Enwere ike iji mkpụrụ osisi sapphire emebere PSS 2inch 4inch 6inch ICP akọrọ etching maka ibe LED.
Njirimara isi
1. Ihe eji eme ihe: Ihe eji eme ihe bu otu sapphire kristal (Al₂O₃), nke nwere ike siri ike, oke okpomọkụ na nkwụsi ike.
2. Ọdịdị dị n'elu: A na-emepụta elu site na fotolithography na etching n'ime oge micro-nano, dị ka cones, pyramids ma ọ bụ hexagonal arrays.
3. Arụmọrụ anya: Site na nhazi nhazi nke elu, a na-ebelata nlegharị anya nke ọkụ na interface ahụ, a na-eme ka mmepụta ọkụ dị mma.
4. Thermal arụmọrụ: Sapphire mkpụrụ nwere magburu onwe thermal conductivity, adabara elu ike LED ngwa.
5. Nkọwa nha: nha ndị a na-ahụkarị bụ 2 sentimita (50.8mm), 4 sentimita (100mm) na 6 sentimita (150mm).
Mpaghara ngwa ngwa
1. LED mmepụta:
Ọganihu mmịpụta ọkụ dị mma: PSS na-ebelata mfu ọkụ site na imepụta ụkpụrụ, na-eme ka nchapụta ọkụ LED dịkwuo mma na arụmọrụ ọkụ.
Ọdịmma uto epitaxial emelitere: Usoro a haziri ahazi na-enye ntọala uto ka mma maka akwa epitaxial GaN ma na-emezi arụmọrụ LED.
2. Laser diode (LD):
Igwe ọkụ ọkụ dị elu: Igwe ọkụ dị elu na nkwụsi ike nke PSS kwesịrị ekwesị maka diodes laser dị elu, na-eme ka ọrụ nkwụsị ọkụ na ntụkwasị obi dịkwuo elu.
Ọnụ ala dị ala ugbu a: welie uto epitaxial, belata ọnụ ụzọ nke diode laser, ma melite arụmọrụ.
3. Onye nyocha foto:
Mmetụta dị elu: Mgbasa ọkụ dị elu na njupụta ntụpọ dị ala nke PSS na-eme ka nghọta na ọsọ nzaghachi nke fotodetector dịkwuo mma.
Nzaghachi nlegharị anya sara mbara: dabara maka nchọpụta fotoelectric na ultraviolet ruo nso a na-ahụ anya.
4. Igwe eletrọnịkị ike:
Igwe ọkụ dị elu: Igwe mkpuchi dị elu nke sapphire na nkwụsi ike nke okpomọkụ dị mma maka ngwaọrụ ike ọkụ dị elu.
Mgbasa ọkụ na-arụ ọrụ nke ọma: Igwe ọkụ ọkụ dị elu na-eme ka ọkụ na-ekpo ọkụ na-arụ ọrụ nke ngwaọrụ ike ma na-agbatị ndụ ọrụ.
5. Rf ngwaọrụ:
Ịrụ ọrụ ugboro ugboro: Ọnwụ dielectric dị ala na nkwụsi ike dị elu nke PSS dabara maka ngwaọrụ RF dị elu.
mkpọtụ dị ala: Ọdịda dị elu na njupụta ntụpọ dị ala na-ebelata mkpọtụ ngwaọrụ ma melite ogo mgbaama.
6. Biosensor:
Nchọpụta mmetụta dị elu: Mgbasa ọkụ dị elu na nkwụsi ike kemịkalụ nke PSS dabara maka biosensors nwere mmetụta dị elu.
Biocompatibility: Ngwakọta sapphire biocompatibility na-eme ka ọ dabara maka ahụike na ngwa biodetection.
Mpempe sapphire a haziri ahazi (PSS) nwere ihe epitaxial GaN:
Mpempe sapphire e kpụrụ akpụ (PSS) bụ ezigbo mkpụrụ maka uto epitaxial GaN (gallium nitride). Ngwurugwu sapphire na-adịgide adịgide dị nso na GaN, nke nwere ike ibelata nhụsianya lattice na ntụpọ na uto epitaxial. Ọdịdị micro-nano nke elu PSS ọ bụghị nanị na-eme ka mmepụta ọkụ dịkwuo mma, kamakwa ọ na-eme ka kristal dị mma nke GaN epitaxial oyi akwa, si otú ahụ na-eme ka arụmọrụ na ntụkwasị obi nke LED dịkwuo mma.
Usoro nka
| Ihe | Mpempe akwụkwọ sapphire a haziri ahazi (2 ~ 6 inch) | ||
| Dayameta | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
| Ọkpụrụkpụ | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Ntuzi ihu ihu | C-ụgbọ elu (0001) pụọ-n'akuku chere M-axis (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| C-ụgbọ elu (0001) pụọ n'akuku A-axis (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| Nhazi Flat nke izizi | A-ụgbọ elu (11-20) ± 1.0° | ||
| Ogologo Flat nke izizi | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
| Ụgbọ elu R | Elekere 9 | ||
| N'ihu elu imecha | Nhazi | ||
| Emecha elu elu azụ | SSP: Ọma-ala, Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi-egbu maramara, Ra <0.3nm | ||
| Laser Mark | Akụkụ azụ | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| ỤTA | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Mwepu ihu | ≤2 mm | ||
| Nkọwapụta ụkpụrụ | Ọdịdị Ọdịdị | Dome, cone, pyramid | |
| Ọdịdị Elu | 1.6 ~ 1.8 μm | ||
| Dayameta ụkpụrụ | 2.75 ~ 2.85μm | ||
| Oghere ụkpụrụ | 0.1-0.3 μm | ||
XKH bụ ọkachamara n'inye ọkwa sapphire dị elu, ahaziri ahaziri (PSS) site na nkwado teknụzụ na ọrụ ire ere iji nyere ndị ahịa aka inweta ihe ọhụrụ dị mma n'ọhịa nke LED, ngosi na optoelectronics.
1. Ngosipụta PSS dị elu: Ụdị sapphire nke a na-emepụta n'ụdị dị iche iche (2 ", 4", 6 ") iji gboo mkpa nke LED, ngosi na ngwaọrụ optoelectronic.
2. ahaziri ahaziri: Hazie n'elu micro-nano Ọdịdị (dị ka cone, pyramid ma ọ bụ hexagonal array) dị ka ndị ahịa kwesịrị ebuli ìhè mmịpụta arụmọrụ.
3. Nkà na ụzụ nkwado: Nye ngwa ngwa PSS, nhazi nhazi na nyocha teknụzụ iji nyere ndị ahịa aka imeziwanye arụmọrụ ngwaahịa.
4. Nkwado Epitaxial: PSS dakọtara na GaN epitaxial ihe na-enye iji hụ na ọganihu epitaxial dị elu.
5. Nnwale na asambodo: Nye akụkọ nyocha nyocha nke PSS iji hụ na ngwaahịa na-agbaso ụkpụrụ ụlọ ọrụ.
Eserese zuru ezu
