Ngwa mwepụta laser semiconductor na-agbanwe Ingot Thinning

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Ngwa Semiconductor Laser Lift-Off bụ ngwọta ụlọ ọrụ pụrụ iche nke e mepụtara maka ịkpụcha ingots semiconductor nke ọma na nke na-anaghị emetụ aka site na usoro iwepụ ihe site na laser. Usoro a dị elu na-arụ ọrụ dị mkpa na usoro wafe semiconductor nke oge a, ọkachasị na imepụta wafe dị gịrịgịrị maka ngwa eletrọniki ike dị elu, LED, na ngwaọrụ RF. Site n'itinye ike nkewa nke akwa dị gịrịgịrị na nnukwu ingots ma ọ bụ substrates ndị na-enye onyinye, Semiconductor Laser Lift-Off Equipment na-agbanwe ingot thinning site na iwepụ usoro ịkpụcha ihe, ịkpụcha ihe, na usoro ịkpụcha kemịkalụ.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Ihe osise zuru ezu

Okwu Mmalite Ngwaahịa nke Ngwa Nwelite Laser nke Semiconductor

Mkpụcha ihe ndị e ji ígwè semiconductor mee, dịka gallium nitride (GaN), silicon carbide (SiC), na sapphire, na-abụkarị ihe siri ike, na-emebi ihe, ma na-enwekarị obere mgbawa ma ọ bụ mmebi elu. N'ụzọ dị iche, Semiconductor Laser Lift-Off Equipment na-enye ihe ọzọ na-anaghị emebi emebi, nke na-ebelata mfu ihe na nrụgide elu ebe ọ na-eme ka mmepụta dịkwuo elu. Ọ na-akwado ọtụtụ ihe kristal na ihe mejupụtara ma enwere ike itinye ha n'ime ahịrị mmepụta semiconductor n'ihu ma ọ bụ n'etiti.

Site na ogologo oge laser a na-ahazi, sistemụ lekwasị anya na-agbanwe agbanwe, na chucks wafer dakọtara na vacuum, akụrụngwa a dabara nke ọma maka ịkpụ ingot, imepụta lamella, na mwepụ ihe nkiri dị oke mkpa maka nhazi ngwaọrụ kwụ ọtọ ma ọ bụ mbufe oyi akwa heteroepitaxial.

Paramita nke Semiconductor Ngwaọrụ Ịweli Laser

Ogologo ebili mmiri	IR/SHG/THG/FHG
Obosara Pulse	Nanosecond, Picosecond, Femtosekọnd
Sistemụ Anya	Sistemụ anya edoziri edozi ma ọ bụ sistemụ Galvano-optical
Ọkwa XY	500 mm × 500 mm
Oke nhazi	160 mm
Ọsọ Mmegharị	Oke 1,000 mm/sekọnd
Imeghachi ihe	±1 μm ma ọ bụ ihe na-erughị ya
Ezigbo Ọnọdụ Ziri Ezi:	±5 μm ma ọ bụ ihe na-erughị ya
Nha Wafer	2–6 sentimita asatọ ma ọ bụ ahaziri ahazi
Njikwa	Windows 10, 11 na PLC
Voltaji Ike Inye	AC 200 V ±20 V, Otu usoro, 50/60 kHz
Akụkụ Mpụga	2400 mm (W) × 1700 mm (D) × 2000 mm (H)
Ibu	1,000 n'arọ

Usoro Ọrụ nke Semiconductor Ngwaọrụ Ịweli Laser

Isi usoro nke Semiconductor Laser Lift-Off Equipment dabere na nhọrọ photothermal decomposition ma ọ bụ ablation na njikọ dị n'etiti ingot onye nyere onyinye na epitaxial ma ọ bụ oyi akwa ebumnuche. A na-elekwasị anya laser UV dị elu (nke a na-akpọkarị KrF na 248 nm ma ọ bụ laser UV siri ike gburugburu 355 nm) site na ihe onyinye doro anya ma ọ bụ ọkara-transparent, ebe a na-etinye ike ahụ n'ime omimi edobere.

Ntinye ike a nke mpaghara a na-emepụta oke nrụgide gas ma ọ bụ oyi akwa mgbasa okpomọkụ na interface ahụ, nke na-amalite mbibi dị ọcha nke wafer elu ma ọ bụ oyi akwa ngwaọrụ site na ntọala ingot. A na-ahazi usoro a nke ọma site na ịgbanwe paramita dịka obosara pulse, fluence laser, ọsọ nyocha, na omimi focal axis z. Nsonaazụ ya bụ obere iberibe dị gịrịgịrị—ọtụtụ mgbe na oke 10 ruo 50 µm—nkewapụrụ nke ọma na ingot nne na nna na-enweghị mkpụcha igwe.

Usoro a nke iwepụ ihe na-eme ka ingot dị nro na-ezere mfu kerf na mmebi elu nke metụtara ịkpụ waya diamond ma ọ bụ ịkpụcha ígwè. Ọ na-echekwa iguzosi ike n'ezi ihe kristal ma na-ebelata ihe achọrọ maka ịkpụcha ígwè, na-eme ka Semiconductor Laser Lift-Off Equipment bụrụ ngwaọrụ na-agbanwe agbanwe maka mmepụta wafer ọgbọ na-abịa.

Ngwa mwepụta laser semiconductor na-agbanwe Ingot Thinning 2

Ngwa nke Semiconductor Laser Lift-Off Equipment

Ngwaọrụ Ịwelite Laser nke Semiconductor na-ahụ ohere dị ukwuu na ịcha ingot n'ọtụtụ ihe na ụdị ngwaọrụ dị elu, gụnyere:

Ngwa Ike GaN na GaAs Ingot Thinning maka Ngwaọrụ Ike
Na-eme ka e mepụta wafer dị gịrịgịrị maka transistors na diode nwere ike ịrụ ọrụ nke ọma, nke na-anaghị eguzogide ike.

Nkewa nke SiC Substrate na Lamella
Na-enye ohere ibuli ihe dị ka wafer site na nnukwu ihe ndị dị na SiC maka nhazi ngwaọrụ kwụ ọtọ na iji wafer emegharị.

Ịcha Wafer LED
Ọ na-eme ka ọ dị mfe iwepụ oyi akwa GaN site na ingots sapphire dị arọ iji mepụta ihe ndị na-emepụta LED dị gịrịgịrị nke ukwuu.

Nhazi Ngwaọrụ RF na Ngwa ...
Na-akwado usoro transistor elektrọn dị gịrịgịrị (HEMT) dị mkpa na sistemụ 5G na radar.

Nnyefe oyi akwa Epitaxial
Ọ na-ewepụ oyi akwa epitaxial kpọmkwem site na ingots kristal maka iji ya ma ọ bụ itinye ya na heterostructures.

Mkpụrụ ndụ anyanwụ dị gịrịgịrị na fotovoltaics
A na-eji ya kewaa ihe mkpuchi dị gịrịgịrị maka mkpụrụ ndụ anyanwụ na-agbanwe agbanwe ma ọ bụ nke dị elu.

Na nke ọ bụla n'ime ngalaba ndị a, Semiconductor Laser Lift-Off Equipment na-enye njikwa na-enweghị atụ na nha nhata ọkpụrụkpụ, ịdị mma elu, na iguzosi ike n'ezi ihe nke oyi akwa.

Uru nke Ịkpụcha Ingot Dabere na Laser

Mfu Ihe Zero-Kerf
Ma e jiri ya tụnyere ụzọ e si ewepụ wafer n'ụzọ ọdịnala, usoro laser na-eme ka e jiri ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ 100% mee ihe.

Nrụgide na Mkpụgharị Obere
Ibuli elu na-anaghị emetụ aka na-ewepụ mkpọtụ igwe, na-ebelata nsị wafer na nhazi microcrack.

Nchekwa Ogo Elu
Ọ dịghị mkpa ịkpụcha ma ọ bụ ịchacha ihe mgbe ị na-eme ka ọ dị gịrịgịrị n'ọtụtụ oge, n'ihi na iwepụ laser na-eme ka elu ya dị ọcha.

Ntinye aka dị elu na akpaaka dị njikere
Nwere ike ịhazi ọtụtụ narị ihe ndị dị n'ime ala kwa mgbanwe site na ibu/ibudata akpaaka.

A na-agbanwe agbanwe na ọtụtụ ihe
Dakọtara na GaN, SiC, sapphire, GaAs, na ihe III-V na-apụta.

Nchekwa Gburugburu Ebe Obibi
Na-ebelata ojiji nke ihe mkpofu na kemịkalụ siri ike a na-ahụkarị n'usoro ịcha ntutu dabere na slurry.

Ojiji ihe eji eme ihe ọzọ
Enwere ike iji ihe ndị na-enye onyinye mee ihe ọzọ maka ọtụtụ usoro mwepụ, na-ebelata ọnụ ahịa ihe nke ukwuu.

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị (Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị) nke Ngwa Ịweli Laser Semiconductor

Q1: Kedu oke ọkpụrụkpụ nke Semiconductor Laser Lift-Off Equipment nwere ike inweta maka iberibe wafer?
A1:Ọkpụrụkpụ nke iberibe a na-ahụkarị sitere na 10 µm ruo 100 µm dabere na ihe na nhazi ya.

Q2: Enwere ike iji ngwa a mee ka ihe ndị e ji ihe ndị na-adịghị acha ọcha dị ka SiC dị gịrịgịrị?
A2:Ee. Site n'ịgbanwe ogologo oge laser na ime ka injinia njikọ dịkwuo mma (dịka ọmụmaatụ, ihe ndị na-adịghị acha ọcha), enwere ike ịhazi ọbụna ihe ndị na-adịghị acha ọcha.

Q3: Kedu ka esi hazie substrate onye nyere onyinye tupu ebuli laser?
A3:Sistemụ a na-eji modulu nhazi nke dabere na ọhụụ sub-micron yana nzaghachi sitere na akara ntụkwasị obi na nyocha ngosipụta elu.

Q4: Kedu oge okirikiri a na-atụ anya ya maka otu ọrụ iwepụ laser?
A4:Dabere na nha na ọkpụrụkpụ nke wafer, usoro a na-ahụkarị na-adịru site na nkeji 2 ruo 10.

Q5: Usoro a ọ chọrọ ebe a na-ehicha ụlọ?
A5:Ọ bụ ezie na ọ bụghị iwu, a na-atụ aro ka e tinye ihe nhicha ụlọ iji mee ka ihe dị ọcha ma nweta ihe dị mkpa n'oge ọrụ dị oke mma.

Gbasara anyị

XKH bụ ọkachamara n'ihe gbasara mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta, na ire nke iko anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-enye ngwa eletrọnịkị anya, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa, na ndị agha. Anyị na-enye ihe ndị mejupụtara anya Sapphire, mkpuchi anya ekwentị mkpanaaka, seramiiki, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers kristal semiconductor. Site na ahụmịhe ọkachamara na ngwa ọgbara ọhụrụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu nke ihe optoelectronic.