nkeNdekọ ndekọ
1. Echiche na Usoro Isi
2. Usoro Nha
3. Nhazi na Njehie Data
4. Mmetụta nke usoro
N'imepụta semiconductor, nha nhata ọkpụrụkpụ na ịdị larịị nke wafers bụ ihe dị mkpa na-emetụta mmepụta usoro. Isi ihe dị mkpa dịka Mgbanwe Oke Ọkpụrụkpụ (TTV), Bow (arcuate warpage), Warp (warpage zuru ụwa ọnụ), na Microwarp (nano-topography) na-emetụta kpọmkwem nkenke na nkwụsi ike nke usoro isi dịka photolithography focus, chemical mechanical polishing (CMP), na thin-film deposition.
Echiche na Metrics Isi
TTV (Mkpokọta ọkpụrụkpụ)
TTV na-ezo aka na ọdịiche kachasị n'ọkpụrụkpụ n'ofe elu wafer dum n'ime mpaghara nha akọwapụtara Ω (na-ewepụkarị mpaghara mwepụ akụkụ na mpaghara dị nso na oghere ma ọ bụ flat). N'ihe gbasara mgbakọ na mwepụ, TTV = max(t(x,y)) – min(t(x,y)). Ọ na-elekwasị anya na nha nha ọkpụrụkpụ nke ihe mkpuchi wafer, nke dị iche na nha anya elu ma ọ bụ nha nha nke ihe nkiri dị gịrịgịrị.
Ụta Ụta na-akọwa ntụgharị kwụ ọtọ nke ebe etiti wafer site na oghere ntụaka dabara na obere akụkụ anọ. Ụkpụrụ dị mma ma ọ bụ na-adịghị mma na-egosi mgbagọ zuru ụwa ọnụ elu ma ọ bụ ala.
Warp
Warp na-enyocha ọdịiche kachasị elu site na ndagwurugwu ruo na elu niile dị n'elu ma e jiri ya tụnyere ebe ntụaka, na-enyocha ịdị larịị nke wafer n'ozuzu ya na ọnọdụ nnwere onwe.
Ngwa ngwa Microwarp
Microwarp (ma ọ bụ nanotopography) na-enyocha obere elu-undulations n'ime oke ogologo oghere (dịka ọmụmaatụ, 0.5–20 mm). N'agbanyeghị obere oke, mgbanwe ndị a na-emetụta omimi nke lekwasị anya (DOF) na nha anya CMP nke ukwuu.
nke
Usoro ntụaka nha
A na-agbakọ usoro nha niile site na iji usoro nhazi geometric, nke na-abụkarị usoro nhazi nke nwere obere square (LSQ plane). Nha ọkpụrụkpụ chọrọ nhazi nke data elu n'ihu na azụ site na nsọtụ wafer, notches, ma ọ bụ akara nhazi. Nyocha Microwarp gụnyere nzacha oghere iji wepụta ihe ndị dị mkpa maka ogologo ebili mmiri.
Usoro Ntụle
1. Ụzọ Nha TTV
- Profilometry elu abụọ
- Njikọta Fizeau:Ọ na-eji akụkụ dị n'etiti oghere ntụaka na elu wafer. Ọ dị mma maka elu dị ire ụtọ mana nnukwu wafers nwere oke.
- Interferometry Nyocha Ọcha (SWLI):Ọ na-eji envelopu ọkụ dị ala tụọ elu zuru oke. Ọ dị irè maka elu ndị dị ka nzọụkwụ mana ọsọ nyocha igwe na-egbochi ya.
- Ụzọ Ndị Na-emegiderịta Onwe Ha:Nweta mkpebi sub-micron site na pinhole ma ọ bụ ụkpụrụ mgbasa. Ọ dị mma maka elu siri ike ma ọ bụ nke na-enweghị ntụgharị mana ọ na-adị nwayọ n'ihi nyocha isi-site-isi.
- Usoro nhazi laser:Nzaghachi ngwa ngwa mana ọ na-adịkarị mfe ịlafu izi ezi site na mgbanwe ntụgharị elu.
- Njikọ Nnyefe/Ntụgharị Uche
- Mmetụta Ike Isi Abụọ: Ntinye ihe mmetụta n'akụkụ abụọ ahụ na-atụ ọkpụrụkpụ dịka T = L – d₁ – d₂ (L = anya mmalite). Ngwa ngwa mana ọ na-emetụta ihe ndị dị na ya.
- Ellipsometry/Spectroscopic Reflectometry: Na-enyocha mmekọrịta dị n'etiti ihe dị n'ìhè na ihe dị n'ime ya maka ọkpụrụkpụ ihe nkiri dị gịrịgịrị mana ọ dịghị mma maka nnukwu TTV.
2. Nha ụta na mgbagharị
- Nchịkọta Ike Nnyocha Dị Iche Iche: Jide data dị elu n'elu ubi zuru oke n'elu ikpo okwu ikuku maka nhazigharị 3D ngwa ngwa.
- Atụmatụ Ìhè E Ji Arụzi: Nhazi profaịlụ 3D dị elu site na iji nhazi anya.
- Interferometry dị ala-NA: Nhazi elu nwere mkpebi dị elu mana ọ na-emetụta ịma jijiji.
3. Nha Microwarp
- Nnyocha Ugboro Oghere:
- Nweta ọdịdị ala dị elu nke nwere mkpebi dị elu.
- Gbakọọ njupụta spectral ike (PSD) site na 2D FFT.
- Tinye ihe nzacha bandpass (dịka ọmụmaatụ, 0.5–20 mm) iji chọpụta ogologo ebili mmiri dị mkpa.
- Gbakọọ uru RMS ma ọ bụ PV site na data nzacha.
- Mmegharị Vacuum Chuck:Mmetụta dị egwu nke ijide ihe n'oge lithography.
Isi mmalite nhazi data na njehie
Ịhazi usoro ọrụ
- TV:Hazie nhazi ihu na azụ, gbakọọ ọdịiche ọkpụrụkpụ, ma wepụ njehie sistemụ (dịka ọmụmaatụ, ntụgharị okpomọkụ).
- nkeỤta/Mgbawa:Debe LSQ plane ka ọ dị elu; Ụta = ihe fọdụrụ n'etiti ebe, Warp = ihe fọdụrụ n'elu ruo na ndagwurugwu.
- nkeNgwa ngwa Microwap:Nyochaa ugboro ole oghere dị, gbakọọ ọnụ ọgụgụ (RMS/PV).
Isi mmalite njehie isi
- Ihe Ndị Gbasara Gburugburu Ebe Obibi:Ịma jijiji (dị oke mkpa maka interferometry), ọgba aghara ikuku, mmụba okpomọkụ.
- Mmachi Sensọ:Mkpọtụ nke usoro (interferometry), njehie nhazi ebili mmiri (confocal), nzaghachi dabere na ihe (capacitance).
- Ijikwa Wafer:Mwepụ akụkụ adịghị mma, enweghị nhazi ọkwa mmegharị na akwa akwa.
Mmetụta na Mkpa Usoro
- Litography:Ngwa ngwa microwarp mpaghara na-ebelata DOF, na-akpata mgbanwe CD na njehie mkpuchi.
- CMP:Nha nhata TTV mbụ na-ebute nrụgide na-adịghị otu.
- Nnyocha Nchekasị:Mgbanwe Bow/Warp na-ekpughe omume nrụgide okpomọkụ/usoro.
- Nkwakọ ngwaahịa:Oke TTV na-emepụta oghere dị n'ime njikọ njikọ.
Wafer Sapphire nke XKH
Oge ozi: Sep-28-2025