p-ụdị 4H/6H-P 3C-N Ụdị SIC mkpụrụ 4inch 〈111〉± 0.5° Zero MPD

Nkọwa dị mkpirikpi:

Ụdị P-ụdị 4H / 6H-P 3C-N ụdị SiC mkpụrụ, 4-inch nwere 〈111〉± 0.5 ° nghazi na Zero MPD (Micro Pipe Defect) ọkwa, bụ ihe semiconductor ihe dị elu emebere maka ngwaọrụ eletrọnị dị elu. mmepụta ihe. Amara maka ọmarịcha ọkụ ọkụ ya, oke mgbawa voltaji, yana iguzogide oke okpomọkụ na corrosion, mkpụrụ a dị mma maka ngwa eletrọnịkị na ngwa RF. Ọkwa Zero MPD na-ekwe nkwa nrụrụ pere mpe, na-ahụ na a pụrụ ịdabere na ya na nkwụsi ike na ngwaọrụ ndị na-arụ ọrụ dị elu. Nkọwa ya ziri ezi 〈111〉± 0.5 ° na-enye ohere maka nhazi ziri ezi n'oge a na-emepụta ihe, na-eme ka ọ dị mma maka usoro mmepụta ihe dị ukwuu. A na-eji mkpụrụ a eme ihe n'ọtụtụ ebe na igwe ọkụ dị elu, oke voltaji na ngwa eletrọnịkị dị elu, dị ka ndị na-atụgharị ike, ihe ntụgharị na ihe RF.

Zitere anyị email

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

4H/6H-P Ụdị SiC Ngwakọta Ngwakọta Ngwakọta ihe ndị a na-ahụkarị

4 inch dayameta SiliconMkpụrụ osisi Carbide (SiC). Nkọwapụta

Ọkwa			Mmepụta MPD efu Ọkwa (Z Ọkwa)	Standard mmepụta Ọkwa (P Ọkwa)	Ngụsị akwụkwọ (D Ọkwa)
Dayameta			99.5 mm ~ 100.0 mm
Ọkpụrụkpụ			350 μm ± 25 μm
Usoro Wafer			Gbanyụọ axis: 2.0°-4.0° chere ihu [112(-)0] ± 0.5° maka 4H/6H-P, On axis:〈111〉± 0.5° maka 3C-N
Njupụta Micropipe			0 cm-2
Nguzogide	p-ụdị 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏcm		≤0.3 mm
	n-ụdị 3C-N		≤0.8 mΩ nke cm		≤1 m Ωꞏcm
Nhazi Flat nke izizi		4H/6H-P	- {1010} ± 5.0°
		3C-N	- {110} ± 5.0°
Ogologo Flat nke izizi			32.5 mm ± 2.0 mm
Ogologo Flat nke abụọ			18.0 mm ± 2.0 mm
Nhazi Flat nke abụọ			Silicon ihu elu: 90° CW. si Prime flat±5.0°
Mwepu ihu			3 mm		6 mm
LTV/TTV/Ụta/Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Isi ike			Polish Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra ≤0.5 nm
Edge cracks Site na nnukwu ọkụ ọkụ			Ọ dịghị		Ogologo ngụkọta ≤ 10 mm, otu ogologo≤2 mm
Efere Hex Site na Ìhè Dị Elu			Mpaghara mkpokọta ≤0.05%		Mpaghara mkpokọta ≤0.1%
Mpaghara Polytype Site n'ìhè dị elu			Ọ dịghị		Mpaghara mkpokọta≤3%
Ntinye Carbon Anya Anya			Mpaghara mkpokọta ≤0.05%		Mpaghara mkpokọta ≤3%
Silicon dị n'elu Scratches Site na nnukwu ọkụ ọkụ			Ọ dịghị		Mgbakọ ogologo≤1 × dayameta wafer
Edge Chips High Site n'ọkụ ọkụ			Ọnweghị nke anabatara obosara na omimi ≥0.2mm		5 kwere, ≤1 mm nke ọ bụla
Mmetọ Silicon dị n'elu site na oke ike			Ọ dịghị
Nkwakọ ngwaahịa			Cassette Multi-wafer ma ọ bụ otu akpa wafer

ndetu:

※ Oke ntụpọ na-emetụta n'elu wafer dum ma ewezuga mpaghara mwepu ihu. # Ekwesịrị ịlele ncha ahụ naanị na ihu Si.

Ụdị P-ụdị 4H/6H-P 3C-N ụdị 4-inch SiC mkpụrụ nwere 〈111〉± 0.5° nghazi na Zero MPD ọkwa na-ọtụtụ ebe na-arụ ọrụ eletrọnịkị ngwa. Nrụpụta ọkụ ya dị mma na oke mgbawa voltaji na-eme ka ọ dị mma maka ngwa eletrọnịkị ike, dị ka mgbanaka voltaji dị elu, ndị inverters na ndị na-atụgharị ike, na-arụ ọrụ n'ọnọdụ dị oke egwu. Na mgbakwunye, nguzogide nke mkpụrụ osisi na oke okpomọkụ yana corrosion na-eme ka arụmọrụ kwụsiri ike na gburugburu ebe siri ike. Ntuzi 〈111〉± 0.5° nke ziri ezi na-eme ka nrụpụta nrụpụta, na-eme ka ọ dabara maka ngwaọrụ RF na ngwa ugboro dị elu, dị ka sistemụ radar na akụrụngwa nkwukọrịta ikuku.

Uru nke N-ụdị SiC composite substrates gụnyere:

1. High Thermal Conductivity: Mgbasa ọkụ na-arụ ọrụ nke ọma, na-eme ka ọ dị mma maka gburugburu ebe okpomọkụ dị elu na ngwa ike dị elu.
2. High Breakdown Voltage: Na-eme ka arụmọrụ a pụrụ ịdabere na ya na ngwa voltaji dị elu dị ka ndị na-agbanwe ike na ndị ntụgharị.
3. Zero MPD (Micro Pipe Defect) ọkwa: Na-ekwe nkwa obere ntụpọ, na-enye nkwụsi ike na ntụkwasị obi dị elu na ngwaọrụ eletrọnịkị dị egwu.
4. Nguzogide corrosion: Na-adịgide adịgide na gburugburu ebe obibi siri ike, na-eme ka ọrụ dị ogologo oge na ọnọdụ ndị na-achọsi ike.
5. Kpọmkwem 〈111〉± 0.5 ° Nhazi: Na-enye ohere maka nhazi ziri ezi n'oge nrụpụta, na-eme ka arụmọrụ ngwaọrụ dịkwuo elu na ngwa RF.

N'ozuzu, ụdị P-ụdị 4H / 6H-P 3C-N ụdị 4-inch SiC mkpụrụ nwere 〈111〉± 0.5° nghazi na Zero MPD ọkwa bụ ihe dị elu na-arụ ọrụ nke ọma maka ngwa eletrọnịkị dị elu. Nrụpụta ọkụ ya dị mma na voltaji ndakpọ dị elu na-eme ka ọ bụrụ nke zuru oke maka ngwa elektrọn ike dị ka mgba ọkụ dị elu, inverters, na ndị ntụgharị. Ọkwa Zero MPD na-eme ka ntụpọ pere mpe, na-enye ntụkwasị obi na nkwụsi ike na ngwaọrụ dị oke mkpa. Na mgbakwunye, mgbochi nke mkpụrụ osisi na-eguzogide corrosion na oke okpomọkụ na-eme ka ọ dị ogologo ndụ na gburugburu ebe siri ike. Ntuzi aka 〈111〉± 0.5° na-enye ohere maka nhazi ziri ezi n'oge nrụpụta, na-eme ka ọ dabara nke ọma maka ngwaọrụ RF na ngwa ugboro dị elu.