Teknụzụ Wafer dicing, dị ka nzọụkwụ dị oke mkpa na usoro nrụpụta semiconductor, jikọtara ya na arụmọrụ mgbawa, mkpụrụ, na ọnụ ahịa mmepụta.
#01 ndabere na mkpa Wafer Dicing pụtara
1.1 Nkọwa nke Wafer Dicing
Wafer dicing (nke a makwaara dị ka ide ihe) bụ nzọụkwụ dị mkpa n'ichepụta semiconductor, nke ezubere iji kewaa wafers edoziri n'ime ọtụtụ ndị nwụrụ anwụ. Ọnwụ ndị a na-enwekarị ọrụ sekit zuru oke ma bụrụkwa ihe ndị bụ isi a na-emecha na-emepụta ngwaọrụ eletrọnịkị. Ka atụmatụ mgbawa na-aghọwanye mgbagwoju anya na akụkụ na-aga n'ihu na-ebelata, nkenke na arụmọrụ chọrọ maka teknụzụ wafer dicing na-esiwanye ike.
N'ime arụmọrụ bara uru, wafer dicing na-ejikarị ngwa dị elu dị ka agụba diamond iji hụ na onye ọ bụla nwụrụ anwụ na-anọgide na-arụ ọrụ nke ọma. Nzọụkwụ ndị bụ isi gụnyere nkwadebe tupu ịchachaa, njikwa ziri ezi n'oge usoro ịkpụ, na nyocha dị mma mgbe ịchachara.
Tupu ịkpụ, a ga-edobe wafer ahụ ma debe ya iji hụ na ụzọ ịkpụchasị mma. Mgbe a na-egbutu ya, a ga-achịkwarịrị usoro dị ka nrụgide ngwá ọrụ na ọsọ iji gbochie mmebi nke wafer. Mgbe ebichachara, a na-eme nyocha nyocha zuru oke iji hụ na mgbawa ọ bụla na-emezu ụkpụrụ arụmọrụ.
The isi ụkpụrụ nke wafer dicing technology gụnyere ọ bụghị nanị na nhọrọ nke ịkpụ akụrụngwa na ntọala nke usoro parameters kamakwa mmetụta nke n'ibu Njirimara na e ji mara ihe na ọnwụ mma. Dịka ọmụmaatụ, obere k dielectric silicon wafers, n'ihi akụrụngwa arụ ọrụ ha dị ala, na-enwekarị ike itinye uche na nrụgide n'oge ịkpụ, na-eduga na ọdịda dị ka chipping na cracking. Obere ike na nhịkọ nke ihe ndị dị ala-k na-eme ka ha dịkwuo mfe imebi nhazi n'okpuru ike ọrụ ma ọ bụ nrụgide okpomọkụ, karịsịa n'oge ịkpụ. Mmekọrịta dị n'etiti ngwá ọrụ na elu wafer, yana oke okpomọkụ, nwere ike ime ka nchekasị dịkwuo njọ.
Site n'ọganihu na sayensị ihe onwunwe, teknụzụ wafer agbasawanye karịa semiconductors dabere na silicon ka ọ gụnyere ihe ọhụrụ dị ka gallium nitride (GaN). Ihe ọhụrụ ndị a, n'ihi ike siri ike na ihe nhazi ha, na-ebute ihe ịma aka ọhụrụ maka usoro dicing, na-achọkwu nkwalite na ịcha ngwá ọrụ na usoro.
Dị ka usoro dị oke egwu na ụlọ ọrụ semiconductor, wafer dicing na-aga n'ihu na-emeziwanye ya na nzaghachi maka mgbanwe na-achọwanye na ọganihu nkà na ụzụ, na-etinye ntọala maka microelectronics n'ọdịnihu na teknụzụ sekit jikọtara ọnụ.
Nkwalite na teknụzụ dicing wafer na-agabiga mmepe nke ihe enyemaka na ngwaọrụ. Ha na-agụnyekwa njikarịcha usoro, nkwalite na ịrụ ọrụ akụrụngwa, yana njikwa kpọmkwem nke paramita dicing. Ọganihu ndị a na-achọ ịhụ na izi ezi dị elu, arụmọrụ, na nkwụsi ike na usoro ịgba egwu wafer, na-egbo mkpa ụlọ ọrụ semiconductor maka obere akụkụ, ntinye dị elu, yana ihe mgbawa dị mgbagwoju anya.
| Mpaghara imeziwanye | Usoro akọwapụtara | Mmetụta |
| Nkwalite usoro | - Melite nkwado mbụ, dị ka idobe wafer ziri ezi na nhazi ụzọ. | - Belata njehie ịkpụ ma melite nkwụsi ike. |
| - Wedata mperi mperi ma kwalite nkwụsi ike. | - Nabata usoro nleba anya na nzaghachi ozugbo iji dozie nrụgide ngwaọrụ, ọsọ na okpomọkụ. | |
| - Belata ọnụego mgbaji wafer ma melite ogo mgbawa. | ||
| Nkwalite arụmọrụ akụrụngwa | - Jiri sistemu igwe dị elu yana teknụzụ njikwa akpaaka dị elu. | - kwalite izi ezi ma belata mkpofu ihe. |
| - Ewebata teknụzụ ịkpụ laser dabara adaba maka wafers ihe siri ike dị elu. | - Melite nrụpụta mmepụta ma belata njehie akwụkwọ ntuziaka. | |
| - Mụbaa akpaaka akụrụngwa maka nleba anya na ngbanwe. | ||
| Njikwa oke nke ọma | - Meziwanye paramita dị ka igbutu omimi, ọsọ, ụdị ngwaọrụ na ụzọ jụrụ oyi. | - Gbaa mbọ hụ na iguzosi ike n'ezi ihe na ịrụ ọrụ eletrik. |
| - Hazie paramita dabere na ihe wafer, ọkpụrụkpụ na nhazi. | - Kwalite ọnụego mkpụrụ, belata mkpofu ihe, yana ọnụ ahịa mmepụta ihe. | |
| Mkpa atụmatụ | - Na-aga n'ihu na-enyocha ụzọ teknụzụ ọhụrụ, kwalite usoro, ma kwalite ikike akụrụngwa iji gboo ihe ndị ahịa chọrọ. | - Meziwanye mmepụta mgbawa na arụmọrụ, na-akwado mmepe nke ihe ọhụrụ yana atụmatụ mgbawa dị elu. |
1.2 Mkpa Wafer Dicing
Wafer dicing na-arụ ọrụ dị oke mkpa na usoro mmepụta nke semiconductor, na-emetụta kpọmkwem usoro ndị na-esote yana àgwà na arụmọrụ nke ngwaahịa ikpeazụ. Enwere ike ịkọwa mkpa ya dị ka ndị a:
Nke mbụ, izi ezi na nkwụsi ike nke dicing bụ isi ihe iji hụ na mkpụrụ mgbawa na ntụkwasị obi. N'oge nrụpụta, wafers na-enweta ọtụtụ usoro nhazi iji mepụta ọtụtụ sekit dị mgbagwoju anya, nke a ga-ekewa nke ọma n'ime ibe (nwuru). Ọ bụrụ na enwere nnukwu njehie na nhazi ma ọ bụ ịkpụ n'oge usoro dicing, sekit ndị ahụ nwere ike imebi, na-emetụta ọrụ mgbawa na ntụkwasị obi. Ya mere, nkà na ụzụ dicing dị elu ọ bụghị nanị na-eme ka iguzosi ike n'ezi ihe nke mgbawa ọ bụla ma na-egbochikwa mmebi nke sekit dị n'ime, na-eme ka ọnụego mkpụrụ dị elu.
Nke abuo, wafer dicing nwere mmetụta dị ukwuu na nrụpụta mmepụta na njikwa ọnụ ahịa. Dị ka nzọụkwụ dị mkpa na usoro mmepụta ihe, arụmọrụ ya na-emetụta ọganihu nke usoro ndị na-esote. Site n'ịkwalite usoro dicing, ịba ụba ọkwa akpaaka, na imeziwanye ọsọ nke igbutu, enwere ike ịkwalite nrụpụta nrụpụta n'ozuzu ya nke ukwuu.
N'aka nke ọzọ, ihe na-emebi ihe n'oge dicing bụ ihe dị mkpa na njikwa ego. Iji teknụzụ dicing dị elu ọ bụghị naanị na-ebelata mfu ihe ndị na-adịghị mkpa n'oge usoro ịkpụ, kamakwa ọ na-abawanye itinye n'ọrụ wafer, si otú a na-ebelata ọnụ ahịa mmepụta.
Site na ọganihu na teknụzụ semiconductor, dayameta wafer na-aga n'ihu na-abawanye, na njupụta sekit na-ebili otu a, na-etinye ihe dị elu na teknụzụ dicing. Wafers buru ibu chọrọ njikwa ziri ezi nke ụzọ ịkpụ, ọkachasị na mpaghara sekit dị elu, ebe ọbụlagodi obere ngbanwe nwere ike ime ka ọtụtụ ibe nwee ntụpọ. Na mgbakwunye, wafers buru ibu na-agụnye ahịrị igbutu karịa yana usoro usoro dị mgbagwoju anya karị, na-achọ ndozi n'ihu na nzizi, nkwụsi ike, na arụmọrụ nke teknụzụ dicing iji gboo ihe ịma aka ndị a.
1.3 Usoro ịkụ egwu Wafer
Usoro dicing wafer na-agụnye usoro niile site na usoro nkwadebe ruo na nyocha ikpeazụ nke ọma, na ọkwa ọ bụla dị oke mkpa iji hụ na ịdịmma na arụmọrụ nke ibe diced. N'okpuru ebe a bụ nkọwa zuru ezu nke usoro ọ bụla.
| Usoro | Nkọwa zuru ezu |
| Usoro nkwadebe | -Nchacha wafer: Jiri mmiri dị ọcha dị elu na ndị na-ehicha ihe pụrụ iche, jikọtara ya na ultrasonic ma ọ bụ nchacha ihe eji eme ihe, iji wepụ ihe ndị na-adịghị ọcha, ihe ndị na-emerụ emerụ, na-eme ka ọ dị ọcha. -Ọnọdụ ziri ezi: Jiri ngwa nkenke dị elu mee ihe iji hụ na a na-ekewa wafer nke ọma n'ụzọ ndị e mere ịkpụ. -Ndozi wafer: Chekwaa wafer na teepu teepu ka ọ kwụsie ike n'oge ịcha, na-egbochi mmebi site na ịma jijiji ma ọ bụ mmegharị. |
| Usoro ịkpụ | -Ịkụba agụba: Were akwa akwa mkpuchi diamond na-agba ọsọ dị elu maka ịkpụ anụ ahụ, dabara maka ihe ndị dabeere na silicon na ọnụ ahịa bara uru. -Ngwunye laser: Jiri ọkụ ọkụ laser dị elu maka ịkpụ na-enweghị kọntaktị, dị mma maka ihe na-agbaji ma ọ bụ ihe siri ike dị ka gallium nitride, na-enye nkọwa dị elu na obere ihe efu. -Teknụzụ ọhụrụ: Ewebata teknụzụ ịkpụ laser na plasma iji meziwanye arụmọrụ na nkenke mgbe ị na-ebelata mpaghara okpomọkụ metụtara. |
| Usoro nhicha | - Jiri mmiri deionized (mmiri DI) na ndị ọrụ nhicha pụrụ iche, jikọtara ya na ultrasonic ma ọ bụ ncha nhicha, wepụ ihe mkpofu na uzuzu a na-emepụta n'oge ịcha, na-egbochi ihe ndị fọdụrụ na-emetụta usoro ndị na-esote ma ọ bụ mgbawa ọkụ eletrik. - Mmiri DI dị elu dị ọcha na-ezere iwebata mmetọ ọhụrụ, na-eme ka ebe obibi wafer dị ọcha. |
| Usoro nyocha | -Nyocha anya: Jiri usoro nchọpụta anya jikọtara ya na algọridim AI iji chọpụta ntụpọ ngwa ngwa, na-ahụ na ọ dịghị ihe mgbawa ma ọ bụ chipping na ibe diced, melite arụmọrụ nyocha, na ibelata njehie mmadụ. -Ntụle akụkụ: Nyochaa na akụkụ mgbawa na-ezute nkọwa nhazi. -Nlele arụmọrụ eletrik: Gbaa mbọ hụ na arụmọrụ eletriki nke ibe dị oke egwu na-emezu ụkpụrụ, na-ekwe nkwa ntụkwasị obi na ngwa ndị na-esote. |
| Usoro nhazi | - Jiri ogwe aka robotic ma ọ bụ iko mmanya na-ekpo ọkụ kewapụ ibe ndị tozuru etozu na teepu teepu wee hazie ha na-akpaghị aka dabere na arụmọrụ, na-ahụ na nrụpụta mmepụta na mgbanwe na-emeziwanye nkenke. |
Usoro ịkpụ wafer na-agụnye ihicha wafer, idobe, ịcha, ihicha, nyocha na nhazi, na usoro nke ọ bụla dị oke mkpa. Site na ọganihu na akpaaka, ịcha laser, na teknụzụ nyocha AI, usoro ịcha wafer nke oge a nwere ike nweta oke nkenke, ọsọ ọsọ, na ọnwụ ihe dị ala. N'ọdịnihu, teknụzụ ịkpụ ọhụrụ dị ka laser na plasma ga-eji nwayọọ nwayọọ dochie ịkpụ agụba ọdịnala iji gboo mkpa nke atụmatụ mgbawa na-esiwanye ike, na-ebute mmepe nke usoro nrụpụta semiconductor.
Teknụzụ ịkpụ Wafer na ụkpụrụ ya
Onyonyo a na-egosi teknụzụ ịcha wafer atọ:Ịkụba agụba,Ngwunye laser, naNgwunye Plasma. N'okpuru bụ nyocha zuru ezu na nkọwa mgbakwunye nke usoro atọ ndị a:
N'ichepụta semiconductor, ịcha wafer bụ nzọụkwụ dị oke mkpa nke chọrọ ịhọrọ usoro ịkpụ kwesịrị ekwesị dabere na ọkpụrụkpụ wafer. Nzọụkwụ mbụ bụ ikpebi ọkpụrụkpụ wafer. Ọ bụrụ na ọkpụrụkpụ wafer karịrị 100 microns, enwere ike ịhọrọ dicing agụba dị ka ụzọ ịkpụ. Ọ bụrụ na agụba agụba adabaghị, a ga-eji usoro ịgbaji agbaji eme ihe, nke gụnyere ma usoro ịkpụcha akwụkwọ na agụba.
Mgbe ọkpụrụkpụ wafer dị n'etiti 30 na 100 microns, a na-atụ aro usoro DBG (Dice Tupu egweri). N'okwu a, ị ga-ahọrọ ịcha akwukwọ, ịkụ agụba, ma ọ bụ imezi usoro ịkpụ dịka ọ dị mkpa iji nweta nsonaazụ kacha mma.
Maka wafers ultra-thin na ọkpụrụkpụ nke na-erughị 30 microns, ịcha laser na-aghọ usoro kachasị amasị ya n'ihi ike ya ibelata wafers dị mkpa nke ọma na-enweghị mmebi nke ukwuu. Ọ bụrụ na ịkpụ laser enweghị ike iru ihe achọrọ, enwere ike iji ịkpụ plasma dị ka ihe ọzọ. Ihe eserese a na-erugharị na-enye ụzọ mkpebi doro anya iji hụ na ahọpụtara teknụzụ ịkpụ wafer kacha dabara adaba n'okpuru ọnọdụ ọkpụrụkpụ dị iche iche.
2.1 Mechanical Cutting Technology
Nkà na ụzụ ịcha ígwè bụ usoro ọdịnala n'ime wafer dicing. Ụkpụrụ bụ isi bụ iji igwe na-egweri diamond na-agba ọsọ dị elu dị ka ihe eji egbutu wafer. Akụrụngwa ndị dị mkpa na-agụnye mkpịsị mkpịsị ikuku, nke na-ebu ngwá ọrụ wiil egweri diamond n'ọsọ ọsọ dị elu iji rụọ ọrụ nkenke ma ọ bụ ịkwagharị n'ụzọ ziri ezi. A na-eji teknụzụ a eme ihe n'ọtụtụ ebe na ụlọ ọrụ n'ihi ọnụ ahịa dị ala, arụmọrụ dị elu, yana ngwa ngwa.
Uru
The elu ike ike na eyi iguzogide diamond egweri wheel ngwaọrụ na-enyere n'ibu ọnwụ technology imeghari ka ọnwụ mkpa nke dị iche iche wafer ihe, ma omenala silicon dabeere ihe ma ọ bụ ọhụrụ compound semiconductor. Ọrụ ya dị mfe, yana chọrọ teknụzụ dị ala, na-akwalitewanye ewu ewu ya na mmepụta oke. Ọzọkwa, tụnyere ndị ọzọ ọnwụ ụzọ dị ka laser ọnwụ, n'ibu igbutu nwere ihe ndị ọzọ controllable ụgwọ, na-eme ka ọ dabara maka elu-olu mmepụta mkpa.
Oke
N'agbanyeghị ọtụtụ uru ya, teknụzụ ịcha ihe na-arụ ọrụ nwekwara oke. Nke mbụ, n'ihi kọntaktị anụ ahụ dị n'etiti ngwá ọrụ na wafer, nkwụsịtụ nkenke dị ntakịrị, na-edugakarị na ntụgharị akụkụ nke nwere ike imetụta izi ezi nke nkwakọ na ule mgbawa na-esote. Nke abuo, ntụpọ dị ka chipping na cracks nwere ike ime n'ụzọ dị mfe n'oge usoro ịkpụcha usoro, nke na-abụghị nanị na-emetụta ọnụego mkpụrụ, kamakwa ọ nwere ike imetụta ntụkwasị obi na ndụ nke ibe. Mmebi nke arụrụ arụ na-akpata nrụgide na-emebi emebi maka nrụpụta mgbawa dị elu, ọkachasị mgbe ị na-egbutu ihe ndị na-emebi emebi, ebe okwu ndị a kacha pụta ìhè.
Mmelite teknụzụ
Iji merie njedebe ndị a, ndị na-eme nchọpụta na-aga n'ihu na-ebuli usoro ịkpụcha ígwè ọrụ. Mgbanwe ndị bụ isi gụnyere ịkwalite imewe na nhọrọ ihe nke wiil egweri iji kwalite nkenke na ịdịte aka. Tụkwasị na nke ahụ, ịkwalite nhazi nhazi na usoro nchịkwa nke akụrụngwa na-eme ka nkwụsi ike na akpaaka nke usoro ịkpụ ahụ dịkwuo mma. Ọganihu ndị a na-ebelata njehie nke ọrụ mmadụ na-akpata ma melite nkwụsi ike nke mbelata. Iwebata nke nyocha dị elu na teknụzụ njikwa mma maka nleba anya n'ezie nke anomalies n'oge usoro ịkpụ ahụ emeela ka ntụkwasị obi dịkwuo mma na mkpụrụ.
Mmepe Ọdịnihu na Teknụzụ Ọhụrụ
Ọ bụ ezie na teknụzụ ịcha ihe ka na-enwe ọnọdụ dị ịrịba ama na ịkpụ wafer, teknụzụ ịkpụ ọhụrụ na-aga n'ihu ngwa ngwa ka usoro semiconductor na-amalite. Dị ka ihe atụ, ngwa nke thermal laser ọnwụ technology na-enye ọhụrụ ngwọta na nkenke na ntụpọ mbipụta na n'ibu ọnwụ. Usoro ịkpụ a na-adịghị emekọrịta ihe na-ebelata nrụgide anụ ahụ na wafer, na-ebelata nke ukwuu n'ihe omume nke chipping na cracking, karịsịa mgbe ị na-egbutu ihe ndị na-agbaji agbaji. N'ọdịnihu, ntinye nke teknụzụ ịcha ígwè na usoro ịcha ọkụ na-apụta ga-enye mmepụta nke semiconductor na nhọrọ ndị ọzọ na mgbanwe, na-emewanye mmepụta mmepụta ihe na àgwà mgbawa.
Na mmechi, ọ bụ ezie na n'ibu teknụzụ nwere ụfọdụ drawbacks, na-aga n'ihu na nkà na ụzụ ndozi na ya mwekota na ọhụrụ ọnwụ usoro na-enye ya ohere ka na-arụ ọrụ dị mkpa na semiconductor n'ichepụta na ịnọgide na-enwe asọmpi na-eme n'ọdịnihu Filiks.
2.2 Laser ịcha teknụzụ
Nkà na ụzụ ịkpụ laser, dị ka usoro ọhụrụ na ịkpụ wafer, ejirila nwayọọ nwayọọ nweta nlebara anya zuru ebe niile na ụlọ ọrụ semiconductor n'ihi oke ya dị elu, enweghị mmebi kọntaktị na-arụ ọrụ, na ike ịkpụ ngwa ngwa. Nkà na ụzụ a na-eji ike dị elu na ike ilekwasị anya nke laser beam iji mepụta obere mpaghara okpomọkụ metụtara n'elu ihe wafer. Mgbe a na-etinye eriri laser na wafer, nrụgide okpomọkụ na-akpata na-eme ka ihe ahụ gbajie n'ebe a họpụtara ahọpụta, na-enweta nkwụsị nke ọma.
Uru nke Laser Cutting Technology
• Elu nkenke: The laser doo si kpọmkwem n'ọnọdu ikike na-enye ohere maka micron ma ọ bụ ọbụna nanometer-larịị ọnwụ nkenke, izute chọrọ nke oge a elu-nkenke, elu-njupụta integrated circuit n'ichepụta.
• Enweghị kọntaktị maka igwe: Mbelata Laser na-ezere kọntaktị anụ ahụ na wafer, na-egbochi okwu ndị a na-ahụkarị na ịcha ígwè, dị ka chipping na cracking, na-eme ka ọnụọgụ mkpụrụ na ntụkwasị obi nke ibe.
• Ọsọ ịkpụ ngwa ngwa: Ọnụ ọgụgụ dị elu nke ịkpụ laser na-enye aka n'ịbawanye mmepụta mmepụta ihe, na-eme ka ọ dị mma maka nnukwu ihe ngosi mmepụta ihe dị elu.
Ihe ịma aka ndị chere ihu
• Ọnụ ngwá ọrụ dị elu: The mbụ ego maka laser ọnwụ ngwá dị elu, nke ọnọde aku na uba nsogbu, karịsịa maka obere na-ajụ-sized mmepụta ụlọ ọrụ.
• Njikwa Usoro mgbagwoju anya: Ịcha laser chọrọ njikwa ziri ezi nke ọtụtụ paramita, gụnyere ike ike, ọnọdụ elekwasị anya, na igbutu ọsọ, na-eme ka usoro ahụ dị mgbagwoju anya.
• Okwu Mpaghara Okpomọkụ metụtara: Ọ bụ ezie na ọdịdị na-enweghị kọntaktị nke laser na-ebelata mmebi usoro, nrụgide okpomọkụ nke mpaghara okpomọkụ na-emetụta (HAZ) nwere ike imetụta ihe onwunwe nke wafer na-adịghị mma. Nkwalite ọzọ nke usoro dị mkpa iji belata mmetụta a.
Ntuziaka nkwalite teknụzụ
Iji dozie nsogbu ndị a, ndị na-eme nchọpụta na-elekwasị anya n'ịbelata ụgwọ ọrụ akụrụngwa, imeziwanye mbelata arụmọrụ, na ịkwalite usoro usoro.
• Lasers dị mma na sistemụ ngwa anya: Site n'ịmepụta lasers na-arụ ọrụ nke ọma na usoro ngwa anya dị elu, ọ ga-ekwe omume iwetu ọnụ ahịa akụrụngwa ka ọ na-eme ka ịbelata nkenke na ọsọ ọsọ.
• Na-ebuli usoro usoro: A na-eme nchọpụta miri emi banyere mmekọrịta dị n'etiti lasers na ihe wafer iji meziwanye usoro ndị na-ebelata mpaghara okpomọkụ na-emetụta, si otú ahụ na-eme ka mma dị mma.
• Sistemụ Njikwa ọgụgụ isi: The mmepe nke nwere ọgụgụ isi akara teknụzụ Aims ka akpaaka na ebuli laser ọnwụ usoro, mma ya kwụsie ike na agbanwe agbanwe.
Nkà na ụzụ ịcha laser na-arụ ọrụ nke ọma na wafers dị nro na ọnọdụ igbutu dị elu. Ka nha wafer na-abawanye na njupụta sekit na-ebili, ụzọ ịcha ihe ọdịnala ọdịnala na-agbasi mbọ ike imezu ihe achọrọ dị elu na ịdị elu nke nrụpụta semiconductor ọgbara ọhụrụ. N'ihi uru pụrụ iche ya, ịcha laser na-aghọ ihe ngwọta kachasị mma na mpaghara ndị a.
Ọ bụ ezie na teknụzụ ịcha laser ka na-eche nsogbu ndị dị ka ọnụ ahịa akụrụngwa dị elu na usoro mgbagwoju anya, uru ya pụrụ iche na nbibi dị elu na enweghị kọntaktị na-eme ka ọ bụrụ ntụziaka dị mkpa maka mmepe na nrụpụta semiconductor. Ka teknụzụ laser na sistemu njikwa ọgụgụ isi na-aga n'ihu, a na-atụ anya ịkpụ laser ga-eme ka arụmọrụ na ịdị mma wafer dịkwuo mma, na-eme ka mmepe na-aga n'ihu nke ụlọ ọrụ semiconductor.
2.3 Teknụzụ ịkpụ Plasma
Nkà na ụzụ ịkpụ Plasma, dị ka ụzọ wafer dicing na-apụta, enwetala nlebara anya dị ukwuu n'afọ ndị na-adịbeghị anya. Nkà na ụzụ a na-eji eriri plasma nwere ike dị elu na-egbutu wafers kpọmkwem site na ịchịkwa ike, ọsọ na ụzọ ịkpụ nke eriri plasma, na-enweta nsonaazụ kacha mma.
Ụkpụrụ ọrụ na uru
Usoro nke ịkpụ plasma na-adabere na okpomọkụ dị elu, ike dị elu na-emepụta site na akụrụngwa. Igwe ọkụ a nwere ike kpoo ihe wafer ahụ ka ọ gbazee ma ọ bụ ebe vaporization n'ime obere oge, na-enye ohere igbutu ngwa ngwa. E jiri ya tụnyere usoro ọdịnala ma ọ bụ ịkpụ laser, ịcha plasma na-adị ngwa ngwa ma na-emepụta obere mpaghara okpomọkụ na-emetụta, na-ebelata nke ọma ihe omume nke mgbawa na mmebi n'oge ịkpụ.
N'ime ngwa bara uru, teknụzụ ịbelata plasma na-aka nke ọma n'ijikwa wafer nwere ụdị dị mgbagwoju anya. Ike ya dị elu, eriri plasma nwere ike ịhazigharị ya nwere ike iji nkenke dị elu belata wafer na-adịghị emekarị. Ya mere, na microelectronics n'ichepụta, karịsịa na ahaziri na obere-batch mmepụta nke elu-ọgwụgwụ ibe, a nkà na ụzụ na-egosi oké nkwa maka zuru ebe nile.
Ihe ịma aka na oke
N'agbanyeghị ọtụtụ uru dị na teknụzụ ịkpụ plasma, ọ na-echekwa ihe ịma aka ụfọdụ ihu.
• Usoro mgbagwoju anya: Usoro ịkpụ plasma dị mgbagwoju anya ma na-achọ ngwá ọrụ dị elu na ndị ọrụ nwere ahụmahụ iji hụ naizi ezi na nkwụsi ike na ịkpụ.
• Njikwa gburugburu ebe obibi na nchekwa: Okpomọkụ dị elu, ike dị elu nke ikuku plasma chọrọ njikwa gburugburu ebe obibi siri ike na usoro nchekwa, nke na-eme ka mgbagwoju anya na ọnụ ahịa nke mmejuputa ya dịkwuo elu.
Ntuziaka mmepe n'ọdịnihu
Site na ọganihu teknụzụ, a na-atụ anya na a ga-eji nwayọọ nwayọọ merie ihe ịma aka ndị metụtara mbelata plasma. Site n'ịmepụta ngwa nchacha ma kwụsie ike karị, ịdabere na ọrụ ntuziaka nwere ike ibelata, si otú a na-emeziwanye nrụpụta mmepụta ihe. N'otu oge ahụ, njikarịcha usoro usoro na gburugburu ebe obibi ga-enyere aka belata ihe ize ndụ nchekwa na ụgwọ ọrụ.
N'ime ụlọ ọrụ semiconductor, ihe ọhụrụ na ịkpụ wafer na teknụzụ dicing dị oke mkpa maka ịkwalite mmepe ụlọ ọrụ ahụ. Nkà na ụzụ ịkpụ Plasma, nke nwere nzi ezi ya dị elu, ịrụ ọrụ ya, na ike ijikwa ụdị wafer dị mgbagwoju anya, apụtala dị ka onye ọkpụkpọ ọhụrụ dị ịrịba ama na mpaghara a. Ọ bụ ezie na ụfọdụ ihe ịma aka ka dị, a ga-eji nwayọọ nwayọọ dozie okwu ndị a site na iji teknụzụ na-aga n'ihu, na-eweta ohere na ohere ndị ọzọ na mmepụta semiconductor.
Atụmanya ngwa nke teknụzụ ịkpụ plasma buru ibu, a na-atụkwa anya na ọ ga-arụ ọrụ dị mkpa na nrụpụta semiconductor n'ọdịnihu. Site na teknụzụ teknụzụ na-aga n'ihu na njikarịcha, ịcha plasma agaghị akwụsị naanị ihe ịma aka ndị dị ugbu a kamakwa ọ ga-abụkwa onye na-anya ụgbọ ala siri ike na-eto eto ụlọ ọrụ semiconductor.
2.4 Ịcha mma na ihe na-emetụta
Ogo ịkpụ wafer dị oke mkpa maka nkwakọ ngwaahịa mgbawa na-esote, nnwale, yana arụmọrụ yana ntụkwasị obi nke ngwaahịa ikpeazụ. Okwu ndị a na-enwekarị ihu n'oge ịcha ihe gụnyere mgbawa, mgbawa, na igbupụ iche. Ọtụtụ ihe na-arụkọ ọrụ ọnụ na-emetụta nsogbu ndị a.
| Otu | Ọdịnaya | Mmetụta |
| Usoro Usoro | Mbelata ọsọ, ọnụego nri, na igbutu omimi na-emetụta nkwụsi ike na nhazi nke usoro ịkpụ. Ntọala na-ezighi ezi nwere ike iduga na mgbakasị ahụ na mpaghara oke okpomọkụ na-emetụta, na-ebute mgbawa na mgbawa. Ịmezi paramita n'ụzọ kwesịrị ekwesị dabere na ihe wafer, ọkpụrụkpụ, na ịcha ihe chọrọ bụ isi ihe iji nweta nsonaazụ ọnwụ achọrọ. | Usoro usoro ziri ezi na-eme ka ịbelata nke ọma ma belata ihe ize ndụ nke ntụpọ dị ka mgbawa na mgbawa. |
| Akụrụngwa na ihe ndị na-akpata | -Ogo agụba: Ihe eji eme ihe, ike siri ike, na iyi mgbochi nke agụba na-emetụta ịdị nro nke usoro ịkpụ ahụ na nkwụsị nke elu nke ịkpụ. Akara na-adịghị mma na-abawanye esemokwu na nrụgide okpomọkụ, nwere ike ibute mgbawa ma ọ bụ mgbawa. Ịhọrọ ihe agụba ziri ezi dị oke mkpa. -Arụmọrụ jụrụ oyi: Coolants na-enyere aka belata igbutu okpomọkụ, belata esemokwu, na ikpochapụ irighiri ihe. Igwe oyi na-adịghị arụ ọrụ nwere ike iduga oke okpomọkụ na mwepu ihe mkpofu, na-emetụta ịdị mma na ịrụ ọrụ nke ọma. Ịhọrọ ndị na-ekpo ọkụ na-arụ ọrụ nke ọma na gburugburu ebe obibi dị mkpa. | Ogo agụba na-emetụta izi ezi na ịdị nro nke ịkpụ. Igwe oyi na-adịghị arụ ọrụ nwere ike ịkpata àgwà na-adịghị mma na ịrụ ọrụ nke ọma, na-egosipụta mkpa ọ dị maka iji coolant kacha mma. |
| Njikwa Usoro na Nyocha Ogo | -Njikwa usoro: Nleba anya n'ezie na nhazi nke isi nkwụsị isi iji hụ na nkwụsi ike na nkwụsi ike na usoro ịkpụ. -Nyocha ogo: Nleba anya nlegharị anya mgbe emechara, nha nha, na nnwale arụmọrụ eletrik na-enyere aka ịchọpụta ma dozie okwu dị mma ngwa ngwa, na-emeziwanye ịkpụzi izizi na nkwụsi ike. | Ijikwa usoro kwesịrị ekwesị na nyocha ịdị mma na-enyere aka hụ na nsonaazụ mbelata dị elu na-agbanwe agbanwe na nchọpụta mmalite nke nsogbu ndị nwere ike ime. |
Na-emewanye mma ịkpụcha
Ịkwalite ịdị mma ịkpụ na-achọ ụzọ zuru oke nke na-eburu n'uche usoro usoro, ngwá ọrụ na nhọrọ ihe, njikwa usoro, na nyocha. Site n'ịkwalite teknụzụ ịkpụchasị oge niile na ụzọ usoro kachasị mma, enwere ike ịbawanye nkenke na nkwụsi ike nke ịkpụ wafer, na-enye nkwado teknụzụ ntụkwasị obi karịa maka ụlọ ọrụ nrụpụta semiconductor.
#03 Ijikwa na Nnwale Mgbubi Mbibi
3.1 ihicha na ihicha
Nzọụkwụ ihicha na ihicha mgbe ịchacha wafer dị oké mkpa maka ịhụ na mgbawa dị mma na ọganihu dị mma nke usoro ndị na-esote. N'oge usoro a, ọ dị mkpa iji kpochapụ ihe mkpofu silicon, ihe fọdụrụ na-ekpo ọkụ na ihe ndị ọzọ na-emerụ emerụ n'oge ịkpụ. Ọ dịkwa mkpa iji hụ na ibe adịghị emebi n'oge usoro nhicha, na mgbe ihicha, hụ na ọ dịghị mmiri na-anọgide na mgbawa n'elu iji gbochie okwu ndị dị ka corrosion ma ọ bụ electrostatic ikpughe.
Ijikwa Mgbucha Mgbochi: Usoro nhicha na ihicha
| Usoro Nzọụkwụ | Ọdịnaya | Mmetụta |
| Usoro nhicha | -Usoro: Jiri ndị ọrụ nhicha pụrụ iche na mmiri dị ọcha, jikọtara ya na ultrasonic ma ọ bụ usoro brushing maka nhicha. | Na-eme ka ịwepụ nke ọma nke ọma ma gbochie mmebi nke ibe n'oge nhicha. |
| -Nhọrọ ndị ọrụ nhicha: Họrọ dabere na ihe wafer na ụdị mmetọ iji hụ na ihicha nke ọma na-emebighị mgbawa. | Nhọrọ ndị nnọchi anya nke ọma bụ isi maka ihicha nke ọma na mgbawa mgbawa. | |
| -Njikwa oke: Jikwaa nke ọma ihicha okpomọkụ, oge, na ihicha ịta n'ihe ngwọta iji gbochie mma okwu kpatara ihicha adịghị mma. | Njikwa na-enyere aka izere imebi wafer ma ọ bụ hapụ ihe ndị na-emerụ emerụ, na-ahụ na ịdị mma na-agbanwe agbanwe. | |
| Usoro ịkpọ nkụ | -Ụzọ ọdịnala: ihicha ikuku eke na ikpo ọkụ na-ekpo ọkụ, nke na-arụ ọrụ dị ala ma nwee ike ibute ọkụ eletrik kwụ ọtọ. | Nwere ike bute oge ihicha nwayọ nwayọ yana nsogbu ndị nwere ike kwụ ọtọ. |
| -Teknụzụ ọgbara ọhụrụ: Jiri teknụzụ dị elu dị ka ihicha agụụ na ihicha infrared iji hụ na ibe ya akpọnwụọ ngwa ngwa wee zere mmetụta ọjọọ. | Usoro ihicha ngwa ngwa na ịrụ ọrụ nke ọma, na-ebelata ihe ize ndụ nke mwepu kwụ ọtọ ma ọ bụ okwu metụtara mmiri. | |
| Nhọrọ akụrụngwa & Nlekọta | -Nhọrọ akụrụngwa: Igwe nhicha na ihicha na-arụ ọrụ dị elu na-eme ka nhazi nhazi dị mma ma na-achịkwa nsogbu ndị nwere ike ime n'oge njikwa. | Igwe ndị dị elu na-eme ka nhazi dị mma ma belata ohere nke njehie n'oge ihicha na ihicha. |
| -Nlekọta akụrụngwa: Nyocha mgbe niile na mmezi nke akụrụngwa hụ na ọ na-anọgide na ọnọdụ ọrụ kachasị mma, na-ekwe nkwa ịdị mma mgbawa. | Nlekọta kwesịrị ekwesị na-egbochi ọdịda akụrụngwa, na-ahụ na nhazi nke a pụrụ ịdabere na ya na nke dị elu. |
Nchacha na ihicha mgbe emechara
Nzọụkwụ ihicha na ihicha mgbe ịchacha wafer bụ usoro dị mgbagwoju anya na nke siri ike nke chọrọ nlezianya nyochaa ọtụtụ ihe iji hụ na njedebe nhazi ikpeazụ. Site n'iji usoro sayensị na usoro siri ike, ọ ga-ekwe omume ịhụ na mgbawa ọ bụla na-abanye na nkwakọ ngwaahịa na nleba anya na-esote n'ọnọdụ kachasị mma.
Nlebanya na Nnwale Mgbuchapụ
| Nzọụkwụ | Ọdịnaya | Mmetụta |
| Nzọụkwụ nyocha | 1.Nyocha anya: Jiri ngwa nleba anya ma ọ bụ akpaaka iji lelee ntụpọ a na-ahụ anya dị ka mgbawa, mgbawa, ma ọ bụ mmetọ n'elu mgbawa. Chọpụta ngwa ngwa ibe ndị mebiri emebi ka ịzenarị ihe mkpofu. | Na-enyere aka n'ịchọpụta na ikpochapụ ibe ndị na-adịghị mma n'isi mmalite nke usoro ahụ, na-ebelata mfu ihe. |
| 2.Nha nha: Jiri ngwaọrụ nha nkenke iji tụọ akụkụ mgbawa n'ụzọ ziri ezi, na-ahụ na nha ịkpụ na-ezute nkọwa nhazi yana igbochi nsogbu arụmọrụ ma ọ bụ ihe isi ike nkwakọ ngwaahịa. | Gbaa mbọ hụ na ibe n'ime oke nha achọrọ, na-egbochi mmebi arụmọrụ ma ọ bụ nsogbu mgbakọ. | |
| 3.Nlele arụmọrụ eletrik: Nyochaa usoro eletriki isi dị ka nguzogide, ike, na inductance, iji chọpụta ibe ndị na-adịghị ekwenye ekwenye ma hụ na ọ bụ naanị ibe arụ ọrụ ruru eru na-aga n'ihu na ọkwa ọzọ. | Na-eme ka ọ bụrụ naanị ibe na-arụ ọrụ na arụ ọrụ nwalere na-aga n'ihu na usoro a, na-ebelata ihe ize ndụ nke ọdịda na ọkwa ndị ọzọ. | |
| Nnwale nzọụkwụ | 1.Nnwale arụrụ arụ: Nyochaa na ọrụ bụ isi nke mgbawa na-arụ ọrụ dị ka e zubere, na-achọpụta ma na-ewepụ ibe nwere nkwarụ arụ ọrụ. | Na-eme n'aka na ibe na-emezu ihe achọrọ arụ ọrụ tupu ha aga n'ihu na ọkwa ndị ọzọ. |
| 2.Nnwale ntụkwasị obiNyochaa nkwụsi ike nke mgbawa n'okpuru iji ogologo oge ma ọ bụ gburugburu ebe siri ike, na-agụnyekarị ịka nká dị elu, ule okpomọkụ dị ala, na nyocha iru mmiri iji mee ka ọnọdụ ụwa dị oke egwu. | Gbaa mbọ hụ na ibe nwere ike ịrụ ọrụ ntụkwasị obi n'okpuru ọnọdụ gburugburu ebe obibi, na-emezi ogologo ndụ ngwaahịa na nkwụsi ike. | |
| 3.Nnwale ndakọrịta: Nyochaa na mgbawa na-arụ ọrụ nke ọma na ihe ndị ọzọ ma ọ bụ sistemu, hụ na enweghị mmejọ ma ọ bụ mmebi arụmọrụ n'ihi enweghị ndakọrịta. | Na-eme ka arụ ọrụ dị nro na ngwa ụwa n'ezie site na igbochi nsogbu ndakọrịta. |
3.3 Nkwakọ ngwaahịa na Nchekwa
Mgbe mbelata wafer, ibe ndị ahụ bụ nsonaazụ dị mkpa nke usoro nrụpụta semiconductor, na nkwakọ ngwaahịa na ọkwa nchekwa ha dịkwa mkpa. Nkwakọ ngwaahịa kwesịrị ekwesị na usoro nchekwa dị mkpa ọ bụghị naanị maka ijide n'aka na nchekwa na nkwụsi ike nke ibe n'oge njem na nchekwa kamakwa maka inye nkwado siri ike maka mmepụta, ule, na nkwakọ ngwaahịa na-esote.
Nchịkọta nke Nleba na Nleba Ọkwa:
Usoro nyocha na nnwale maka ibe mgbe ịchacha wafer na-ekpuchi akụkụ dị iche iche, gụnyere nyocha anya, nha nha, nnwale arụmọrụ eletrik, nnwale ọrụ, nnwale ntụkwasị obi, na nnwale ndakọrịta. Usoro ndị a na-ejikọta ọnụ ma na-emekọ ihe ọnụ, na-eme ihe mgbochi siri ike iji hụ na ịdịmma ngwaahịa na ntụkwasị obi. Site na nyocha siri ike na usoro nyocha, enwere ike ịchọpụta ma dozie nsogbu ndị nwere ike ime ngwa ngwa, na-ahụ na ngwaahịa ikpeazụ na-emezu ihe ndị ahịa chọrọ na atụmanya.
| Akụkụ | Ọdịnaya |
| Nkwakọ ngwaahịa | 1.Anti-static: Ihe nkwakọ ngwaahịa kwesịrị inwe ezigbo ihe mgbochi static iji gbochie ọkụ eletrik dị iche iche imebi ngwaọrụ ma ọ bụ imetụta arụmọrụ ha. |
| 2.Ihe mkpuchi mmiri: Ihe nkwakọ ngwaahịa kwesịrị inwe ezigbo nguzogide mmiri iji gbochie mmebi na mmebi nke arụmọrụ eletrik nke iru mmiri kpatara. | |
| 3.Ihe mgbochi: Ihe nkwakọ ngwaahịa kwesịrị inye ihe nhụsianya dị irè iji chebe ibe site na ịma jijiji na mmetụta n'oge njem. | |
| Ebe nchekwa | 1.Njikwa iru mmiri: Jikwaa iru mmiri nke ọma n'ime oke kwesịrị ekwesị iji gbochie mmịnye mmiri na corrosion nke oke iru mmiri na-akpata ma ọ bụ okwu kwụ ọtọ nke iru mmiri dị ala kpatara. |
| 2.Ịdị ọcha: Debe ebe nchekwa dị ọcha iji zere mmetọ nke ibe site na uzuzu na adịghị ọcha. | |
| 3.Njikwa okpomọkụ: Tọọ ọnọdụ okpomọkụ nwere ezi uche ma jikwaa nkwụsi ike okpomọkụ iji gbochie ịka nká ngwa ngwa n'ihi oke okpomọkụ ma ọ bụ nsogbu condensation nke obere okpomọkụ kpatara. | |
| Nyocha mgbe niile | Na-enyocha ma na-enyocha ibe ndị echekwara mgbe niile, na-eji nyocha anya, nha nha, na ule arụmọrụ eletrik iji chọpụta na dozie nsogbu ndị nwere ike ime n'oge. Dabere na oge nchekwa na ọnọdụ, hazie ojiji nke ibe iji hụ na ejiri ya na ọnọdụ kacha mma. |
Okwu nke microcracks na mmebi n'oge usoro ịkụnye wafer bụ nnukwu ihe ịma aka n'ichepụta semiconductor. Mbelata nrụgide bụ isi ihe kpatara ihe a, ebe ọ na-emepụta obere mgbawa na mmebi n'elu wafer, na-eduga n'ịbawanye ụgwọ nrụpụta na mbelata nke ngwaahịa ngwaahịa.
Iji dozie ihe ịma aka a, ọ dị oke mkpa ibelata oke nrụgide yana mejuputa usoro, ngwaọrụ, na ọnọdụ kachasị mma. Nlebara anya nke ọma na ihe ndị dị ka ihe agụba, ịcha ọsọ, nrụgide, na ụzọ jụrụ oyi nwere ike inye aka belata nguzobe nke microcracks ma melite mkpokọta nke usoro ahụ. Na mgbakwunye, nyocha na-aga n'ihu n'ime teknụzụ ịcha ihe dị elu, dị ka laser dicing, na-enyocha ụzọ isi belata okwu ndị a.
Dị ka ihe na-esighị ike, wafers na-enwekarị mgbanwe n'ime ụlọ mgbe a na-etinye ya n'ọrụ, thermal, ma ọ bụ kemịkalụ, na-eduga na nhazi nke microcracks. Ọ bụ ezie na mgbape ndị a nwere ike ọ gaghị ahụ ozugbo, ha nwere ike gbasaa ma mee ka mmebi dị njọ karị ka usoro mmepụta ihe na-aga n'ihu. Okwu a na-enwe nsogbu karịsịa n'oge nkwakọ ngwaahịa na ule ule na-esote, ebe mgbanwe okpomọkụ na nrụgide ọrụ ọzọ nwere ike ime ka microcracks ndị a ghọọ ọkpụkpụ a na-ahụ anya, nke nwere ike ịkpata ọdịda mgbawa.
Iji belata ihe ize ndụ a, ọ dị mkpa iji nlezianya chịkwaa usoro ịkpụ ahụ site n'ịkwalite oke dị ka igbutu ọsọ, nrụgide, na okpomọkụ. Iji ụzọ igbutu obere ihe ike, dị ka ịgba ọkụ laser, nwere ike ibelata nrụgide n'ibu na wafer ma belata nguzobe nke microcracks. Na mgbakwunye, itinye usoro nyocha dị elu dị ka nyocha infrared ma ọ bụ onyonyo X-ray n'oge a na-egwu wafer nwere ike inye aka chọpụta mgbawa mmalite ndị a tupu ha emebie ọzọ.
Mmebi nke elu wafer bụ nchegbu dị ịrịba ama na usoro dicing, n'ihi na ọ nwere ike inwe mmetụta kpọmkwem na arụ ọrụ mgbawa na ntụkwasị obi. Enwere ike ịkpata mmebi dị otú ahụ site na iji ngwá ọrụ ịkpụ eme ihe n'ụzọ na-ezighị ezi, nkwụsị nke na-ezighị ezi, ma ọ bụ ntụpọ ihe dị n'ime wafer n'onwe ya. N'agbanyeghị ihe kpatara ya, mmebi ndị a nwere ike ime ka mgbanwe dị na nguzogide eletriki ma ọ bụ ikike nke sekit, na-emetụta arụmọrụ zuru ezu.
Iji dozie nsogbu ndị a, a na-enyocha atụmatụ abụọ dị mkpa:
1.Optimizing ịcha ngwá ọrụ na parameters: Site n'iji agụba dị nkọ, na-emezi ọsọ ọsọ, na imeziwanye ịdị omimi, enwere ike ibelata nrụgide nrụgide n'oge usoro ịkpụ, si otú a na-ebelata ohere nke mmebi.
2.Exploring ọhụrụ ịkpụ teknụzụ: Usoro dị elu dị ka ịcha laser na ịcha plasma na-enye nhazi nke ọma ebe enwere ike ibelata ọkwa mmebi nke mebiri na wafer. A na-amụ teknụzụ ndị a ka ịchọta ụzọ a ga-esi nweta izi ezi dị elu ma na-ebelata nrụgide okpomọkụ na n'ibu na wafer.
Mpaghara Mmetụta okpomọkụ na mmetụta ya na arụmọrụ
N'ime usoro ịkpụ ọkụ dị ka laser na ịcha plasma, oke okpomọkụ na-apụghị izere ezere na-emepụta mpaghara mmetụta okpomọkụ n'elu wafer. Mpaghara a, ebe gradient okpomọkụ dị ịrịba ama, nwere ike gbanwee njirimara nke ihe ahụ, na-emetụta arụmọrụ ikpeazụ nke mgbawa.
Mmetụta nke Mpaghara emetụtara okpomọkụ (TAZ):
Mgbanwe Ọdịdị kristal: N'okpuru okpomọkụ dị elu, atom ndị dị n'ime ihe wafer nwere ike ịhazigharị, na-akpata mgbagwoju anya na nhazi kristal. Mgbagha a na-ebelata ihe onwunwe, na-ebelata ike ọrụ ya na nkwụsi ike ya, nke na-abawanye ohere nke ọdịda mgbawa n'oge eji.
Mgbanwe na Njirimara Eletriki: Okpomọkụ dị elu nwere ike gbanwee ntinye na ngagharị nke onye na-ebu ya na ihe semiconductor, na-emetụta arụmọrụ eletriki mgbawa na arụmọrụ nnyefe ugbu a. Mgbanwe ndị a nwere ike ibute mbelata arụmọrụ mgbawa, nwere ike ime ka ọ ghara ịdị mma maka ebumnuche ya.
Iji belata mmetụta ndị a, ịchịkwa okpomọkụ n'oge ịcha, na-ebuli akụkụ nke ịkpụ, na ịgagharị ụzọ dị ka ụgbọ elu jụrụ oyi ma ọ bụ ọgwụgwọ na-aga n'ihu bụ usoro dị mkpa iji belata oke mmetụta okpomọkụ ma nọgide na-eguzosi ike n'ezi ihe.
N'ozuzu, ma microcracks na mpaghara mmetụta ọkụ bụ ihe ịma aka dị mkpa na teknụzụ wafer dicing. Nnyocha na-aga n'ihu, n'akụkụ ọganihu teknụzụ na usoro njikwa mma, ga-adị mkpa iji melite ogo ngwaahịa semiconductor na ịkwalite asọmpi ahịa ha.
Usoro iji jikwaa Mpaghara Mmetụta okpomọkụ:
Na-ebuli oke usoro ịkpụcha ihe: Mbelata mbelata ọsọ na ike nwere ike belata nke ọma nke mpaghara mmetụta thermal (TAZ). Nke a na-enyere aka ịchịkwa oke ọkụ na-emepụta n'oge usoro ịkpụ, nke na-emetụta kpọmkwem ihe onwunwe nke wafer.
Teknụzụ jụrụ oyi dị eluNgwa nke teknụzụ dị ka mmiri jụrụ oyi nitrogen na microfluidic jụrụ oyi nwere ike belata oke mpaghara mmetụta ọkụ. Ụzọ ndị a jụrụ oyi na-enyere aka ịgbasa okpomọkụ nke ọma, si otú a na-echekwa ihe onwunwe nke wafer na ibelata mmebi ọkụ.
Nhọrọ ihe: Ndị na-eme nchọpụta na-enyocha ihe ọhụrụ, dị ka carbon nanotubes na graphene, bụ ndị nwere ezigbo okpomọkụ na ike ígwè. Ihe ndị a nwere ike ibelata mpaghara mmetụta okpomọkụ ka ọ na-emeziwanye arụmọrụ nke ibe.
Na nchịkọta, ọ bụ ezie na mpaghara mmetụta okpomọkụ bụ ihe a na-apụghị izere ezere nke teknụzụ ịkpụ ọkụ, enwere ike ịchịkwa ya nke ọma site na nhazi nhazi kachasị na nhọrọ ihe. Nchọpụta ga-eme n'ọdịnihu ga-elekwasị anya na nhazi nke ọma na imezi usoro igbutu ọkụ iji rụpụta nke ọma na nke ọma wafer dicing.
Atụmatụ nguzozi:
Inweta nguzozi kachasị mma n'etiti mkpụrụ wafer na nrụpụta ọrụ bụ ihe ịma aka na-aga n'ihu na teknụzụ ịkụ egwu wafer. Ndị na-emepụta ihe kwesịrị ịtụle ọtụtụ ihe, dị ka ọchịchọ ahịa, ọnụ ahịa mmepụta, na àgwà ngwaahịa, iji zụlite usoro mmepụta ezi uche na usoro nhazi. N'otu oge ahụ, iwebata akụrụngwa ịcha ihe dị elu, ịkwalite nkà ndị ọrụ, na ịkwalite njikwa mma akụrụngwa dị mkpa iji nọgide na-enwe ma ọ bụ ọbụna na-emeziwanye mkpụrụ ma na-abawanye nrụpụta mmepụta ihe.
Ihe ịma aka na ohere dị n'ọdịnihu:
Site na ọganihu nke teknụzụ semiconductor, ịcha wafer na-eche ihe ịma aka na ohere ọhụrụ ihu. Ka nha mgbawa na-ebelata na ntinye aka na-abawanye, ihe a na-achọ maka igbutu nkenke na ịdịmma na-eto nke ukwuu. N'otu oge ahụ, teknụzụ na-apụta na-enye echiche ọhụrụ maka mmepe nke usoro ịkpụ wafer. Ndị na-emepụta ihe ga-anọgide na-adaba na mgbanwe ahịa na usoro teknụzụ, na-aga n'ihu na-edozi ma na-ebuli atụmatụ mmepụta na usoro nhazi iji gboo mgbanwe ahịa na ihe teknụzụ chọrọ.
N'ikpeazụ, site na ijikọta echiche nke ọchịchọ ahịa, ọnụ ahịa mmepụta, na àgwà ngwaahịa, yana site na ịmepụta ngwá ọrụ na nkà na ụzụ dị elu, ịkwalite nkà ndị ọrụ na ime ka njikwa akụrụngwa sie ike, ndị na-emepụta nwere ike nweta nguzozi kachasị mma n'etiti mkpụrụ wafer na mmepụta mmepụta n'oge dicing wafer. , na-eduga na mmepụta ngwaahịa semiconductor dị mma na nke dị elu.
Echiche Ọdịnihu:
Site na ọganihu teknụzụ ngwa ngwa, teknụzụ semiconductor na-aga n'ihu n'ọ̀tụ̀tụ̀ a na-enwetụbeghị ụdị ya. Dịka nzọụkwụ dị oke egwu na nrụpụta semiconductor, teknụzụ ịcha wafer adịla njikere maka mmepe ọhụrụ na-atọ ụtọ. N'ile anya n'ihu, a na-atụ anya na teknụzụ ịkpụ wafer ga-enweta nkwalite dị ukwuu na nkenke, arụmọrụ na ọnụ ahịa, na-etinye ume ọhụrụ n'ime uto nke ụlọ ọrụ semiconductor.
Na-abawanye nkenke:
N'ịchụso nkenke dị elu, teknụzụ ịcha wafer ga-aga n'ihu na-agbanye oke nke usoro ndị dị adị. Site n'inyocha usoro anụ ahụ na kemịkalụ nke usoro igbutu na ịchịkwa oke igbutu, a ga-enweta nsonaazụ kacha mma iji zute ihe ndị chọrọ imewe sekit na-esiwanye ike. Na mgbakwunye, nyocha nke ihe ọhụrụ na ụzọ ịkpụ ga-eme ka mkpụrụ na ịdị mma dịkwuo mma.
Na-akwalite arụmọrụ:
Ngwa ọhụrụ wafer ga-elekwasị anya n'ichepụta smart na akpaaka. Iwebata usoro nchịkwa dị elu na algọridim ga-enyere akụrụngwa aka ịhazigharị ịkpụcha ihe na-akpaghị aka iji nabata ihe dị iche iche na ihe a chọrọ, si otú a na-emeziwanye nrụpụta mmepụta ihe. Ihe ọhụrụ dị ka teknụzụ ịkpụ ọtụtụ wafer na sistemụ nnọchi ngwa ngwa ga-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ịkwalite arụmọrụ.
Mbelata ọnụ ahịa:
Mbelata ọnụ ahịa bụ isi ntụziaka maka mmepe nke teknụzụ ịkpụ wafer. Ka a na-emepụta ihe ọhụrụ na ụzọ ịcha ihe, a na-atụ anya na a ga-achịkwa ọnụ ahịa akụrụngwa na mmefu mmezi nke ọma. Na mgbakwunye, ịkwalite usoro mmepụta na ibelata ọnụ ahịa ihe mkpofu ga-ebelata ihe mkpofu n'oge nrụpụta, na-eduga n'ibelata ọnụ ahịa mmepụta ihe.
Nrụpụta Smart na IoT:
Njikọ nke nrụpụta smart na teknụzụ ịntanetị nke ihe (IoT) ga-eweta mgbanwe mgbanwe na teknụzụ ịcha wafer. Site interconnectivity na data nkesa n'etiti ngwaọrụ, ọ bụla nzọụkwụ nke mmepụta usoro nwere ike nyochaa na kacha na ozugbo. Ọ bụghị naanị na nke a na-eme ka nrụpụta mmepụta na ịdịmma ngwaahịa dị mma kamakwa ọ na-enyekwa ụlọ ọrụ nwere amụma amụma ahịa ziri ezi na nkwado ime mkpebi.
N'ọdịnihu, teknụzụ ịkpụ wafer ga-enwe ọganihu dị ịrịba ama na nkenke, arụmọrụ na ọnụ ahịa. Ọganihu ndị a ga-eme ka mmepe nke ụlọ ọrụ semiconductor na-aga n'ihu ma weta ọtụtụ teknụzụ na ihe dị mma na ọha mmadụ.
Oge nzipu: Nov-19-2024