N'ime usoro mmepe mmepe nke ụlọ ọrụ semiconductor, otu kristal na-egbu maramarasilicon waferna-ekere òkè dị mkpa. Ha na-eje ozi dị ka ihe bụ isi maka mmepụta nke ngwaọrụ microelectronic dị iche iche. Site na sekit gbagwojuru anya na nke ziri ezi gaa na microprocessors na-agba ọsọ na ihe mmetụta multifunctional, otu kristal na-egbu maramara.silicon waferdị mkpa. Ndịiche dị na arụmọrụ ha na nkọwapụta na-emetụta àgwà na arụmọrụ nke ngwaahịa ikpeazụ. N'okpuru bụ nkọwapụta na oke nke otu silicon wafers kristal na-egbu maramara:

Dayameta: A na-atụ nha nke semiconductor otu kristal silicon wafers site na dayameta ha, ha na-abịakwa n'ụdị dị iche iche. Dayameta ndị a na-ahụkarị gụnyere 2 sentimita (50.8mm), 3 sentimita (76.2mm), 4 sentimita (100mm), 5 sentimita (125mm), 6 sentimita (150mm), 8 sentimita (200mm), 12 sentimita (300mm), na 18 sentimita (450mm). Dayameta dị iche iche dabara maka mkpa mmepụta dị iche iche na usoro chọrọ. Dịka ọmụmaatụ, a na-ejikarị wafers ndị dị nta na-ejikarị eme ihe maka ngwaọrụ microelectronic pụrụ iche, nke dị ntakịrị, ebe nnukwu wafers na-egosipụta nrụpụta mmepụta dị elu na uru na-eri na nnukwu mmepụta sekit agbakwunyere. A na-ahazi ihe ndị achọrọ n'elu dị ka otu akụkụ polished (SSP) na akụkụ abụọ polished (DSP). A na-eji wafers na-egbuke egbuke nke otu akụkụ maka ngwaọrụ chọrọ nnukwu flatness n'otu akụkụ, dị ka ụfọdụ sensọ. A na-ejikarị wafer na-egbuke egbuke nke akụkụ abụọ eme ihe maka sekit agbakwunyere na ngwaahịa ndị ọzọ na-achọ oke nkenke na elu abụọ ahụ. Achọrọ Elu (Mechaa): SSP na-egbu maramara nke nwere otu akụkụ / akụkụ abụọ na-egbu maramara.

Ụdị/Dopant: (1) N-ụdị Semiconductor: Mgbe a na-ewebata ụfọdụ atọm adịghị ọcha n'ime semiconductor intrinsic, ha na-agbanwe omume ya. Dịka ọmụmaatụ, mgbe agbakwunyere pentavalent ọcha dị ka nitrogen (N), phosphorus (P), arsenic (As), ma ọ bụ antimony (Sb), electrons valence ha na-emekọ njikọ ọnụ na valence electrons nke silicon atom ndị gbara ya gburugburu, na-ahapụ ihe ọzọ electron na-ejikọtaghị site na njikọ covalent. Nke a na-ebute ntinye eletrọn kariri oghere oghere, na-akpụ semiconductor ụdị N, nke a makwaara dị ka semiconductor ụdị eletrọn. N-ụdị semiconductor dị oké mkpa n'ichepụta ngwaọrụ ndị chọrọ electrons dị ka ndị isi na-ebu ụgwọ, dị ka ụfọdụ ngwaọrụ ike. (2) Ụdị Semiconductor P: Mgbe a na-ewebata ihe ndị na-adịghị ọcha dị ka boron (B), gallium (Ga), ma ọ bụ indium (In) n'ime silicon semiconductor, valence electrons nke adịghị ọcha atom na-eme ka njikọ dị n'otu na atom silicon gbara ya gburugburu, ma ha enweghị ma ọ dịkarịa ala otu electron valence na enweghị ike ịmepụta njikọ zuru oke. Nke a na-eduga na oghere oghere karịa ntinye electron, na-eme semiconductor ụdị P, nke a makwaara dị ka oghere-ụdị semiconductor. P-ụdị semiconductors na-arụ ọrụ dị mkpa n'ichepụta ngwaọrụ ebe oghere na-eje ozi dị ka ndị na-ebu ibu, dị ka diodes na ụfọdụ transistors.

Resistivity: Resistivity bụ isi ọnụọgụ anụ ahụ nke na-atụ ụkpụrụ eletrik nke otu wafer silicon kristal na-egbu maramara. Uru ya na-egosipụta arụmọrụ na-eduzi ihe. Na ala resistivity, mma conductivity nke silicon wafer; N'aka nke ọzọ, nke dị elu nke resistivity, nke dara ogbenye na conductivity. A na-ekpebi resistivity nke silicon wafers site na ihe onwunwe ha dị n'ime ya, na okpomọkụ nwekwara mmetụta dị ukwuu. N'ozuzu, resistivity nke silicon wafers na-abawanye na okpomọkụ. Na ngwa bara uru, ngwaọrụ microelectronic dị iche iche nwere ihe mgbochi dị iche iche maka wafer silicon. Dịka ọmụmaatụ, wafers eji na n'ichepụta sekit agbakwunyere chọrọ njikwa njikwa nke ọma iji hụ na arụmọrụ ngwaọrụ kwụsiri ike na ntụkwasị obi.

Nhazi: Ntugharị kristal nke wafer na-anọchite anya ntụziaka crystallographic nke silicon lattice, nke a na-akọwakarị site na ndenye Miller dị ka (100), (110), (111), wdg. Ụdị kristal dị iche iche nwere ihe anụ ahụ dị iche iche, dị ka njupụta ahịrị, nke dịgasị iche dabere na nhazi. Ọdịiche a nwere ike imetụta arụmọrụ wafer na usoro nhazi na-esote yana arụmọrụ ikpeazụ nke ngwaọrụ microelectronic. N'ime usoro nrụpụta, ịhọrọ wafer silicon nwere ntụzịaka kwesịrị ekwesị maka ihe dị iche iche chọrọ nwere ike ịkwalite arụmọrụ ngwaọrụ, melite nrụpụta mmepụta, na ịkwalite ogo ngwaahịa.

Flat/Notch: Oghere dị larịị (Flat) ma ọ bụ V-notch (Notch) na gburugburu nke silicon wafer na-arụ ọrụ dị oke mkpa na nhazi nhazi kristal na bụ ihe nchọpụta dị mkpa na nrụpụta na nhazi nke wafer. Wafers nke dayameta dị iche iche kwekọrọ na ụkpụrụ dị iche iche maka ogologo Flat ma ọ bụ Notch. A na-ekewa ọnụ ọnụ ndị ahụ n'usoro n'ime flat praịmarị na nke abụọ. A na-ejikarị ewepụghị isi iji chọpụta nghazi kristal na nhazi nhazi nke wafer, ebe ụlọ nke abụọ na-enye aka na nhazi na nhazi nke ọma, na-eme ka ọrụ ziri ezi na nkwụsi ike nke wafer n'oge usoro mmepụta.

Ọkpụrụkpụ: A na-akọwakarị ọkpụrụkpụ nke wafer na micrometers (μm), yana oke ọkpụrụkpụ dị n'etiti 100μm na 1000μm. Wafers nke ọkpụrụkpụ dị iche iche dabara adaba maka ụdị ngwaọrụ microelectronic dị iche iche. A na-ejikarị wafers dị nro (dịka, 100μm - 300μm) eme ihe maka ịmepụta mgbawa nke na-achọ nchịkwa siri ike, na-ebelata nha na ịdị arọ nke mgbawa na ịba ụba njupụta. A na-eji wafers dị arọ (dịka ọmụmaatụ, 500μm - 1000μm) na ngwaọrụ ndị chọrọ ike arụ ọrụ dị elu, dị ka ngwaọrụ semiconductor ike, iji hụ na nkwụsi ike n'oge ọrụ.

Roughness dị n'elu: Ọkpụkpụ dị n'elu bụ otu n'ime ihe ndị dị mkpa maka ịlele ịdị mma wafer, ebe ọ na-emetụta kpọmkwem nrapado n'etiti wafer na ihe ndị dị mkpa na-esote, yana ịrụ ọrụ eletriki nke ngwaọrụ ahụ. A na-egosipụtakarị ya dị ka mgbọrọgwụ pụtara square (RMS) siri ike (na nm). Ọdịiche dị n'elu ala pụtara n'elu wafer na-adị nro karị, nke na-enyere aka belata ihe egwu dị ka ịgbasa elektrọn ma na-eme ka arụmọrụ ngwaọrụ na ntụkwasị obi dịkwuo mma. Na elu semiconductor mmepụta usoro, elu roughness chọrọ na-aghọwanye stringent, karịsịa maka elu-ọgwụgwụ integrated sekit mmepụta, ebe elu roughness ga-achịkwa ka nanometers ole na ole ma ọ bụ ọbụna ala.

Mkpokọta ịdị arọ dị iche iche (TTV): Mkpokọta nha dị iche iche na-ezo aka na ọdịiche dị n'etiti oke na ọkpụrụkpụ kacha nta atụnyere n'ọtụtụ isi n'elu wafer, nke a na-egosipụta na μm. TTV dị elu nwere ike iduga ngbanwe na usoro dị ka fotolithography na etching, na-emetụta arụmọrụ ngwaọrụ na nkwụsi ike. Ya mere, ịchịkwa TTV n'oge nrụpụta wafer bụ isi ihe n'ịhụ na ịdị mma ngwaahịa. Maka imepụta ngwaọrụ microelectronic dị elu, a na-achọkarị TTV ka ọ nọrọ n'ime micrometer ole na ole.

Ụta: Ụta na-ezo aka n'iche dị n'etiti elu wafer na ezigbo ụgbọ elu dị larịị, nke a na-atụkarị na μm. Wafers nwere oke ụta nwere ike gbajie ma ọ bụ nwee nrụgide na-enweghị isi n'oge nhazi na-esote, na-emetụta nrụpụta mmepụta na ịdịmma ngwaahịa. Karịsịa n'ime usoro ndị chọrọ ịdị elu dị elu, dị ka fotolithography, a ga-achịkwa ịkpọrọ isi n'ime ebe dị iche iche iji hụ na izi ezi na nkwekọ nke ụkpụrụ fotolithographic.

Warp: Warp na-egosi ọdịiche dị n'etiti elu wafer na ọdịdị okirikiri dị mma, tụkwara ya na μm. Yiri ụta, warp bụ ihe dị mkpa na-egosi flatness wafer. Nnukwu agha ọ bụghị naanị na-emetụta ntinye ntinye nke wafer na ngwa nhazi ma ọ pụkwara ịkpata nsogbu n'oge usoro nkwakọ ngwaahịa mgbawa, dị ka njikọ na-adịghị mma n'etiti mgbawa na nkwakọ ngwaahịa, nke n'aka nke ya na-emetụta ntụkwasị obi nke ngwaọrụ ahụ. N'imepụta semiconductor dị elu, ihe ndị chọrọ warp na-esiwanye ike iji gboo ihe achọrọ nke nrụpụta mgbawa dị elu na usoro nkwakọ ngwaahịa.

Profaịlụ Edge: Profaịlụ ọnụ nke wafer dị oke mkpa maka nhazi na njikwa ya na-esote. Mpaghara mwepu nke Edge (EEZ) na-akọwakarị ya, nke na-akọwapụta anya site na nsọtụ wafer ebe anaghị anabata nhazi. Profaịlụ ihu nke emebere nke ọma yana njikwa EEZ ziri ezi na-enyere aka zere ntụpọ ihu, oke nrụgide, na okwu ndị ọzọ n'oge nhazi, na-eme ka ogo wafer na mkpụrụ dị elu. N'ime ụfọdụ usoro nrụpụta dị elu, achọrọ nkọwapụta ihu ihu ka ọ dị n'ọkwa obere micron.

Ọnụ ọgụgụ nke urughuru: Ọnụọgụ na nha nkesa nke irighiri ihe dị n'elu wafer na-emetụta arụmọrụ nke ngwaọrụ microelectronic. Oke oke ma ọ bụ buru ibu nwere ike ibute ọdịda ngwaọrụ, dị ka sekit dị mkpụmkpụ ma ọ bụ ntapu, na-ebelata mkpụrụ ngwaahịa. Ya mere, a na-atụkarị ọnụ ọgụgụ urughuru site n'ịgụ ihe ndị dị n'otu mpaghara, dị ka ọnụ ọgụgụ nke ihe karịrị 0.3μm. Njikwa siri ike nke ọnụọgụ irighiri n'oge nrụpụta wafer bụ ihe dị mkpa iji hụ na ịdịmma ngwaahịa. A na-eji teknụzụ nhicha dị elu yana ebe nrụpụta dị ọcha iji belata mmetọ ahụ n'elu wafer.

Mmepụta metụtara

Single Crystal Silicon Wafer Si Ụdị Ụdị N/P Nhọrọ Silicon Carbide Wafer

FZ CZ Si wafer na ngwaahịa 12inch Silicon wafer Prime ma ọ bụ Nnwale