Ogwe aka SiC seramiiki maka ibu wafer
Nchịkọta ihe na-eme ka njedebe seramiiki SiC dị mfe
Ihe na-eme ka seramiiki SiC (Silicon Carbide) dị oke mkpa na sistemụ njikwa wafer dị oke mma nke ejiri na mmepụta semiconductor na gburugburu microfabrication dị elu. E mepụtara ya iji mezuo ihe achọrọ nke gburugburu dị ọcha nke ukwuu, dị elu, na nke kwụsiri ike nke ukwuu, ihe na-eme ka ọ dị mfe ibugharị wafers n'enweghị mmetọ n'oge usoro mmepụta dị mkpa dịka lithography, etching, na deposition.
Site n'iji ihe ndị dị elu nke silicon carbide mee ihe—dịka ike okpomọkụ dị elu, ike siri ike dị ukwuu, enweghị ike kemịkalụ dị mma, na obere mgbasawanye okpomọkụ—ihe na-eme ka seramiiki SiC na-enye ike igwe na nkwụsi ike nhata ọbụlagodi n'okpuru usoro okpomọkụ ngwa ngwa ma ọ bụ n'ime ụlọ usoro mmebi. Ọ na-emepụta obere ihe na njirimara iguzogide plasma na-eme ka ọ dabara adaba maka ngwa nhazi ụlọ dị ọcha na oghere ikuku, ebe idobe iguzosi ike n'ezi ihe elu wafer na ibelata mmetọ ihe dị oke mkpa.
Ngwa SiC seramiiki njedebe arụmọrụ
1. Njikwa Wafer Semiconductor
A na-ejikarị SiC seramiiki eme ihe n'ụlọ ọrụ semiconductor maka ijikwa wafer silicon n'oge mmepụta akpaaka. A na-etinyekarị ihe ndị a na-eme n'akụkụ robotic ma ọ bụ sistemụ mbufe vacuum ma emebere ha ka ha nabata wafers dị iche iche dịka 200mm na 300mm. Ha dị mkpa na usoro gụnyere Chemical Vapor Deposition (CVD), Physical Vapor Deposition (PVD), etching, na diffusion - ebe okpomọkụ dị elu, ọnọdụ vacuum, na gas corrosion na-adịkarị. Nguzogide okpomọkụ pụrụ iche nke SiC na nkwụsi ike kemịkalụ na-eme ka ọ bụrụ ihe zuru oke iji nagide gburugburu siri ike dị otú ahụ na-enweghị mmebi.
2. Ndakọrịta nke ụlọ nhicha na ikuku ọkụ
N'ime ụlọ dị ọcha na ebe a na-ekpo ọkụ, ebe a ga-ebelata mmetọ ihe ndị dị na ya, seramiiki SiC na-enye uru dị ukwuu. Elu dị nro ma dị nro nke ihe ahụ na-eguzogide mmepụta ihe ndị dị na ya, na-enyere aka ịnọgide na-enwe nguzozi wafer n'oge njem. Nke a na-eme ka ihe ndị na-eme ka SiC dị mma nke ọma maka usoro dị mkpa dịka Extreme Ultraviolet Lithography (EUV) na Atomic Layer Deposition (ALD), ebe ịdị ọcha dị oke mkpa. Ọzọkwa, obere gas na-apụ apụ na oke plasma na-eme ka arụmọrụ a pụrụ ịdabere na ya na ụlọ ndị dị na ya na-eme ka ọ dị mfe ịrụ ọrụ, na-agbatị ndụ ngwaọrụ ma na-ebelata ugboro ole a na-arụzi ya.
3. Sistemụ Nhazi Dị Elu nke Ziri Ezi
Nhazi na nkwụsi ike dị oke mkpa na sistemụ njikwa wafer dị elu, ọkachasị na metrology, nyocha, na akụrụngwa nhazi. Seramiki SiC nwere obere oke nke mgbasawanye okpomọkụ na ike siri ike dị elu, nke na-enye onye na-eme ihe njedebe ohere ịnọgide na-enwe izi ezi nhazi ya ọbụlagodi n'okpuru usoro okpomọkụ ma ọ bụ ibu igwe. Nke a na-ahụ na wafers nọgidere na-ahazi nke ọma n'oge njem, na-ebelata ihe egwu nke obere ọkọ, njehie na-ezighi ezi, ma ọ bụ njehie nha - ihe ndị dị oke mkpa na obere usoro nodes-5nm.
Njirimara nke SiC seramiiki njedebe
1. Ike na Ike Dị Elu nke Mechanical
Seramiki SiC nwere ike igwe pụrụ iche, yana ike flexural na-agafekarị 400 MPa na ụkpụrụ siri ike Vickers karịrị 2000 HV. Nke a na-eme ka ha na-eguzogide nrụgide igwe, mmetụta, na iyi, ọbụlagodi mgbe ejiri ọrụ ogologo oge. Nnukwu ike SiC na-ebelatakwa ntụgharị uche n'oge mbufe wafer dị elu, na-eme ka a hụ na e nwere ike imegharị ya.
2. Ezigbo Nkwụsi Ike nke Okpomọkụ
Otu n'ime ihe ndị kacha baa uru nke seramiiki SiC bụ ikike ha nwere iguzogide oke okpomọkụ dị elu—ọtụtụ mgbe ruo 1600°C na ikuku na-adịghị arụ ọrụ—na-efunahụ iguzosi ike n'ezi ihe nke igwe. Ọnụọgụ ha dị ala nke mgbasawanye okpomọkụ (~4.0 x 10⁻⁶ /K) na-eme ka akụkụ kwụsie ike n'okpuru okirikiri okpomọkụ, na-eme ka ha dị mma maka ngwa dịka CVD, PVD, na annealing okpomọkụ dị elu.
Ajụjụ na Azịza nke SiC seramiiki njedebe
Q: Kedu ihe eji eme ihe na wafer end effector?
A:A na-ejikarị ihe ndị na-enye ike dị elu, nkwụsi ike okpomọkụ, na mmepụta obere ihe ndị na-adịghị ike eme ihe. N'ime ihe ndị a, seramiiki Silicon Carbide (SiC) bụ otu n'ime ihe ndị kachasị elu na nke a na-ahọrọ. Seramiiki SiC siri ike nke ukwuu, kwụsiri ike na okpomọkụ, enweghị kemịkalụ, ma na-eguzogide iyi, na-eme ka ha dị mma maka ijikwa wafer silicon dị nro n'ime ụlọ dị ọcha na ebe ikuku na-adịghị ọcha. Ma e jiri ya tụnyere quartz ma ọ bụ ọla ndị a kpuchiri ekpuchi, SiC na-enye nkwụsi ike dị elu n'okpuru okpomọkụ dị elu ma anaghị ewepụ ihe ndị na-emerụ ahụ, nke na-enyere aka igbochi mmetọ.
