Ntụtụ Mwepụ Sapphire Dị Elu Otu kristal Al₂O₃ Ntụtụ Mwepụ Wafer
Teknụzụ paramita
| Ngwakọta kemịkalụ | Al2O3 |
| Ike siri ike | 9Mohs |
| Ọdịdị anya | Uniaxial |
| Ndekọ Refractive | 1.762-1.770 |
| Birefringence | 0.008-0.010 |
| Mgbasa | Ala, 0.018 |
| Ọkụ na-egbuke egbuke | Vitreous |
| Okpukpe Pleochroism | N'etiti ruo n'ịdị ike |
| Dayameta | 0.4mm-30mm |
| ndidi dayameta | 0.004mm-0.05mm |
| ogologo | 2mm-150mm |
| ndidi ogologo | 0.03mm-0.25mm |
| Ogo elu | 40/20 |
| Gburugburu elu | RZ0.05 |
| Ụdị omenala | nsọtụ abụọ ahụ dị larịị, nsọtụ otu nsọtụ, nsọtụ abụọ ahụ dị larịị, mkpọ oche na ọdịdị pụrụ iche |
Isi Atụmatụ
1. Nguzogide Ike na Iyi Pụrụ Iche: Site na ọkwa siri ike Mohs nke 9, nke na-esote naanị dayamọnd, Sapphire Lift Pins na-egosipụta njirimara iyi nke na-aka mma karịa ihe ndị ọzọ eji eme silicon carbide ọdịnala, alumina seramiiki, ma ọ bụ metal alloy. Ike siri ike a na-asụgharị na mbelata nke ukwuu mkpa mmepụta ihe na mmezi, yana ndụ ọrụ na-adịkarị okpukpu 3-5 karịa ihe ndị nkịtị na ngwa ndị yiri ya.
2. Nguzogide Okpomọkụ Kachasị Elu: E mepụtara ya iji nagide ọrụ na-aga n'ihu na okpomọkụ karịrị 1000°C na-enweghị mmebi, Sapphire Lift Pins na-ejigide nkwụsi ike nha na ike mekaniki n'ime usoro okpomọkụ kachasị sie ike. Nke a na-eme ka ha baa uru karịsịa maka ngwa dị mkpa dịka nchekwa anwụrụ kemịkalụ (CVD), nchekwa anwụrụ kemịkalụ metal-organic (MOCVD), na sistemụ annealing okpomọkụ dị elu ebe enweghị nkwekọ nke mgbasa okpomọkụ nwere ike imebi mmepụta usoro.
3. Enweghị Ike Kemịkalụ: Ọdịdị sapphire otu kristal na-egosi nguzogide dị egwu megide mwakpo sitere na acid HF, kemịkalụ dabere na chlorine, na gas usoro ndị ọzọ siri ike a na-ahụkarị na mmepụta semiconductor. Nkwụsi ike kemịkalụ a na-eme ka arụmọrụ na-aga n'ihu na gburugburu plasma ma na-egbochi ịmepụta ntụpọ elu nke nwere ike ibute mmetọ wafer.
4. Mmetọ obere akụkụ: Ejiri kristal sapphire na-enweghị ntụpọ, nke dị ọcha nke ukwuu (nke na-adịkarị karịa 99.99%) rụọ ya, ihe ndị a na-ebuli elu na-egosi obere mwụfu obere akụkụ ọbụlagodi mgbe ejiri ya ogologo oge. Ọdịdị elu ha na-anaghị amị amị na mmecha ha na-emezu ihe kachasị mkpa maka ụlọ nhicha, na-enye aka ozugbo na mmepụta usoro ka mma na mmepụta semiconductor dị elu.
Igwe Nrụpụta Dị Elu: Site na iji usoro nhazi diamond dị elu na laser, enwere ike ịmepụta Sapphire Lift Pins site na iji sub-micron na mmecha elu dị n'okpuru 0.05μm Ra. Enwere ike ịhazi geometry ahaziri iche gụnyere profaịlụ gbagọrọ agbagọ, nhazi ndụmọdụ pụrụ iche, na atụmatụ nhazi agbakọtara iji dozie nsogbu njikwa wafer kpọmkwem na akụrụngwa mmepụta ọgbọ na-abịa.
Ngwa Ndị Isi
1. Mmepụta Semiconductor: Sapphire Lift Pins na-arụ ọrụ dị oke mkpa na sistemụ nhazi wafer dị elu, na-enye nkwado a pụrụ ịdabere na ya na ọnọdụ ziri ezi n'oge fotolithography, ịcha ihe, itinye ihe, na usoro nyocha. Nkwụsi ike okpomọkụ na kemịkalụ ha na-eme ka ha baa uru karịsịa na ngwaọrụ lithography EUV na ngwa nkwakọ ngwaahịa dị elu ebe nkwụsi ike nha na nha nanometer dị mkpa.
2.LED Epitaxy (MOCVD): Na gallium nitride (GaN) na sistemu uto epitaxial semiconductor compound yiri ya, Sapphire Lift Pins na-enye nkwado wafer kwụsiri ike na okpomọkụ nke na-agafekarị 1000°C. Njirimara mgbasa okpomọkụ ha kwekọrọ na sapphire substrates na-ebelata mkpụkọ wafer na mkpụkọ amịkọrọ n'oge usoro uto epitaxial.
3. Ụlọ ọrụ fotovoltaic: Mmepụta sel anyanwụ dị elu na-erite uru site na njirimara pụrụ iche nke sapphire na usoro mgbasa ọkụ dị elu, sintering, na usoro itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị. Mgbochi iyi nke pins bara uru karịsịa na gburugburu mmepụta buru ibu ebe ogologo oge nke ihe mejupụtara na-emetụta ọnụ ahịa mmepụta ozugbo.
4. Nhazi Optics na Eletrọniki Precision: Karịa ngwa semiconductor, Sapphire Lift Pins na-ahụta ojiji ha n'iji ihe ndị dị nro, ngwaọrụ MEMS, na ihe ndị pụrụ iche ebe nhazi na mgbochi ọkọ na-enweghị mmetọ dị oke mkpa. Ihe mkpuchi eletriki ha na-eme ka ha dị mma maka ngwa ndị metụtara ngwaọrụ ndị na-enwe mmetụta electrostatic.
Ọrụ XKH maka mkpọ elu sapphire
XKH na-enye nkwado teknụzụ zuru oke na ngwọta ahaziri maka Sapphire Lift Pins:
1. Ọrụ Mmepe Ọha
· Nkwado maka nhazi nhazi akụkụ, geometric na elu
· Ndụmọdụ maka nhọrọ ihe na nhazi paramita teknụzụ
· Nhazi ngwaahịa na nkwenye ihe atụ
2. Ike Mmepụta Ihe Nkenke
· Nhazi dị elu nke ọma yana njikwa ndị a na-achịkwa n'ime ±1μm
· Ọgwụgwọ pụrụ iche gụnyere ịcha enyo na ịchacha ọnụ
· Ngwọta mgbanwe elu nhọrọ dịka mkpuchi mgbochi arapara
3. Sistemụ Nkwanye Ùgwù
· Mmejuputa nke ọma nke nyocha ihe na njikwa usoro na-abata
· Nnyocha anya zuru oke na nyocha ọdịdị elu
· Inye akụkọ nnwale arụmọrụ ngwaahịa
4. Ọrụ Nnyefe Ngwa
· Nnyefe ngwa ngwa nke ngwaahịa ọkọlọtọ
· Njikwa ngwa ahịa raara onwe ya nye maka akaụntụ dị mkpa
5. Nkwado teknụzụ
· Ndụmọdụ maka ngwọta ngwa
· Nzaghachi ngwa ngwa mgbe ire ere gasịrị
Anyị na-agba mbọ inye ngwaahịa Sapphire Lift Pins dị elu na ọrụ teknụzụ ọkachamara iji mezuo ihe siri ike achọrọ nke semiconductor, LED na ụlọ ọrụ ndị ọzọ dị elu.
