Teknụzụ nhicha Wafer na akwụkwọ teknụzụ

Tebulu ọdịnaya

1.​Ebumnobi Dị Mkpa na Mkpa Ọ Dị Ịsa Wafer

2. Nnyocha Mmetọ na Usoro Nyocha Dị Elu​

3. Ụzọ nhicha dị elu na Ụkpụrụ Teknụzụ

4. Ihe dị mkpa gbasara njikwa teknụzụ na nhazi usoro

5. Usoro Ọdịnihu na Ntuziaka Ọhụrụ

6. Ngwọta na Gburugburu Ọrụ XKH

Nhicha Wafer bụ usoro dị oke mkpa n'imepụta semiconductor, ebe ọ bụ na ọbụna ihe ndị na-emerụ emerụ nwere ike imebi arụmọrụ ngwaọrụ ma ọ bụ mmepụta ya. Usoro nhicha ahụ na-agụnyekarị ọtụtụ usoro iji wepụ ihe ndị na-emerụ emerụ dị iche iche, dị ka ihe fọdụrụ n'ihe ndị dị ndụ, ihe ndị na-adịghị ọcha n'ihe ndị dị n'ime ígwè, ihe ndị na-adịghị ọcha, na ihe ndị dị n'ime ya.

1. Ebumnuche nke nhicha Wafer

• Wepụ ihe ndị na-emerụ ahụ dị ndụ (dịka ọmụmaatụ, ihe fọdụrụ na-egbochi foto, mkpịsị aka).
• Wepụ adịghị ọcha ọla (dịka, Fe, Cu, Ni).
• Kpochapụ ihe ndị na-emerụ ahụ (dịka ọmụmaatụ, uzuzu, iberibe silicon).
• Wepụ ihe ndị sitere n'okike (dịka ọmụmaatụ, oyi akwa SiO₂ nke e mepụtara n'oge ikuku na-ekpughe).

2. Mkpa nke nhicha Wafer siri ike

• Na-eme ka arụmọrụ usoro dị elu na arụmọrụ ngwaọrụ.
• Na-ebelata ntụpọ na ọnụego mkpofu wafer.
• Na-eme ka ịdị mma na ịdịgide elu dịkwuo mma.

Tupu e hichaa ya nke ọma, ọ dị mkpa ịtụle mmetọ dị n'elu. Ịghọta ụdị, nha nkesa, na nhazi oghere nke ihe ndị na-emerụ ahụ n'elu wafer na-eme ka kemịkalụ nhicha na ntinye ike mekaniki dịkwuo mma.

3. Usoro Nyocha Dị Elu Maka Nnyocha Mmetọ

3.1 Nyocha nke ihe ndị dị n'elu

• Ndị ọkachamara na-eji igwe ihe ndị a na-akpọ "plasta splashing" ma ọ bụ "computer vision" agụta, nha, na maapụ ihe ndị dị n'elu.
• Ike mgbasa ọkụ na-ejikọta nha obere ihe dị ka iri nanomita na njupụta dị ala dị ka 0.1 obere ihe/cm².
• Nhazi ya na ọkọlọtọ na-eme ka a pụrụ ịtụkwasị obi na ngwaike. Nyocha tupu na mgbe nhichachara na-egosi na mwepụ ahụ dị irè, na-akwalite mmezi usoro.

3.2 Nyocha Elu Ihe Elemental

• Usoro ndị na-emetụta elu na-achọpụta ihe mejupụtara ihe dị n'ime.
• X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS/ESCA): Na-enyocha ọnọdụ kemịkalụ dị n'elu site n'itinye wafer ahụ na X-ray ma na-atụ elektrọn ndị e wepụtara.
• Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy (GD-OES): Na-eme ka oyi akwa elu dị gịrịgịrị nke ukwuu n'usoro ka ọ na-enyocha spectra ndị e wepụtara iji chọpụta ihe mejupụtara ihe ndị dabere na omimi.
• Oke nchọpụta ruru akụkụ kwa nde (ppm), nke na-eduzi nhọrọ kemịkalụ nhicha kacha mma.

3.3 Nyocha Mmetọ Morphological

• Nyocha Electron Microscopy (SEM): Na-ese foto dị elu iji kpughee ọdịdị na oke akụkụ nke ihe ndị na-emerụ ahụ, na-egosi usoro njikọta (kemikal vs. mekanikal).
• Ngwakọta ike Atọm (AFM): Maapụ nanoscale iji tụọ ogologo ihe na ihe ndị dị na ya.
• Igwe Mpịakọta Ion Beam (FIB) + Mịkroskopu Electron Transmission (TEM): Na-enye echiche dị n'ime gbasara ihe ndị na-emerụ emerụ e liri n'ala.

4. Ụzọ nhicha dị elu

Ọ bụ ezie na nhicha ihe mgbaze na-ewepụ ihe ndị na-emerụ emerụ nke ọma, a chọrọ usoro ndị ọzọ dị elu maka ihe ndị na-adịghị arụ ọrụ nke ọma, ihe fọdụrụ n'ihe ndị na-adịghị arụ ọrụ nke ọma, na ihe ndị na-emerụ emerụ nke ionic:

nke

4.1 Nhicha RCA

• Usoro a nke RCA Laboratories mepụtara, na-eji usoro ịsa ahụ abụọ iji wepụ ihe ndị na-emerụ emerụ n'elu osisi.
• SC-1 (Nhicha Ọkọlọtọ-1): Na-ewepụ ihe ndị na-emerụ emerụ na ihe ndị dị ndụ site na iji ngwakọta nke NH₄OH, H₂O₂, na H₂O₂ (dịka ọmụmaatụ, nha 1:1:5 na ~20°C). Na-emepụta oyi akwa silicon dioxide dị gịrịgịrị.
• SC-2 (Nhicha Ọkọlọtọ-2): Na-ewepụ ihe ndị na-adịghị ọcha site na iji HCl, H₂O₂, na H₂O​ (dịka ọmụmaatụ, nha 1:1:6 na ~80°C). Na-ahapụ elu na-adịghị arụ ọrụ nke ọma.
• Na-eme ka ịdị ọcha na nchekwa elu dị n'otu.

nke

4.2 Ịdị ọcha nke ozone

• Na-emikpu wafers n'ime mmiri deionized nke jupụtara na ozone (O₃/H₂O).
• Na-eme ka ihe ndị dị ndụ ghara ịdị ọcha ma na-ewepụ ha nke ọma n'emebighị ihe e ji kee ha, na-ahapụkwa elu kemịkalụ.

nke

4.3 Nhicha Megasonicnke

• Ọ na-eji ike ultrasonic ugboro ugboro (karịsịa 750-900 kHz) yana ihe nhicha.
• Na-emepụta afụfụ cavitation nke na-ewepụ ihe ndị na-emerụ ahụ. Na-abanye n'ime geometrị dị mgbagwoju anya ma na-ebelata mmebi nke ihe owuwu ndị dị nro.

4.4 Nhicha dị egwu

• Ọ na-ajụ oyi ngwa ngwa ruo mgbe ọ ga-adị ọkụ nke ukwuu, na-emebi ihe ndị na-emerụ ahụ.
• Ịsacha ma ọ bụ ịsacha ihe na-esote na-ewepụ ihe ndị na-adịghị mma. Na-egbochi mmetọ na mgbasa n'elu.
• Usoro ngwa ngwa, kpọrọ nkụ, yana obere ojiji kemịkal.

Mmechi:
Dịka onye na-eweta ngwọta semiconductor zuru oke, XKH na-enweta ihe ọhụrụ teknụzụ na-akpali ya, ndị ahịa kwesịkwara inye usoro ọrụ site na njedebe ruo na njedebe nke gụnyere inye akụrụngwa dị elu, imepụta wafer, na nhicha ziri ezi. Anyị anaghị enye naanị ngwaọrụ semiconductor a ma ama n'ụwa niile (dịka ọmụmaatụ, igwe lithography, sistemụ etching) na ngwọta ahaziri ahazi kamakwa anyị na-amalitekwa teknụzụ nkeonwe - gụnyere nhicha RCA, nhicha ozone, na nhicha megasonic - iji hụ na ịdị ọcha nke atọm maka mmepụta wafer, na-eme ka mmepụta ndị ahịa na arụmọrụ mmepụta dịkwuo mma. Site n'iji ndị otu nzaghachi ngwa ngwa mpaghara na netwọk ọrụ ọgụgụ isi eme ihe, anyị na-enye nkwado zuru oke site na ntinye akụrụngwa na nhazi usoro ruo na mmezi amụma, na-enye ndị ahịa ike imeri ihe ịma aka teknụzụ ma gaa n'ihu na mmepe semiconductor dị elu na-adịgide adịgide. Họrọ anyị maka mmekorita abụọ nke ahụmịhe teknụzụ na uru azụmahịa.