Ngwa pụrụ iche maka ụgbọ mmiri kristal quartz maka oke okpomọkụ na nguzogide iyi

E mere ụgbọ mmiri kristal Quartz iji jide ma bufee wafer silicon n'ebe okpomọkụ dị elu, dịka n'ime ọkụ ndị e ji eme ihe dịka oxidation, mgbasa na annealing. Ojiji nke quartz na-eme ka arịa ahụ nwee ike iguzogide oke okpomọkụ na gburugburu kemịkalụ siri ike a na-ahụ na usoro mmepụta semiconductor ndị a.

Nhazi nke ụgbọ mmiri quartz na-enye ohere ibu na ibupụta ọtụtụ wafers nke ọma, na-eme ka mmepụta dị elu na ụlọ ọrụ mmepụta semiconductor. Ojiji nke ụgbọ mmiri quartz na-enyere aka hụ na wafer silicon dị mma ma dị mma n'oge ọgwụgwọ okpomọkụ na kemịkalụ dị iche iche, na-enyere aka ime ka izi ezi na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ semiconductor emepụta ka mma.

Ụgbọ mmiri quartz wafer bụ ngwa ọrụ pụrụ iche eji eme ihe n'ụlọ ọrụ semiconductor iji jikwaa wafer silicon. A na-ejikarị quartz dị ọcha eme ya, nke a na-ahọrọ maka ihe onwunwe okpomọkụ na kemịkalụ dị mma ya.

A na-eme ụgbọ mmiri wafer a ka ọ na-ebu ma na-ahazi wafer silicon n'ebe okpomọkụ dị elu, dịka n'ime ọkụ ndị e ji eme ihe maka usoro dịka oxidation, mgbasa, na annealing. Ojiji nke quartz na-eme ka ụgbọ mmiri ndị ahụ nwee ike iguzogide oke okpomọkụ na gburugburu kemịkalụ siri ike a na-ahụ na usoro mmepụta semiconductor ndị a.

Nhazi nke ụgbọ mmiri ndị ahụ na-enye ohere maka ibu na ibupụta ọtụtụ wafers nke ọma, na-ebute mmepụta dị elu na ụlọ ọrụ mmepụta semiconductor. Ojiji nke wafer quartz na-enyere aka hụ na wafer silicon dị mma ma dị mma n'oge ọgwụgwọ okpomọkụ na kemịkalụ dị iche iche, si otú a na-eme ka izi ezi na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ semiconductor emepụta dịkwuo mma.