Mkpụrụ SiC nke dị sentimita 3, ọkpụrụkpụ nke ụdị HPSI nke dị na ọkwa 350um, ọkwa praịmarị.
Njirimara
| Paramita | Ọkwa Mmepụta | Ọkwa Nnyocha | Akara Dọmị | Ngalaba |
| Ọkwa | Ọkwa Mmepụta | Ọkwa Nnyocha | Akara Dọmị | |
| Dayameta | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
| Ọkpụrụkpụ | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
| Nhazi Wafer | N'akụkụ: <0001> ± 0.5° | N'akụkụ: <0001> ± 2.0° | N'akụkụ: <0001> ± 2.0° | ogo |
| Njupụta nke paịpụ micropipe (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
| Nguzogide Ọdụdọ Eletriki | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
| Dopant | Emeghị ihe ọ bụla e ji amịpụta | Emeghị ihe ọ bụla e ji amịpụta | Emeghị ihe ọ bụla e ji amịpụta | |
| Nhazi Ala Dị Elu nke Mbụ | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | ogo |
| Ogologo Dị larịị nke Mbụ | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
| Ogologo Dị larịị nke Abụọ | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
| Nhazi nke Abụọ nke Dị larịị | 90° CW site na ụlọ elu mbụ ± 5.0° | 90° CW site na ụlọ elu mbụ ± 5.0° | 90° CW site na ụlọ elu mbụ ± 5.0° | ogo |
| Mwepu nke Ọnụọgụ | 3 | 3 | 3 | mm |
| LTV/TTV/Bọọlụ/Mkpụgharị | 3 / 10 / ± 30 / 40 | 3 / 10 / ± 30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
| Ọdịdị Elu | Ihu Si: CMP, Ihu C: Emechara ka ọ dị mma | Ihu Si: CMP, Ihu C: Emechara ka ọ dị mma | Ihu Si: CMP, Ihu C: Emechara ka ọ dị mma | |
| Mgbawa (Ọkụ siri ike nke ukwuu) | Ọ dịghị | Ọ dịghị | Ọ dịghị | |
| Efere Hex (Ọkụ siri ike nke ukwuu) | Ọ dịghị | Ọ dịghị | Mpaghara mkpokọta 10% | % |
| Ebe Polytype (Ọkụ Dị Ike) | Mpaghara mkpokọta 5% | Mpaghara mkpokọta 20% | Mpaghara mkpokọta 30% | % |
| Ọkpụkpọ (Ọkụ siri ike nke ukwuu) | ≤ 5 ọkọ, ogologo mkpokọta ≤ 150 | ≤ 10 ọkọ, ogologo mkpokọta ≤ 200 | ≤ 10 ọkọ, ogologo mkpokọta ≤ 200 | mm |
| Mkpọchi ọnụ | Ọ dịghị ≥ obosara/omimi 0.5 mm | 2 ekwere ≤ 1 mm obosara/omimi | A na-ekwe ka 5 ≤ 5 mm obosara/omimi | mm |
| Mmetọ Elu | Ọ dịghị | Ọ dịghị | Ọ dịghị |
Ngwa
1. Eletrọniki Ike Dị Elu
Ọkwa okpomọkụ dị elu na nnukwu bandgap nke wafers SiC na-eme ka ha dị mma maka ngwaọrụ ike dị elu na nke dị elu:
●MOSFET na IGBT maka mgbanwe ike.
● Sistemụ ike ụgbọala eletrik dị elu, gụnyere inverters na chaja.
●Akụkụ okporo ụzọ smart na sistemụ ike mmeghari ohuru.
2. Sistemụ RF na Ngwa Ngwa Ngwa
Ihe ndị dị na SiC na-eme ka ngwa RF na ngwa microwave dị elu na-arụ ọrụ nke ọma, na-enweghị obere mfu mgbaàmà:
● Sistemụ nkwukọrịta na satịlaịtị.
●Sistemụ radar nke ụgbọelu.
●Ngwaọrụ netwọk 5G dị elu.
3. Optoelectronics na Sensọ
Njirimara pụrụ iche nke SiC na-akwado ọtụtụ ngwa optoelectronic:
●Ihe nchọpụta UV maka nlekota gburugburu ebe obibi na nchọpụta ụlọ ọrụ mmepụta ihe.
●Ihe ndị e ji LED na laser mee maka ọkụ siri ike na ngwa ndị e ji aka rụọ.
●Ihe mmetụta okpomọkụ dị elu maka ụlọ ọrụ ụgbọelu na ụgbọ ala.
4. Nnyocha na Mmepe
Ụdị akara dị iche iche (Mmepụta, Nnyocha, na Dummy) na-enye ohere ka a nwalee ihe ọhụrụ na imepụta ngwaọrụ n'ụlọ akwụkwọ na ụlọ ọrụ.
Uru
●Ịtụkwasị obi:Ezigbo nguzogide na nkwụsi ike n'ofe ọkwa dị iche iche.
●Nhazi:Nhazi na ọkpụrụkpụ ahaziri maka mkpa dị iche iche.
●Ịdị ọcha dị elu:Ihe mejupụtara nke a na-ejighị ọgwụ eme ihe na-eme ka ọ dị obere mgbanwe ndị metụtara adịghị ọcha.
●Ịgbasa:Na-emezu ihe achọrọ maka mmepụta ihe dị ukwuu na nyocha nnwale.
Wafer SiC dị ọcha nke dị sentimita atọ bụ ụzọ gị iji nweta ngwaọrụ dị elu na mmepe teknụzụ ọhụrụ. Maka ajụjụ na nkọwapụta zuru ezu, kpọtụrụ anyị taa.
Nchịkọta
Wafers Silicon Carbide (SiC) nke dị sentimita atọ, dị na Mmepụta, Nnyocha, na Dummy Grades, bụ ihe ndị dị elu e mere maka eletrọniki dị ike, sistemụ RF/mikrowev, optoelectronics, na R&D dị elu. Wafers ndị a nwere ihe ndị na-anaghị ekpuchi ihe, nke nwere ihe mgbochi dị mma nke nwere ezigbo iguzogide (≥1E10 Ω·cm maka Mmepụta Grade), obere njupụta micropipe (≤1 cm−2^-2−2), na ịdị mma elu pụrụ iche. A na-eme ka ha dị mma maka ngwa arụmọrụ dị elu, gụnyere mgbanwe ike, nkwukọrịta, mmetụta UV, na teknụzụ LED. Site na nhazi ahaziri ahazi, njikwa okpomọkụ dị elu, na ihe ndị siri ike nke igwe, wafer SiC ndị a na-eme ka mmepụta ngwaọrụ dị irè, a pụrụ ịtụkwasị obi na ihe ọhụrụ dị egwu n'ofe ụlọ ọrụ.
Ihe osise zuru ezu
