SiC mkpụrụ 3inch 350um ọkpụrụkpụ HPSI ụdị Prime Grade dummmy ọkwa
Njirimara
| Oke | Ọkwa mmepụta | Ọkwa nyocha | Ngụsị akwụkwọ | Nkeji |
| Ọkwa | Ọkwa mmepụta | Ọkwa nyocha | Ngụsị akwụkwọ | |
| Dayameta | 76.2 ± 0,5 | 76.2 ± 0,5 | 76.2 ± 0,5 | mm |
| Ọkpụrụkpụ | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
| Usoro Wafer | On-axis: <0001> ± 0.5° | On-axis: <0001> ± 2.0° | On-axis: <0001> ± 2.0° | ogo |
| Njupụta Micropipe (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm-2^-2-2 |
| Eletriki Resistivity | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
| Dopant | Edochiri | Edochiri | Edochiri | |
| Nhazi Flat nke izizi | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | ogo |
| Ogologo Flat nke izizi | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
| Ogologo Flat nke abụọ | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
| Nhazi Flat nke abụọ | 90° CW site na larịị ± 5.0° | 90° CW site na larịị ± 5.0° | 90° CW site na larịị ± 5.0° | ogo |
| Mwepu ihu | 3 | 3 | 3 | mm |
| LTV/TTV/Ụta/Warp | 3 / 10 / ± 30 / 40 | 3 / 10 / ± 30 / 40 | 5 / 15 / ± 40 / 45 | µm |
| Ọdịdị dị n'elu | Si-ihu: CMP, C-ihu: Achachapụrụ | Si-ihu: CMP, C-ihu: Achachapụrụ | Si-ihu: CMP, C-ihu: Achachapụrụ | |
| Mgbawa (Ìhè dị elu) | Ọ dịghị | Ọ dịghị | Ọ dịghị | |
| Plates Hex (Ìhè dị elu) | Ọ dịghị | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta 10% | % |
| Mpaghara Polytype (Ìhè dị elu) | Mpaghara mkpokọta 5% | Mpaghara mkpokọta 20% | Mpaghara mkpokọta 30% | % |
| Scratches (Ìhè dị elu) | ≤ 5 scratches, ngụkọta ogologo ≤ 150 | ≤ 10 scratches, ngụkọta ogologo ≤ 200 | ≤ 10 scratches, ngụkọta ogologo ≤ 200 | mm |
| Chipping Edge | Ọ dịghị onye ≥ 0.5 mm obosara/omimi | 2 kwere ≤ 1 mm obosara/omimi | 5 kwere ≤ 5 mm obosara/omimi | mm |
| Mmetọ Elu | Ọ dịghị | Ọ dịghị | Ọ dịghị |
Ngwa
1. Igwe ọkụ eletrik dị elu
Nrụpụta ọkụ dị elu na bandgap sara mbara nke SiC wafers na-eme ka ha dị mma maka ngwa ike dị elu na nke dị elu:
●MOSFET na IGBT maka ntụgharị ike.
● Sistemụ ike ụgbọ ala eletrik dị elu, gụnyere inverters na chaja.
●Smart grid akụrụngwa na ume ọhụrụ usoro.
2. RF na Microwave Systems
Ngwa SiC na-eme ka ngwa RF dị elu na ngwa microwave nwere obere mgbama na-efunahụ:
●Nzikọrịta ozi na usoro satịlaịtị.
● Sistemụ radar ikuku.
● Ngwa netwọk 5G dị elu.
3. Optoelectronics na sensọ
Njirimara pụrụ iche nke SiC na-akwado ọtụtụ ngwa optoelectronic:
● Ndị na-achọpụta UV maka nlekota gburugburu ebe obibi na nchọpụta ụlọ ọrụ.
●LED na laser substrates maka ọkụ-ala siri ike na nkenke ngwá.
● Igwe ọkụ dị elu maka ikuku ikuku na ụlọ ọrụ ụgbọ ala.
4. Nnyocha na mmepe
Ọdịiche nke akara ule (Mmepụta, Nchọpụta, Dummy) na-enyere nnwale na-egbutu ọnụ na nyocha ngwaọrụ na agụmakwụkwọ na ụlọ ọrụ.
Uru
● ntụkwasị obi:Ezigbo resistivity na nkwụsi ike gafee akara ule.
●Nhazi:Nhazi na ọkpụrụkpụ ahaziri ahazi iji kwado mkpa dị iche iche.
●Elu Ọcha:Ngwakọta anaghị ekpuchi ekpuchi na-eme ka o doo anya na ọdịiche metụtara adịghị ọcha pere mpe.
●Nha nhata:Na-emezu ihe achọrọ nke mmepụta oke na nyocha nnwale.
3-inch dị ọcha SiC wafers bụ ọnụ ụzọ gị maka ngwaọrụ arụ ọrụ dị elu yana ọganihu teknụzụ ọhụrụ. Maka ajụjụ na nkọwa zuru ezu, kpọtụrụ anyị taa.
Nchịkọta
3-inch High Purity Silicon Carbide (SiC) Wafers, dị na Mmepụta, Nchọpụta, na Dummy Grades, bụ mkpụrụ ego adịchaghị emebere maka ngwa elektrọnik dị elu, sistemụ RF/microwave, optoelectronics, na R&D dị elu. Wafers ndị a na-egosipụta ihe na-adịghị mma, nke nwere ihe mgbochi nwere ezigbo mgbochi (≥1E10 Ω·cm maka ọkwa mmepụta), njupụta micropipe dị ala (≤1 cm-2 ^ -2-2), yana ịdị mma elu pụrụ iche. Ha kachasị maka ngwa arụ ọrụ dị elu, gụnyere ntụgharị ike, nkwukọrịta, ihe mmetụta UV, na teknụzụ LED. Site na ntuzi aka nwere ike ịhazi ya, conductivity thermal conductivity, na akụrụngwa siri ike, ndị SiC wafers na-eme ka nrụpụta ngwaọrụ rụọ ọrụ nke ọma, nke a pụrụ ịdabere na ya na ihe ọhụrụ na-emebi emebi n'ofe ụlọ ọrụ.
Eserese zuru ezu
