SiC ceramic end effector na-enye aka maka ibu wafer
SiC ceramic end effector Abstract
SiC (Silicon Carbide) ceramic end-effector bụ ihe dị oke mkpa na sistemụ njikwa wafer dị elu nke ejiri na nrụpụta semiconductor na gburugburu microfabrication dị elu. Emebere ya iji gboo ihe achọrọ nke ultra-dị ọcha, okpomọkụ dị elu na gburugburu kwụsiri ike nke ukwuu, ihe nrụpụta a pụrụ iche na-eme ka ụgbọ njem wafer na-enweghị mmerụ ahụ n'oge usoro mmepụta isi dị ka lithography, etching, na ntinye.
Ijikwa ihe ndị dị elu nke silicon carbide-dị ka ikuku ikuku dị elu, ike siri ike, kemịkalụ kemịkalụ kacha mma, yana mgbasawanye nke pere mpe - SiC ceramic end-effector na-enye nkwụsi ike nke igwe na nkwụsi ike nke akụkụ ọbụlagodi n'okpuru ịgba ọsọ ọkụ ọkụ ma ọ bụ n'ime ụlọ na-emebi emebi. Ọgbọ mkpụrụ akụkụ ya dị ala na njirimara nguzogide plasma na-eme ka ọ dabara adaba maka ngwa nhazi ụlọ dị ọcha na oghere, ebe idobe iguzosi ike n'ezi ihe n'elu ala na ibelata mmerụ ahụ dị oke mkpa.
Ngwa SiC ceramic end effector
1. Semiconductor Wafer Ijikwa
A na-eji SiC ceramic end effectors eme ihe na ụlọ ọrụ semiconductor maka ijikwa wafer silicon n'oge mmepụta akpaaka. A na-etinyekarị ndị na-eme ihe njedebe na ogwe aka robotic ma ọ bụ sistemu mbufe agụụ ma emebere ya ka ọ nabata wafers nha dị iche iche dịka 200mm na 300mm. Ha dị mkpa na usoro gụnyere Chemical Vapor Deposition (CVD), Physical Vapor Deposition (PVD), etching, and diffusion — ebe okpomọkụ dị elu, ọnọdụ agụụ, na gas na-emebi emebi na-adịkarị. Nkwụsi ike ọkụ pụrụ iche nke SiC na nkwụsi ike kemịkalụ na-eme ka ọ bụrụ ihe dị mma iguzogide gburugburu ebe siri ike na-enweghị mmebi.
2. Dakọtara ọnụ ụlọ dị ọcha na oghere
N'ime ụlọ dị ọcha na ntọala oghere, ebe a ga-ebelata mmetọ ahụ, ceramik SiC na-enye nnukwu uru. Ihe ahụ dị oke, nke dị larịị na-eguzogide ọgbọ irighiri ihe, na-enyere aka ịnọgide na-enwe iguzosi ike n'ezi ihe n'oge njem. Nke a na-eme ka ndị na-eme njedebe SiC dabara nke ọma maka usoro dị oke mkpa dị ka Extreme Ultraviolet Lithography (EUV) na Atomic Layer Deposition (ALD), ebe ịdị ọcha dị oke mkpa. Ọzọkwa, obere mpụ nke SiC na nguzogide plasma dị elu na-eme ka arụ ọrụ a pụrụ ịdabere na ya n'ime oghere oghere, na-agbatị ndụ ngwaọrụ yana ibelata oge mmezi.
3. Usoro nhazi ọkwa dị elu
Nkenke na nkwụsi ike dị oke mkpa na sistemụ njikwa wafer dị elu, ọkachasị na metrology, nyocha, na akụrụngwa nhazi. SiC ceramics nwere ọnụ ọgụgụ dị oke ala nke mgbasawanye ọkụ na isi ike dị elu, nke na-enye ohere ka onye na-eme ihe na-eme ihe na-emezi ihe nhazi ya ọbụlagodi n'okpuru igwe igwe ọkụ ma ọ bụ ibu ọrụ. Nke a na-eme ka o doo anya na wafers na-anọgide na-adakọ n'ụzọ ziri ezi n'oge njem, na-ebelata ihe ize ndụ nke micro-scratches, adịghị mma, ma ọ bụ mmejọ nha-ihe ndị na-esiwanye ike na sub-5nm usoro ọnụ.
Njirimara njedebe seramiiki SiC
1. Elu Mechanical Ike na isi ike
SiC ceramics nwere ike ọrụ pụrụ iche, yana ike mgbanwe na-adịkarị karịa 400 MPa na ụkpụrụ siri ike Vickers karịa 2000 HV. Nke a na-eme ka ha na-eguzogide oke nrụgide n'ibu, mmetụta, na eyi, ọbụlagodi mgbe ejiri ogologo oge arụ ọrụ. Oke siri ike nke SiC na-ebelata mgbagha n'oge mbufe wafer na-agba ọsọ, na-ahụ n'ọnọdụ ziri ezi na nke enwere ike ikwugharị.
2. Magburu onwe Thermal kwụsie ike
Otu n'ime ihe ndị kacha baa uru nke ceramik SiC bụ ikike ha iguzogide oke okpomọkụ-na-adịkarị ruo 1600 Celsius na ikuku inert-na-enweghị atụfu iguzosi ike n'ezi ihe. Ọnụ ọgụgụ ha dị ala nke mgbasawanye thermal (~ 4.0 x 10⁻⁶ / K) na-eme ka nkwụsi ike nke akụkụ dị n'okpuru ịgba ígwè, na-eme ka ha dị mma maka ngwa dịka CVD, PVD, na ikpo ọkụ dị elu.
SiC ceramic end effector Q&A
Q: Kedu ihe a na-eji na njedebe wafer?
A:A na-emekarị ndị na-eme ka njedebe wafer site na ihe ndị na-enye ike dị elu, nkwụsi ike nke okpomọkụ, na ọgbọ dị ala. N'ime ndị a, seramiiki Silicon Carbide (SiC) bụ otu n'ime ihe kachasị elu na nke kachasị amasị. ceramik SiC siri ike nke ukwuu, kwụsiri ike na-ekpo ọkụ, kemịkalụ na-adịghị ahụkebe, ma na-eguzogide iyi, na-eme ka ha dị mma maka ijikwa wafer silicon dị nro na ebe dị ọcha na oghere. E jiri ya tụnyere quartz ma ọ bụ ọla mkpuchi, SiC na-enye nkwụsi ike nke akụkụ dị elu n'okpuru okpomọkụ dị elu ma ọ dịghị ewepụ ihe irighiri ihe, nke na-enyere aka igbochi mmetọ.
