SiC Ceramic Fork Arm / End Effector - Nlekọta dị elu maka nrụpụta Semiconductor

SiC Ceramic Fork Arm / End Effector - Nlekọta nkenke dị elu maka imepụta Semiconductor egosipụtara

Nkọwa dị mkpirikpi:

SiC Ceramic Fork Arm, nke a na-akpọkarị ya dị ka Ceramic End Effector, bụ ihe eji arụ ọrụ nkenke arụ ọrụ nke ọma emepụtara maka ụgbọ njem wafer, itinye n'ọnọdụ, na itinye n'ime ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu, ọkachasị n'ime semiconductor na mmepụta fotovoltaic. Emebere ya site na iji seramiiki silicon carbide dị ọcha, akụrụngwa a na-ejikọta ike ọrụ pụrụ iche, mgbasawanye ọkụ dị ala, yana nguzogide dị elu na ujo na corrosion.

Zitere anyị email

Atụmatụ

Eserese zuru ezu

Nchịkọta ngwaahịa

N'adịghị ka ndị na-eme njedebe ọdịnala sitere na aluminom, igwe anaghị agba nchara, ma ọ bụ ọbụna quartz, SiC ceramic end effectors na-enye arụmọrụ na-enweghị atụ n'ime ọnụ ụlọ na-ekpo ọkụ, ime ụlọ dị ọcha, na ebe nhazi siri ike, na-eme ka ha bụrụ akụkụ dị mkpa nke robots na-ejizi wafer na-esote. Site n'ịbawanye ụbara maka mmepụta na-enweghị mmetọ yana nnabata siri ike na mgbawa, ojiji nke njedebe seramiiki na-aghọ ọkọlọtọ ụlọ ọrụ ngwa ngwa.

Ụkpụrụ nrụpụta

Nmepụta nkeSiC ceramic End Effectorsna-agụnye usoro nhazi dị elu, nke dị elu nke na-eme ka arụmọrụ na ịdịte aka. A na-ejikarị usoro abụọ bụ isi eme ihe:

Silicon Carbide jikọtara mmeghachi omume (RB-SiC)

Na usoro a, a preform mere si silicon carbide ntụ ntụ na ihe nkedo na-infiltrated na silik a wụrụ awụ na elu okpomọkụ (~ 1500°C), nke na-emeghachi omume na ihe fọdụrụ carbon na-etolite a ok, siri ike SiC-Si composite. Usoro a na-enye njikwa akụkụ dị mma ma dị ọnụ ahịa maka mmepụta ihe buru ibu.

Silicon Carbide Sintered enweghị nrụgide (SSiC)

A na-eme SSiC site n'inwe ntụ ntụ SiC dị oke mma, dị elu na oke okpomọkụ (>2000°C) na-ejighi ihe mgbakwunye ma ọ bụ usoro njikọ. Nke a na-ebute ngwaahịa nwere ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ 100% njupụta na akụrụngwa kachasị elu na ihe ọkụ dị n'etiti ihe SiC. Ọ dị mma maka ngwa njikwa wafer ultra-critical.

Nhazi mgbe emechara

Nrụpụta CNC nke ọma: Na-enweta elu flatness na myirịta.
Mmecha elu: Nchacha diamond na-ebelata ịdị nro n'elu ruo <0.02 µm.
Nyocha: A na-arụ ọrụ interferometry anya, CMM na ule na-adịghị emebi emebi iji nyochaa ibe ọ bụla.

Usoro ndị a na-ekwe nkwa naSiC ọgwụgwụ mmetụtana-anapụta izi ezi ntunye wafer na-agbanwe agbanwe, atụmatụ dị mma, yana ọgbọ ntakịrị ntakịrị.

Isi atụmatụ na uru

Njirimara	Nkọwa
Ultra-Elu ike	Vickers siri ike> 2500 HV, na-eguzogide iyi na chipping.
Mgbasawanye okpomọkụ dị ala	CTE ~ 4.5 × 10⁻⁶/K, na-eme ka nkwụsi ike nke akụkụ na ịgba ígwè ọkụ.
Chemical Inertness	Na-eguzogide HF, HCl, gas plasma na ihe ndị ọzọ na-emebi emebi.
Magburu onwe Thermal Shock Resistance	Kwesịrị ekwesị maka ikpo ọkụ ngwa ngwa / oyi na ikuku na usoro ọkụ.
Oke siri ike na ike	Na-akwado ogwe aka ndụdụ ogologo cantilever na-enweghị mgbagha.
Ọpụpụ dị ala	Dị mma maka ultra-high vacuum (UHV) gburugburu.
ISO klaasị 1 dị njikere	Ọrụ enweghị urughuru na-eme ka iguzosi ike n'ezi ihe wafer.

Ngwa

A na-eji SiC Ceramic Fork Arm / End Effector eme ihe n'ọtụtụ ebe na ụlọ ọrụ chọrọ oke nkenke, ịdị ọcha na nguzogide kemịkalụ. Ihe ndapụta ngwa gụnyere:

Mmepụta Semiconductor

Nbudata/ebutu wafer na ntinye ego (CVD, PVD), etching (RIE, DRIE), na sistemu nhicha.
Ụgbọ njem robotic wafer n'etiti FOUPs, cassettes na ngwaọrụ nhazi.
Ijikwa okpomọkụ dị elu n'oge nhazi okpomọkụ ma ọ bụ annealing.

Mmepụta mkpụrụ ndụ fotovoltaic

Ibu njem dị nro nke wafer silicon na-emebi emebi ma ọ bụ ihe nke anyanwụ na ahịrị akpaghị aka.

Ngosipụta Panel Flat (FPD).

Na-ebugharị nnukwu iko iko ma ọ bụ ihe ntinye na gburugburu mmepụta OLED/LCD.

Semiconductor / MEMS

Ejiri ya na ahịrị nrụpụta GaN, SiC, na MEMS ebe njikwa mmetọ na idobe ziri ezi dị oke mkpa.

Ọrụ njedebe ya dị oke mkpa n'ịhụ na enweghị ntụpọ, njikwa kwụsiri ike n'oge arụmarụ dị nro.

Ike nhazi

Anyị na-enye ọtụtụ nhazi iji gboo akụrụngwa na usoro chọrọ:

Nhazi ndụdụ: Nhazi akụkụ abụọ, mkpịsị aka ọtụtụ ma ọ bụ nkewa.
Ndakọrịta nha Wafer: Site na 2" ruo 12" wafers.
Ntinye ihu igwe: Dakọtara na OEM robotic ogwe aka.
Ọkpụrụkpụ & Nkwenye elu: Micron-larịị flatness na ihu okirikiri dị.
Njirimara mgbochi-slip: Nhọrọ elu textures ma ọ bụ mkpuchi maka wafer adịgide adịgide.

Nke ọ bụlaseramiiki ọgwụgwụ mmetụtaA na-ejikọta ya na ndị ahịa iji hụ na ọ dabara nke ọma na obere mgbanwe ngwá ọrụ.

Ajụjụ A na-ajụkarị (FAQ)

Q1: Kedu ka SiC si dị mma karịa quartz maka ngwa mmetụ njedebe?
A1:Ọ bụ ezie na a na-ejikarị quartz eme ihe maka ịdị ọcha ya, ọ naghị enwe ike ịrụ ọrụ ma na-enwekarị ike ịkụji n'okpuru ibu ma ọ bụ ujo okpomọkụ. SiC na-enye ike dị elu, nkwụsi ike na-eyi, na nkwụsi ike nke okpomọkụ, na-ebelata ihe ize ndụ nke nkwụsịtụ na mmebi wafer.

Q2: ogwe aka seramiiki a ọ dakọtara na ndị na-ahụ maka wafer roboti niile?
A2:Ee, ndị na-eme ihe njedebe seramiiki anyị dakọtara na ọtụtụ sistemụ njikwa wafer ma enwere ike ịmegharị ya na ụdị roboti gị nke nwere eserese injinia ziri ezi.

Q3: Ọ nwere ike ijikwa wafers 300 mm na-enweghị agha?
A3:Kpamkpam. Oke siri ike nke SiC na-enye ohere ọbụna dị gịrịgịrị, ogwe aka ndụdụ ogologo iji jide wafers 300 mm na-enweghị mgbagha ma ọ bụ mgbagha n'oge ngagharị.

Q4: Gịnị bụ ahụkarị ndụ ọrụ nke a SiC seramiiki ọgwụgwụ mmetụta?
A4:Site n'iji ya eme ihe nke ọma, onye na-eme ihe njedebe SiC nwere ike ịdịruo 5 ruo 10 ugboro karịa quartz omenala ma ọ bụ ụdị aluminom, n'ihi nguzogide ya dị mma na nrụgide okpomọkụ na ígwè ọrụ.

Q5: Ị na-enye nnọchi ma ọ bụ ọrụ prototyping ngwa ngwa?
A5:Ee, anyị na-akwado mmepụta ihe nlere ngwa ngwa ma na-enye ọrụ nnọchi anya dabere na eserese CAD ma ọ bụ akụkụ azụ azụ site na akụrụngwa dị ugbu a.

Gbasara anyị

XKH na-ahụ maka mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta na ire nke enyo anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-eje ozi ngwa anya eletrọnịkị, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa na ndị agha. Anyị na-enye ngwa anya sapphire, mkpuchi oghere ekwentị mkpanaaka, ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na kristal semiconductor. Site na nka nka na akụrụngwa dị oke ọnụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ onye na-eduga optoelectronic ihe ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu.