p-ụdị 4H/6H-P 3C-N Ụdị SIC mkpụrụ 4inch 〈111〉± 0.5° Zero MPD

Nkọwa dị mkpirikpi:

Ụdị P-ụdị 4H / 6H-P 3C-N ụdị SiC mkpụrụ, 4-inch nwere 〈111〉± 0.5 ° nghazi na Zero MPD (Micro Pipe Defect) ọkwa, bụ ihe semiconductor na-arụ ọrụ dị elu emebere maka nrụpụta ngwaọrụ eletrọnịkị dị elu. Amara maka ọmarịcha ọkụ ọkụ ya, oke mgbawa voltaji, yana iguzogide oke okpomọkụ na corrosion, mkpụrụ a dị mma maka ngwa eletrọnịkị na ngwa RF. Ọkwa Zero MPD na-ekwe nkwa nrụrụ pere mpe, na-ahụ na a pụrụ ịdabere na ya na nkwụsi ike na ngwaọrụ ndị na-arụ ọrụ dị elu. Nkọwa ya ziri ezi 〈111〉± 0.5 ° na-enye ohere maka nhazi ziri ezi n'oge a na-emepụta ihe, na-eme ka ọ dị mma maka usoro mmepụta ihe dị ukwuu. A na-eji mkpụrụ a eme ihe n'ọtụtụ ebe n'ime ọkụ dị elu, oke voltaji na ngwa eletrọnịkị dị elu, dị ka ndị na-atụgharị ike, ihe ntụgharị na ihe RF.

Zitere anyị email

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

4H/6H-P Ụdị SiC Ngwakọta Ngwakọta Ngwakọta ihe ndị a na-ahụkarị

4 inch dayameta SiliconMkpụrụ osisi Carbide (SiC). Nkọwapụta

Ọkwa			Mmepụta MPD efu Ọkwa (Z Ọkwa)	Standard mmepụta Ọkwa (P Ọkwa)	Ngụsị akwụkwọ (D Ọkwa)
Dayameta			99.5 mm ~ 100.0 mm
Ọkpụrụkpụ			350 μm ± 25 μm
Usoro Wafer			Gbanyụọ axis: 2.0°-4.0° chere ihu [112(-)0] ± 0.5° maka 4H/6H-P, On axis:〈111〉± 0.5° maka 3C-N
Njupụta Micropipe			0 cm-2
Nguzogide	p-ụdị 4H/6H-P		≤0.1 Ωꞏcm		≤0.3 mm
	n-ụdị 3C-N		≤0.8 mΩ nke cm		≤1 m Ωꞏcm
Nhazi Flat nke izizi		4H/6H-P	- {1010} ± 5.0°
		3C-N	- {110} ± 5.0°
Ogologo Flat nke izizi			32.5 mm ± 2.0 mm
Ogologo Flat nke abụọ			18.0 mm ± 2.0 mm
Nhazi Flat nke abụọ			Silicon ihu elu: 90° CW. si Prime flat±5.0°
Mwepu ihu			3 mm		6 mm
LTV/TTV/Ụta/Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Isi ike			Polish Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra ≤0.5 nm
Edge cracks Site na nnukwu ọkụ ọkụ			Ọ dịghị		Ogologo ngụkọta ≤ 10 mm, otu ogologo≤2 mm
Efere Hex Site na Ìhè Dị Elu			Mpaghara mkpokọta ≤0.05%		Mpaghara mkpokọta ≤0.1%
Mpaghara Polytype Site n'ìhè dị elu			Ọ dịghị		Mpaghara mkpokọta≤3%
Ntinye Carbon Anya Anya			Mpaghara mkpokọta ≤0.05%		Mpaghara mkpokọta ≤3%
Silicon dị n'elu Scratches Site na nnukwu ọkụ ọkụ			Ọ dịghị		Mgbakọ ogologo≤1 × dayameta wafer
Edge Chips High Site n'ọkụ ọkụ			Ọnweghị nke anabatara obosara na omimi ≥0.2mm		5 kwere, ≤1 mm nke ọ bụla
Mmetọ Silicon dị n'elu site na oke ike			Ọ dịghị
Nkwakọ ngwaahịa			Cassette Multi-wafer ma ọ bụ otu akpa wafer

ndetu:

※ Oke ntụpọ na-emetụta n'elu wafer dum ma ewezuga mpaghara mwepu ihu. # Ekwesịrị ịlele ncha ahụ naanị na ihu Si.

Ụdị P-ụdị 4H/6H-P 3C-N ụdị 4-inch SiC mkpụrụ nwere 〈111〉± 0.5° nghazi na Zero MPD ọkwa na-ọtụtụ ebe na-arụ ọrụ eletrọnịkị ngwa. Nrụpụta ọkụ ya dị mma na oke mgbawa voltaji na-eme ka ọ dị mma maka ngwa eletrọnịkị ike, dị ka mgbanaka voltaji dị elu, ndị inverters na ndị na-atụgharị ike, na-arụ ọrụ n'ọnọdụ dị oke egwu. Na mgbakwunye, nguzogide nke mkpụrụ osisi na oke okpomọkụ yana corrosion na-eme ka arụmọrụ kwụsiri ike na gburugburu ebe siri ike. Ntuzi 〈111〉± 0.5° nke ziri ezi na-eme ka nrụpụta nrụpụta, na-eme ka ọ dabara maka ngwaọrụ RF na ngwa ugboro dị elu, dị ka sistemụ radar na akụrụngwa nkwukọrịta ikuku.

Uru nke N-ụdị SiC composite substrates gụnyere:

1. High Thermal Conductivity: Mgbasa ọkụ na-arụ ọrụ nke ọma, na-eme ka ọ dị mma maka gburugburu ebe okpomọkụ dị elu na ngwa ike dị elu.
2. High Breakdown Voltage: Na-eme ka arụmọrụ a pụrụ ịdabere na ya na ngwa voltaji dị elu dị ka ndị na-agbanwe ike na ndị ntụgharị.
3. Zero MPD (Micro Pipe Defect) ọkwa: Na-ekwe nkwa obere ntụpọ, na-enye nkwụsi ike na ntụkwasị obi dị elu na ngwaọrụ eletrọnịkị dị egwu.
4. Nguzogide corrosion: Na-adịgide adịgide na gburugburu ebe obibi siri ike, na-eme ka ọrụ dị ogologo oge na ọnọdụ ndị na-achọsi ike.
5. Kpọmkwem 〈111〉± 0.5 ° Nhazi: Na-enye ohere maka nhazi ziri ezi n'oge nrụpụta, na-eme ka arụmọrụ ngwaọrụ dịkwuo elu na ngwa RF.

N'ozuzu, ụdị P-ụdị 4H / 6H-P 3C-N ụdị 4-inch SiC mkpụrụ nwere 〈111〉± 0.5° nghazi na Zero MPD ọkwa bụ ihe dị elu na-arụ ọrụ nke ọma maka ngwa eletrọnịkị dị elu. Nrụpụta ọkụ ya dị mma na voltaji ndakpọ dị elu na-eme ka ọ bụrụ nke zuru oke maka ngwa elektrọn ike dị ka mgba ọkụ dị elu, inverters, na ndị ntụgharị. Ọkwa Zero MPD na-eme ka ntụpọ pere mpe, na-enye ntụkwasị obi na nkwụsi ike na ngwaọrụ dị oke mkpa. Na mgbakwunye, mgbochi nke mkpụrụ osisi na-eguzogide corrosion na oke okpomọkụ na-eme ka ọ dị ogologo ndụ na gburugburu ebe siri ike. Ntuzi aka 〈111〉± 0.5° na-enye ohere maka nhazi ziri ezi n'oge nrụpụta, na-eme ka ọ dabara nke ọma maka ngwaọrụ RF na ngwa ugboro dị elu.