SiC seramiiki chuck tray seramiiki mmiri ara iko nke ziri ezi machining ahaziri
Njirimara ihe onwunwe:
1.High hardness: Mohs hardness nke silicon carbide bụ 9.2-9.5, nke abụọ naanị na diamond, na-eguzogide ike na-eyi.
2. High thermal conductivity: thermal conductivity nke silicon carbide dị elu dị ka 120-200 W / m · K, nke nwere ike ịgbasa ọkụ ngwa ngwa ma dị mma maka ọnọdụ okpomọkụ dị elu.
3. Obere mgbasa mgbasa ozi dị ala: silicon carbide thermal expansion ọnụọgụ dị ala (4.0-4.5 × 10⁻⁶ / K), ka nwere ike ịnọgide na-enwe nkwụsi ike akụkụ na elu okpomọkụ.
4. Nkwụsi ike nke kemịkalụ: silicon carbide acid na alkali corrosion resistance, kwesịrị ekwesị maka iji kemịkalụ na-emebi emebi.
5. Elu n'ibu ike: silicon carbide nwere elu na-ehulata ike na compressive ike, na ike idi nnukwu n'ibu nrụgide.
Atụmatụ:
1.Na ụlọ ọrụ semiconductor, ọ dị mkpa ka a na-etinye wafers dị oke mkpa na iko mmiri na-ekpo ọkụ, a na-eji mmiri na-ekpo ọkụ na-edozi wafers, a na-emekwa usoro ịme ihe, ịcha, ịcha, nhicha na ịkpụ na wafers.
2.Silicon carbide sucker nwere ezigbo thermal conductivity, nwere ike belata oge ịwasị na ịwasị, melite nrụpụta mmepụta.
3.Silicon carbide agụụ sucker nwekwara ezigbo acid na alkali corrosion iguzogide.
4.E jiri ya tụnyere efere corundum omenala, na-eme ka oge na-ekpo ọkụ na-ekpo ọkụ na-ekpo ọkụ dị mkpirikpi, na-eme ka ọrụ ahụ dịkwuo mma; N'otu oge ahụ, ọ nwere ike ibelata uwe dị n'etiti efere elu na nke dị ala, nọgide na-enwe ezi ụgbọ elu dị mma, na ịgbatị ndụ ọrụ ihe dịka 40%.
5.The akụkụ nke ihe onwunwe bụ obere, ìhè arọ. Ọ dịịrị ndị na-arụ ọrụ mfe iburu pallets, na-ebelata ihe ize ndụ nke ndakpọ ndakpọ nke ihe isi ike njem kpatara ihe dịka 20%.
6.Size: oke dayameta 640mm; Flatness: 3um ma ọ bụ obere
Oghere ngwa:
1. Semiconductor mmepụta
●Nhazi wafer:
Maka ndozi wafer na fotolithography, etching, ntinye ihe nkiri dị mkpa na usoro ndị ọzọ, na-eme ka izi ezi dị elu na nhazi usoro. Okpomọkụ dị elu ya na nguzogide corrosion dabara adaba maka gburugburu nrụpụta semiconductor siri ike.
● Uto epitaxial:
Na SiC ma ọ bụ GaN na-eto eto epitaxial, dị ka onye na-ebu na-ekpo ọkụ ma na-edozi wafers, na-eme ka otu okpomọkụ na ịdị mma kristal na okpomọkụ dị elu, na-eme ka arụmọrụ ngwaọrụ dịkwuo mma.
2. Ngwa fotoelectric
● LED nrụpụta:
Ejiri ya iji dozie sapphire ma ọ bụ mkpụrụ SiC, yana dị ka onye na-ebu ọkụ na usoro MOCVD, iji hụ na ịdị n'otu nke uto epitaxial, melite arụmọrụ na ịdị mma LED.
●Laser diode:
Dị ka ihe dị elu dị elu, nhazi na ikpo ọkụ na-ekpo ọkụ iji hụ na nkwụsi ike nke usoro okpomọkụ, melite ike mmepụta na ntụkwasị obi nke diode laser.
3. Nrụpụta nkenke
●Nhazi akụrụngwa ngwa anya:
A na-eji ya maka idozi ihe ndị dị mma dị ka anya anya anya na ihe nzacha iji hụ na ịdị elu dị elu na mmetọ dị ala n'oge nhazi, ọ dịkwa mma maka ịrụ ọrụ dị elu.
● Nhazi seramiiki:
Dị ka ihe nkwụnye nkwụsi ike dị elu, ọ dị mma maka nhazi nkenke nke ihe ndị dị na seramiiki iji hụ na nhazi nhazi na nkwụsi ike n'okpuru okpomọkụ dị elu na gburugburu ebe obibi na-emebi emebi.
4. Nnwale sayensị
●Nnwale okpomọkụ dị elu:
Dị ka ihe nlele ngwaọrụ ndozi na gburugburu okpomọkụ dị elu, ọ na-akwado nnwale okpomọkụ dị elu karịa 1600 Celsius iji hụ na ịdị n'otu okpomọkụ na nkwụsi ike nlele.
●Nnwale Vacuum:
Dị ka ihe nlele na-edozi na onye na-ebu ọkụ na-ekpo ọkụ na gburugburu ebe obibi, iji hụ na izi ezi na nkwughachi nke nnwale ahụ, dị mma maka mkpuchi ikuku na ọgwụgwọ okpomọkụ.
Nkọwapụta nka na ụzụ:
| (Ihe onwunwe) | (Nkeji) | (sic) | |
| (Ọdịnaya SiC) |
| (Wt)% | >99 |
| (Ọkara nha ọka) |
| micron | 4-10 |
| (Njupụta) |
| n'arọ/dm3 | > 3.14 |
| (Porosity pụtara ìhè) |
| Vo1% | <0.5 |
| (ike siri ike nke Vickers) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| * (ike mgbanwe) | 20ºC | MPa | 450 |
| (ike mkpakọ) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modulus Elastic) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Ike mgbaji) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (Thermal conductivity) | 20ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Nguzogide) | 20ºC | Ohm.cm | 106-108 |
|
| a (RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| oºC | 1700 |
Site na ọtụtụ afọ nke mkpokọta teknụzụ na ahụmịhe ụlọ ọrụ, XKH na-enwe ike ịhazi ihe ndị dị mkpa dị ka nha, usoro kpo oku na imewe oghere mgbasa ozi nke chuck dị ka mkpa ndị ahịa siri dị, na-ahụ na ngwaahịa ahụ dabara nke ọma na usoro onye ahịa. SiC silicon carbide ceramic chucks aghọwo ihe dị mkpa dị mkpa na nhazi wafer, uto epitaxial na usoro ndị ọzọ dị mkpa n'ihi ọmarịcha okpomọkụ ha, nkwụsi ike dị elu na nkwụsi ike kemịkal. Karịsịa n'ichepụta ihe semiconductor nke ọgbọ nke atọ dị ka SiC na GaN, ọchịchọ maka silicon carbide ceramic chucks na-aga n'ihu na-eto. N'ọdịnihu, na mmepe ngwa ngwa nke 5G, ụgbọ ala eletrik, ọgụgụ isi na teknụzụ ndị ọzọ, atụmanya ngwa nke silicon carbide ceramic chucks na ụlọ ọrụ semiconductor ga-abawanye.
Eserese zuru ezu
