Ịzụlite oyi akwa ọzọ nke atom silicon na mkpụrụ osisi silicon wafer nwere ọtụtụ uru:
Na usoro silicon CMOS, uto epitaxial (EPI) na mkpụrụ wafer bụ usoro dị oke mkpa.
1. Mma kristal àgwà
Nrụrụ mkpụrụ mbụ na adịghị ọcha: N'oge a na-emepụta ihe, mkpụrụ osisi wafer nwere ike ịnwe ụfọdụ ntụpọ na adịghị ọcha. Uto nke oyi akwa epitaxial nwere ike iwepụta akwa silicon monocrystalline dị elu nke nwere obere ntụpọ na adịghị ọcha na mkpụrụ, nke dị mkpa maka ịmepụta ngwaọrụ na-esote.
Ọdịdị kristal na-enweghị atụ: uto epitaxial na-eme ka usoro kristal dị otu, na-ebelata mmetụta nke oke ọka na ntụpọ dị na mkpụrụ osisi, si otú a na-emeziwanye ogo kristal zuru oke nke wafer.
2, melite eletrik arụ ọrụ.
Na-eme ka njirimara ngwaọrụ dị mma: Site na itolite oyi akwa epitaxial na mkpụrụ, enwere ike ịchịkwa itinye uche doping na ụdị silicon, na-ebuli arụmọrụ eletriki nke ngwaọrụ ahụ. Dịka ọmụmaatụ, enwere ike ịhazi doping nke oyi akwa epitaxial nke ọma iji chịkwaa voltaji ọnụ nke MOSFET na paramita eletriki ndị ọzọ.
Mbelata ntapu nke ugbu a: akwa epitaxial dị elu nwere njupụta ntụpọ dị ala, nke na-enyere aka belata ntapu ugbu a na ngwaọrụ, si otú a na-emeziwanye arụmọrụ ngwaọrụ na ntụkwasị obi.
3, melite eletrik arụ ọrụ.
Mbelata nha njirimara: N'ime obere usoro ọnụ (dị ka 7nm, 5nm), nha njirimara ngwaọrụ na-aga n'ihu na-adalata, na-achọ ihe ndị a nụchara anụcha na nke dị elu. Nkà na ụzụ uto Epitaxial nwere ike izute ihe ndị a, na-akwado imepụta sekit agbakwunyere arụmọrụ dị elu na njupụta dị elu.
Ịkwalite Voltage Nbibi: Enwere ike ịmepụta akwa Epitaxial na voltaji ndakpọ dị elu, nke dị oke mkpa maka ịmepụta ngwaọrụ dị elu na voltaji dị elu. Dịka ọmụmaatụ, na ngwaọrụ ọkụ, akwa epitaxial nwere ike imeziwanye voltaji mmebi ngwaọrụ ahụ, na-abawanye oke ọrụ nchekwa.
4, Usoro ndakọrịta na Multilayer Structures
Structures Multilayer: Teknụzụ uto Epitaxial na-enye ohere maka uto nke ihe owuwu multilayer na mkpụrụ, nwere ọkwa dị iche iche nwere mkpokọta doping na ụdị dị iche iche. Nke a bara uru nke ukwuu maka imepụta ngwaọrụ CMOS dị mgbagwoju anya ma na-enyere njikọta akụkụ atọ aka.
Ndakọrịta: Usoro uto epitaxial dabara nke ọma na usoro nrụpụta CMOS dị ugbu a, na-eme ka ọ dị mfe itinye n'ime usoro nrụpụta ọrụ ugbu a na-enweghị mkpa mgbanwe dị ukwuu na ahịrị usoro.
Nchịkọta: Ngwa nke uto epitaxial na usoro silicon CMOS bụ isi bu n'obi ịkwalite mma kristal wafer, bulie arụmọrụ eletriki ngwaọrụ, kwado ọnụ usoro dị elu, yana izute ihe achọrọ nke nrụpụta sekit agbakwunyere dị elu na njupụta dị elu. Nkà na ụzụ uto Epitaxial na-enye ohere maka njikwa kpọmkwem nke doping na nhazi ihe, na-eme ka arụmọrụ zuru oke na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ.
Oge nzipu: Ọktoba 16-2024