Ịzụlite oyi akwa ọzọ nke atọm silicon na mkpụrụ silicon wafer nwere ọtụtụ uru:
N'ime usoro silicon CMOS, uto epitaxial (EPI) na substrate wafer bụ usoro dị oke mkpa.
1, Ime ka mma kristal dịkwuo mma
Mkpọmkpọ na ihe ndị na-adịghị ọcha nke mbụ: N'oge mmepụta ihe, ihe ndị na-adịghị ọcha nke wafer nwere ike inwe ụfọdụ ntụpọ na ihe ndị na-adịghị ọcha. Mmụba nke oyi akwa epitaxial nwere ike imepụta oyi akwa silicon monocrystalline dị elu nke nwere obere ntụpọ na ihe ndị na-adịghị ọcha na ihe ndị na-adịghị ọcha na ihe ndị na-adịghị ọcha, nke dị oke mkpa maka imepụta ngwaọrụ na-esote.
Nhazi kristal otu: Mmụba epitaxial na-eme ka usoro kristal ahụ dịkwuo otu, na-ebelata mmetụta nke ókèala ọka na ntụpọ na ihe mejupụtara ya, si otú a na-eme ka ịdị mma kristal nke wafer ahụ ka mma.
2, melite arụmọrụ eletriki.
Ịhazi njirimara ngwaọrụ: Site n'ịkụnye oyi akwa epitaxial n'elu ihe nkwado ahụ, enwere ike ijikwa ntinye doping na ụdị silicon nke ọma, na-eme ka arụmọrụ eletriki nke ngwaọrụ ahụ ka mma. Dịka ọmụmaatụ, enwere ike ịhazi doping nke oyi akwa epitaxial nke ọma iji chịkwaa voltaji njedebe nke MOSFETs na paramita eletriki ndị ọzọ.
Mbelata mmiri na-agbapụta: Akwa epitaxial dị elu nwere obere ntụpọ, nke na-enyere aka belata mmiri na-agbapụta na ngwaọrụ, si otú a na-eme ka arụmọrụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ dịkwuo mma.
3, melite arụmọrụ eletriki.
Mbelata Nha Atụmatụ: N'ime obere oghere usoro (dịka 7nm, 5nm), nha atụmatụ nke ngwaọrụ na-aga n'ihu na-ebelata, na-achọ ihe ndị ka mma ma dị elu. Teknụzụ uto Epitaxial nwere ike imezu ihe ndị a chọrọ, na-akwado imepụta sekit agbakwunyere arụmọrụ dị elu na nke dị elu.
Ime ka voltaji mmebi dịkwuo mma: Enwere ike imepụta oyi akwa epitaxial site na iji voltaji mmebi dị elu, nke dị oke mkpa maka imepụta ngwaọrụ ike dị elu na voltaji dị elu. Dịka ọmụmaatụ, na ngwaọrụ ike, oyi akwa epitaxial nwere ike ime ka voltaji mmebi nke ngwaọrụ ahụ ka mma, na-eme ka oke ọrụ dị nchebe dịkwuo elu.
4, Ndakọrịta Usoro na Nhazi Ọtụtụ Oyi akwa
Nhazi Ọtụtụ Oyiyi: Teknụzụ uto Epitaxial na-enye ohere maka uto nke nhazi ọtụtụ oyiyi na substrates, yana akwa dị iche iche nwere oke na ụdị doping dị iche iche. Nke a bara uru nke ukwuu maka imepụta ngwaọrụ CMOS dị mgbagwoju anya ma mee ka njikọta akụkụ atọ dị.
Ndakọrịta: Usoro uto epitaxial dakọtara nke ọma na usoro nrụpụta CMOS dị ugbu a, na-eme ka ọ dị mfe itinye aka na usoro nrụpụta dị ugbu a na-enweghị mkpa maka mgbanwe dị ukwuu na usoro usoro.
Nchịkọta: Itinye uto epitaxial n'ọrụ na usoro silicon CMOS bụ isi ihe mgbaru ọsọ bụ ịkwalite ịdị mma kristal wafer, ime ka arụmọrụ eletriki ngwaọrụ ka mma, ịkwado oghere usoro dị elu, na imezu ihe achọrọ nke nrụpụta sekit agbakwunyere arụmọrụ dị elu na nke dị elu. Teknụzụ uto Epitaxial na-enye ohere maka njikwa ziri ezi nke doping na nhazi ihe, na-eme ka arụmọrụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ dịkwuo mma.
Oge ozi: Ọktoba-16-2024