Ihe mkpuchi cantilever Silicon Carbide (SiC Cantilever Paddle)

Foto a na-egosi na Silicon Carbide Cantilever Paddle (SiC Cantilever Paddle)

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Ihe osise zuru ezu

Nchịkọta Ngwaahịa

Ihe e ji eme ka ọ bụrụ silicon carbide cantilever, nke e ji silicon carbide (RBSiC) nke nwere njikọ dị elu rụọ, bụ ihe dị mkpa e ji eme ihe na sistemụ ibu na njikwa wafer maka ngwa semiconductor na photovoltaic.
Ma e jiri ya tụnyere paddles quartz ma ọ bụ graphite ọdịnala, paddles cantilever SiC na-enye ike igwe dị elu, ike dị elu, mmụba okpomọkụ dị ala, na iguzogide nchara dị egwu. Ha na-eme ka nhazi dị mma n'okpuru okpomọkụ dị elu, na-emezu ihe achọrọ siri ike nke nnukwu nha wafer, ogologo oge ọrụ, na mmetọ dị oke ala.

Site na mmepe na-aga n'ihu nke usoro semiconductor na-aga n'ihu na dayameta wafer buru ibu, mmepụta dị elu, na gburugburu nhazi dị ọcha, paddles cantilever SiC ejirila nwayọọ nwayọọ dochie ihe ndị nkịtị, na-aghọ nhọrọ kachasị mma maka ọkụ mgbasa ozi, LPCVD, na akụrụngwa okpomọkụ dị elu metụtara ya.

Atụmatụ Ngwaahịa

Ezigbo Okpomọkụ Dị Elu
- Ọ na-arụ ọrụ nke ọma na 1000-1300℃ na-enweghị mgbanwe.
- Oke okpomọkụ ọrụ ruo 1380℃.
Ike Ibu Ibu Dị Elu
- Ike ịgbagọ ruo 250–280 MPa, nke dị elu karịa paddles quartz.
- Nwere ike ijikwa wafers buru ibu (300 mm na karịa).
Ndụ Ọrụ Gbatịkwuru Ogologo na Mmezi Dị Ala
- Ọnụọgụ mgbasawanye okpomọkụ dị ala (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), nke dabara nke ọma na ihe mkpuchi LPCVD.
- Na-ebelata mgbawa na mkpụcha akpụkpọ ahụ nke nrụgide na-akpata, na-agbatị usoro nhicha na mmezi nke ukwuu.
Nguzogide Nrụgide na Ịdị Ọcha
- Ezigbo iguzogide acid na alkalis.
- Nnukwu nhazi nwere oghere mepere emepe <0.1%, na-ebelata mmepụta ihe na mwepụta adịghị ọcha.
Nhazi akpaaka-dakọtara
- Ọdịdị geometry kwụsiri ike nke nwere izi ezi dị elu.
- Na-ejikọta ya na sistemụ ibu na mbupu wafer nke robotic n'enweghị nsogbu, na-eme ka mmepụta ya rụọ ọrụ nke ọma.

Njirimara Anụ Ahụ na Kemịkalụ

ihe	Ngalaba	Data
Okpomọkụ Ọrụ Kachasị Elu	℃	1380
Njupụta	g/cm³	3.04 – 3.08
Oghere mepere emepe	%	< 0.1
Ike ịgbagọ	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
Modulu nke Elasticity	GPA	330 (20℃), 300 (1200℃)
Ọgbakọ okpomọkụ	W/m·K	45 (1200℃)
Ọnụọgụ Mgbasawanye Okpomọkụ	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Ike Vickers	HV2	≥ 2100
Nguzogide Asịd/Alkaline	-	Ọ dị mma nke ukwuu

Ogologo ọkọlọtọ:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Nhazi omenala dị ma ọ bụrụ na achọrọ ya

Ngwa

Ụlọ ọrụ Semiconductor
- LPCVD (Mbelata Uzuoku Kemịkalụ Nrụgide Dị Ala)
- Usoro mgbasa ozi (phosphorus, boron, wdg)
- Oxidation okpomọkụ
Ụlọ Ọrụ Fotovoltaịk
- Mgbasa na mkpuchi nke polysilicon na monocrystalline wafer
- Ịkpọchapụ okpomọkụ na passivation dị elu
Ubi Ndị Ọzọ
- Gburugburu ebe obibi na-emebi ihe nke ukwuu
- Sistemụ njikwa wafer nke ọma chọrọ ogologo ndụ ọrụ na obere mmetọ

Uru Ndị Ahịa

Mbelata Ọnụ Ego Ọrụ- Ogologo ndụ ma e jiri ya tụnyere paddles quartz, na-ebelata oge ọrụ na ugboro ole a ga-eji dochie ya.
Mmepụta Ka Elu– Mmetọ dị oke njọ na-eme ka elu wafer dị ọcha ma belata ọnụego ntụpọ.
Ihe Na-egosi Ọdịnihu- Dakọtara na nnukwu nha wafer na usoro semiconductor ọgbọ na-abịa.
Mmepụta Ka Mma- Dakọtara nke ọma na sistemụ akpaaka robotic, na-akwado nrụpụta dị elu.

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị - Silicon Carbide Cantilever Paddle

Q1: Gịnị bụ silicon carbide cantilever paddle?
A: Ọ bụ ihe nkwado na njikwa wafer nke e ji silicon carbide (RBSiC) nke e jikọtara ya na mmeghachi omume mee. A na-ejikarị ya eme ihe n'ọkụ mgbasa ozi, LPCVD, na usoro semiconductor na photovoltaic ndị ọzọ dị elu.

Q2: Gịnị mere ị ga-eji họrọ SiC karịa quartz paddles?
A: Ma e jiri ya tụnyere paddles quartz, paddles SiC na-enye:

Ike igwe dị elu na ikike ibu ibu
Nkwụsi ike okpomọkụ ka mma na okpomọkụ ruo 1380℃
Ndụ ọrụ dị ogologo na obere usoro mmezi
Ọdịiche dị ala na mmepụta ihe na ihe egwu mmetọ
Ndakọrịta na nnukwu nha wafer (300 mm na karịa)

Q3: Kedu nha wafer SiC cantilever paddle nwere ike ịkwado?
A: E nwere paddles nkịtị maka sistemụ ọkụ 2378 mm, 2550 mm, na 2660 mm. Enwere ike ịhazi akụkụ ya iji kwado wafers ruo 300 mm na karịa.

Gbasara anyị

XKH bụ ọkachamara n'ihe gbasara mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta, na ire nke iko anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-enye ngwa eletrọnịkị anya, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa, na ndị agha. Anyị na-enye ihe ndị mejupụtara anya Sapphire, mkpuchi anya ekwentị mkpanaaka, seramiiki, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers kristal semiconductor. Site na ahụmịhe ọkachamara na ngwa ọgbara ọhụrụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu nke ihe optoelectronic.