na-enye nkwụsi ike na-enweghị mkpọtụ. Ọdịdị ya na-abụghị nke ígwè na-egbochi nnyonye anya na mmetọ anya.

3. Mmepụta Ngosipụta na Panel

Na mmepụta panel OLED, QLED, na LCD, ọ dị mkpa ka a tụlee ya dịka ihe atụ dị na mmepụta panel LCD.Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikiỌ na-ebufe iko dị gịrịgịrị na ihe ndị pụrụ iche n'enweghị nsogbu. Elu ya nke na-adịghị arụ ọrụ nke ọma na-echebe megide ihe fọdụrụ na mmebi elu.

4. Robotik nke ikuku na vacuum

N'ime ụlọ ndị nwere oghere dị elu na ahịrị mgbakọ ụgbọelu,Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikina-eguzogide okpomọkụ dị elu, ikpughe radieshon, na gas na-emebi emebi ma na-ejigide izi ezi nke nha.

N'ime ụlọ ọrụ ndị a niile, a na-ekesa ngwaahịa ndị a.Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikina-eme ka ihe ndị ọzọ dị na ígwè na polymer dịkwuo mma mgbe niile.

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị - Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị

Q1: Ihe Mmepụta Ihe End Silicon Carbide nke Ceramic ọ bụla nwere ike ịkwado nha omenala?

Ee.Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikienwere ike ime ya maka nha wafer, panel, ma ọ bụ substrate ọ bụla. Oghere maka fork, ọkpụrụkpụ, ibu, na ụkpụrụ oghere ndị a na-etinye bụ nke a pụrụ ịhazi nke ọma.

Q2: Ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-adịghị mma dị na Silicon Carbide, ọ dabara adaba maka gburugburu ebe obibi?

N'ezie.Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikinwere obere gas na-anaghị amịpụta nke ọma, ọ naghịkwa emerụ ígwè nke ọma, nke mere ka ọ dị mma maka gburugburu ebe obibi UHV na ebe a na-ehicha ụlọ.

Q3: Kedu uru nke SiC end effector karịa aluminom ma ọ bụ ígwè?

A Ihe na-eme ka e nwee njedebe nke silikọn carbide seramiikionyinye:

  • Oke ike-na-ibu dị elu

  • Mgbasawanye okpomọkụ dị ala

  • Ike iguzogide iyi dị elu

  • Nguzogide kemịkalụ na plasma ka mma

  • Enweghị nchara

Gbasara anyị

XKH bụ ọkachamara n'ihe gbasara mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta, na ire nke iko anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-enye ngwa eletrọnịkị anya, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa, na ndị agha. Anyị na-enye ihe ndị mejupụtara anya Sapphire, mkpuchi anya ekwentị mkpanaaka, seramiiki, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers kristal semiconductor. Site na ahụmịhe nwere nkà na ngwa ọgbara ọhụrụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu nke ihe optoelectronic.

567

  • Nke gara aga:
  • Osote:

  • Dee ozi gị ebe a zitere anyị ya