Teknụzụ nhicha Wafer na Mmepụta Semiconductor

Teknụzụ nhicha Wafer na Mmepụta Semiconductor

Nhicha Wafer bụ nzọụkwụ dị oke mkpa n'oge mmepụta semiconductor dum, ọ bụkwa otu n'ime ihe ndị dị mkpa na-emetụta arụmọrụ ngwaọrụ na mmepụta mmepụta ozugbo. N'oge nrụpụta chip, ọbụlagodi obere mmetọ nwere ike imebi njirimara ngwaọrụ ma ọ bụ kpatara ọdịda kpamkpam. N'ihi ya, a na-etinye usoro nhicha tupu na mgbe ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ usoro nrụpụta ọ bụla iji wepụ ihe ndị na-emerụ elu ma hụ na a na-ehicha wafer. Nhicha bụkwa ọrụ a na-emekarị na mmepụta semiconductor, na-aza maka ihe dị ka nkeji iri na ise.Pasentị iri atọ nke usoro niile.

Site na mmụba na-aga n'ihu nke njikọta nnukwu nha (VLSI), nodes usoro amụbaala ruo na28 nm, 14 nm, na karịa, na-eme ka njupụta ngwaọrụ dị elu, obosara ahịrị dị warara, na usoro usoro dị mgbagwoju anya na-esiwanye ike. Nọdụ ndị dị elu na-enwe mmetụta dị ukwuu na mmetọ, ebe obere nha atụmatụ na-eme ka nhicha sie ike karị. N'ihi ya, ọnụọgụ nke usoro nhicha na-aga n'ihu na-arị elu, nhicha aghọọla ihe siri ike karị, dị oke mkpa, ma sie ike karị. Dịka ọmụmaatụ, chip 90 nm na-achọkarị ihe dị kaNzọụkwụ nhicha 90ebe mgbawa 20nm chọrọ gburugburuNzọụkwụ nhicha 215Ka mmepụta ihe na-aga n'ihu ruo 14 nm, 10 nm, na obere oghere, ọnụọgụ ọrụ nhicha ga-anọgide na-abawanye.

N'eziokwu,Nhicha wafer na-ezo aka na usoro ndị na-eji ọgwụgwọ kemịkalụ, gas, ma ọ bụ ụzọ anụ ahụ iji wepụ ihe na-adịghị ọcha n'elu wafer ahụIhe ndị dị ka ihe ndị dị n'ime ya, ígwè, ihe ndị dị n'ime ya, na ihe ndị dị n'ime ya nwere ike imetụta arụmọrụ ngwaọrụ, ntụkwasị obi, na mmepụta ya n'ụzọ na-adịghị mma. Nhicha na-arụ ọrụ dị ka "akwa" n'etiti usoro mmepụta ihe n'usoro - dịka ọmụmaatụ, tupu e tinye ihe n'ime ya na lithography, ma ọ bụ mgbe e gbuchara ya, CMP (mkpụcha kemịkalụ), na itinye ion. N'ozuzu, enwere ike kewaa nhicha wafer n'imenhicha mmirinanhicha akọrọ.

Ịsacha Mmiri

Nhicha mmiri na-eji ihe mgbaze kemịkalụ ma ọ bụ mmiri e mere ka ọ dị ọcha (DIW) hichaa wafers. E ji ụzọ abụọ dị mkpa eme ihe:

• Usoro mikpuo: a na-emikpu wafers n'ime tankị jupụtara na ihe mgbaze ma ọ bụ DIW. Nke a bụ ụzọ a na-ejikarị eme ihe, ọkachasị maka oghere teknụzụ ndị toro eto.

• Usoro ịgbasa: a na-efesa ihe mgbaze ma ọ bụ DIW n'elu wafer ndị na-agbagharị agbagharị iji wepụ ihe ndị na-adịghị mma. Ọ bụ ezie na imikpu na mmiri na-enye ohere ịhazi ọtụtụ wafers n'otu oge, nhicha mmiri na-ejikwa naanị otu wafer n'otu ụlọ mana ọ na-enye njikwa ka mma, na-eme ka ọ na-abụkarị ihe a na-ahụkarị na nodes ndị dị elu.

Ịsacha Akọrọ

Dịka aha ya si kwuo, nhicha akọrọ na-ezere ihe mgbaze ma ọ bụ DIW, kama iji gas ma ọ bụ plasma wepụ ihe ndị na-emerụ emerụ. Site na mbọ iji ruo n'ọkwa dị elu, nhicha akọrọ na-abawanye mkpa n'ihi yankọwa zuru okena irè megide ihe ndị dị ndụ, nitrides, na oxides. Agbanyeghị, ọ chọrọitinye ego na akụrụngwa dị elu, ọrụ dị mgbagwoju anya karị, na njikwa usoro siri ikeUru ọzọ bụ na ihicha nkụ na-ebelata oke mmiri mkpofu nke usoro mmiri na-emepụta.

Usoro Nhicha Mmiri A Na-ahụkarị

1. Nhicha DIW (Mmiri e ji ewepụ ihe)

DIW bụ ihe nhicha kachasị eji eme ihe n'ịsacha mmiri mmiri. N'adịghị ka mmiri a na-anaghị agwọ, DIW enweghị ihe ọ bụla na-eduzi ya, na-egbochi nchara, mmeghachi omume electrochemical, ma ọ bụ mmebi ngwaọrụ. A na-ejikarị DIW eme ihe n'ụzọ abụọ:

1. Nhicha elu wafer kpọmkwem– A na-emekarị ya n'ụdị otu wafer site na iji rollers, brushes, ma ọ bụ ihe mkpuchi mmiri n'oge ntụgharị wafer. Ihe ịma aka bụ mmụba chaja electrostatic, nke nwere ike ibute ntụpọ. Iji belata nke a, a na-agbaze CO₂ (na mgbe ụfọdụ NH₃) n'ime DIW iji melite njikwa ike na-enweghị imebi wafer ahụ.

2. Ịsacha mgbe e sachara kemịkalụ– DIW na-ewepụ ihe nhicha fọdụrụnụ nke nwere ike imebi wafer ahụ ma ọ bụ mebie arụmọrụ ngwaọrụ ma ọ bụrụ na ahapụ ya n'elu.

2. Nhicha HF (Hydrofluoric Acid)

HF bụ kemịkalụ kachasị dị irè maka iwepụoyi akwa oxide nke ala (SiO₂)na wafer silicon ma ọ bụ nke abụọ karịa DIW n'ihe dị mkpa. Ọ na-agbazekwa ọla ndị ejikọtara ma na-egbochi re-oxidation. Agbanyeghị, HF etching nwere ike ime ka elu wafer dị nro ma wakpo ụfọdụ ọla n'ụzọ na-adịghị mma. Iji dozie nsogbu ndị a, ụzọ ndị ka mma na-ebelata HF, tinye oxidizers, surfactants, ma ọ bụ ihe ndị na-eme ka ihe dị mgbagwoju anya dịkwuo mma iji mee ka nhọrọ dịkwuo mma ma belata mmetọ.

3. Nhicha SC1 (Nhicha ọkọlọtọ 1: NH₄OH + H₂O₂ + H₂O)

SC1 bụ ụzọ dị ọnụ ala ma dị irè nke ukwuu maka iwepụihe fọdụrụnụ, ihe ndị dị ndụ, na ụfọdụ ọlaUsoro a na-ejikọta mmetụta oxidizing nke H₂O₂ na mmetụta mgbaze nke NH₄OH. Ọ na-achụpụkwa ihe ndị dị n'ime ya site na ike electrostatic, enyemaka ultrasonic/megasonic na-emekwa ka arụmọrụ ka mma. Agbanyeghị, SC1 nwere ike ime ka elu wafer dị nro, na-achọ ka e jiri nlezianya hazie oke kemịkalụ, njikwa nrụgide elu (site na surfactants), na ihe ndị na-eme ka ihe dị n'ime ya ghara ịdị irè iji gbochie mgbanwe ígwè.

4. Nhicha SC2 (Nhicha ọkọlọtọ 2: HCl + H₂O₂ + H₂O)

SC2 na-emeju SC1 site na iwepụihe ndị na-emerụ emerụ ígwèIke siri ike nke ịgbaze ihe na-eme ka ọla ndị e tinyere n'ọkụ ghọọ nnu ma ọ bụ ihe mgbagwoju anya, nke a na-asacha. Ọ bụ ezie na SC1 dị irè maka ihe ndị dị ndụ na ihe ndị na-adịghị mma, SC2 bara uru karịsịa maka igbochi mmịpụta ígwè na ijide n'aka na mmetọ ígwè adịghị ala.

5. Nhicha O₃ (Ozone)

A na-ejikarị nhicha ozone eme ihe makaiwepụ ihe ndị dị ndụnaọgwụ nje DIWO₃ na-arụ ọrụ dị ka ihe na-eme ka oxidant sie ike, mana ọ nwere ike ibute mwepụ ọzọ, yabụ a na-ejikọkarị ya na HF. Nhazi okpomọkụ dị oke mkpa ebe ọ bụ na mmiri na-agbaze na mmiri na-ebelata na okpomọkụ dị elu. N'adịghị ka ihe ndị na-egbu nje nke dabeere na chlorine (anaghị anabata na semiconductor fabs), O₃ na-agbaze ka ọ bụrụ oxygen na-enweghị imebi sistemụ DIW.

6. Nhicha ihe mgbaze organic

N'ime usoro pụrụ iche ụfọdụ, a na-eji ihe mgbaze organic eme ihe ebe ụzọ nhicha ọkọlọtọ ezughị ezu ma ọ bụ na-adịghị mma (dịka ọmụmaatụ, mgbe a ga-ezere ịmepụta oxide).

Mmechi

Ịsacha Wafer bụnzọụkwụ a na-emekarị ugboro ugborona mmepụta semiconductor ma na-emetụta mmepụta na ntụkwasị obi ngwaọrụ ozugbo.Wafers buru ibu na obere geometry ngwaọrụ, ihe achọrọ maka ịdị ọcha elu wafer, ọnọdụ kemịkalụ, ịdị nro, na ọkpụrụkpụ oxide na-aghọwanye ihe siri ike.

Edemede a tụlere ma teknụzụ nhicha wafer tozuru oke ma nke dị elu, gụnyere DIW, HF, SC1, SC2, O₃, na usoro ihe mgbaze organic, yana usoro ha, uru ha, na oke ha.echiche akụ na ụba na gburugburu ebe obibi, mmezi na-aga n'ihu na teknụzụ nhicha wafer dị oke mkpa iji mezuo ihe achọrọ nke mmepụta semiconductor dị elu.