Seramiiki seramiiki nke SiC seramiiki iko mmiri seramiiki nke ọma nhazi nhazi ahaziri
Njirimara ihe:
1. Ike siri ike dị elu: ike siri ike nke Mohs nke silicon carbide bụ 9.2-9.5, nke abụọ karịa diamond, yana ike siri ike nke iyi.
2. Oke ike okpomọkụ: ike okpomọkụ nke silicon carbide dị elu ruo 120-200 W/m·K, nke nwere ike iwepụ okpomọkụ ngwa ngwa ma dabara adaba maka gburugburu ebe okpomọkụ dị elu.
3. Oke mbelata nke mgbasa okpomọkụ: oke mbelata okpomọkụ silicon carbide dị ala (4.0-4.5×10⁻⁶/K), ọ ka nwere ike ịnọgide na-enwe nkwụsi ike n'akụkụ okpomọkụ dị elu.
4. Nkwụsi ike kemịkalụ: silicon carbide acid na alkali corrosion resistance, dị mma maka ojiji na gburugburu ebe kemịkalụ corrosion.
5. Ike igwe dị elu: silicon carbide nwere ike ịgbagọ agbagọ na ike nrụgide, ọ nwekwara ike iguzogide nnukwu nrụgide igwe.
Atụmatụ:
1. N'ime ụlọ ọrụ semiconductor, a chọrọ itinye wafer dị gịrịgịrị n'ime iko mmiri ọkụ, a na-eji mmiri ọkụ arụ ọrụ iji dozie wafers ndị ahụ, a na-emekwa usoro nke ịcha, ịcha, ịcha, ihicha na ịcha na wafers.
2. Silicon carbide sucker nwere ezigbo ike okpomọkụ, nwere ike ime ka oge ịme ihe na ịme ihe dị mkpụmkpụ nke ọma, melite arụmọrụ mmepụta.
3. Igwe mmiri silicon carbide nwekwara ezigbo iguzogide nchara acid na alkali.
4. Ma e jiri ya tụnyere efere ihe eji ebu corundum ọdịnala, ọ na-ebelata oge ibu na ibupu ihe na ikpo ọkụ na oyi, na-eme ka arụmọrụ ọrụ ka mma; N'otu oge ahụ, ọ nwere ike ibelata iyi dị n'etiti efere elu na ala, na-eme ka izi ezi nke ụgbọelu dị mma, ma na-agbatị ndụ ọrụ ihe dị ka 40%.
5. Oke ihe e ji arụ ọrụ ahụ dị obere, dịkwa mfe ibu. Ọ na-adịrị ndị ọrụ mfe ibu pallet, nke na-ebelata ihe ize ndụ nke mmebi ihe mberede nke nsogbu njem kpatara site na ihe dị ka pasentị iri abụọ.
6. Nha: dayameta kachasị elu 640mm; Ogologo: 3um ma ọ bụ ihe na-erughị ya
Ubi ngwa:
1. Mmepụta semiconductor
●Nhazi Wafer:
Maka itinye wafer n'ime fotolithography, ide ihe, itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị na usoro ndị ọzọ, na-ahụ na e nwere ezigbo izi ezi na nhazi usoro. Okpomọkụ dị elu na iguzogide nchara ya dabara adaba maka gburugburu ebe mmepụta semiconductor siri ike.
●Uto epitaxial:
Na uto SiC ma ọ bụ GaN epitaxial, dị ka ihe na-ebu ibu iji kpoo ma dozie wafers, na-ahụ na okpomọkụ ahụ dị otu na ịdị mma kristal n'oge okpomọkụ dị elu, na-eme ka arụmọrụ ngwaọrụ ka mma.
2. Ngwa fotoelektrik
●Mmepụta LED:
A na-eji ya edozi sapphire ma ọ bụ SiC substrate, yana dịka ihe na-ebu ihe na-ekpo ọkụ na usoro MOCVD, iji hụ na uto epitaxial dị n'otu, melite arụmọrụ na ịdị mma nke LED.
●Diode laser:
Dịka ihe eji arụ ọrụ nke ọma, ihe na-edozi ma na-ekpo ọkụ iji hụ na okpomọkụ usoro kwụsiri ike, melite ike mmepụta na ntụkwasị obi nke diode laser.
3. Nhazi nkenke
●Nhazi ihe eji arụ ọrụ anya:
A na-eji ya arụzi ihe ndị dị ka anya na ihe nzacha iji hụ na e nwere ezigbo nhazi na obere mmetọ n'oge nhazi, ọ dịkwa mma maka igwe na-arụ ọrụ nke ọma.
●Nhazi seramiiki:
Dịka ihe eji arụ ọrụ siri ike, ọ dabara adaba maka nhazi nke ihe seramiiki iji hụ na igwe ahụ ziri ezi ma kwụsie ike n'okpuru oke okpomọkụ na gburugburu ebe obibi na-emebi emebi.
4. Nnwale sayensị
●Nnwale okpomọkụ dị elu:
Dịka ngwaọrụ nhazi ihe nlele n'ebe okpomọkụ dị elu, ọ na-akwado nnwale okpomọkụ dị oke elu karịa 1600°C iji hụ na okpomọkụ ahụ dị otu ma kwụsie ike na ihe nlele ahụ.
●Nnwale vacuum:
Dịka ihe nlele ihe eji echekwa ihe na ikpo ọkụ na gburugburu ebe obibi ikuku, iji hụ na nnwale ahụ ziri ezi na imeghachi ya, nke dabara adaba maka mkpuchi ikuku na ọgwụgwọ okpomọkụ.
Nkọwapụta teknụzụ:
| (Ihe onwunwe) | (Nkeji) | (ssic) | |
| (Ọdịnaya SiC) |
| (Wt)% | >99 |
| (Nha ọka nkezi) |
| maịkrọn | 4-10 |
| (Njupụta) |
| kg/dm3 | >3.14 |
| (O doro anya na porosity) |
| Vo1% | <0.5 |
| (Isi ike nke Vickers) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *(Ike mkpụkpụ) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Ike mkpakọ) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modulu Elastic) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Ike nke mgbawa) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (Ọnọdụ okpomọkụ) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
| (Nguzogide) | 20°C | Ohm.cm | 106-108 |
|
| a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| oºC | 1700 |
Site na ọtụtụ afọ nke nchịkọta teknụzụ na ahụmịhe ụlọ ọrụ, XKH nwere ike ịhazi paramita ndị dị mkpa dịka nha, ụzọ ikpo ọkụ na nhazi nnabata ikuku nke chuck dịka mkpa ndị ahịa si dị, na-ahụ na ngwaahịa ahụ dabara nke ọma na usoro onye ahịa. chucks seramiiki SiC silicon carbide aghọwo ihe dị mkpa na nhazi wafer, uto epitaxial na usoro ndị ọzọ dị mkpa n'ihi ezigbo njikwa okpomọkụ ha, nkwụsi ike okpomọkụ dị elu na nkwụsi ike kemịkalụ. Karịsịa na mmepụta nke ihe semiconductor ọgbọ nke atọ dị ka SiC na GaN, ọchịchọ maka chucks seramiiki silicon carbide na-aga n'ihu na-eto. N'ọdịnihu, site na mmepe ngwa ngwa nke 5G, ụgbọ ala eletrik, ọgụgụ isi artificial na teknụzụ ndị ọzọ, atụmanya ojiji nke chucks seramiiki silicon carbide na ụlọ ọrụ semiconductor ga-abawanye.
Ihe osise zuru ezu
