N'ime usoro mmepe na-eto eto nke ụlọ ọrụ semiconductor, kristal a kpụchara akpụcha nke ọmawafers siliconna-arụ ọrụ dị oke mkpa. Ha na-eje ozi dị ka ihe bụ isi maka mmepụta nke ngwaọrụ microelectronic dị iche iche. Site na sekit agbakwunyere dị mgbagwoju anya na nke ziri ezi ruo na microprocessors dị elu na sensọ multifunctional, otu kristal a kpụchara akpụchawafers silicondị oke mkpa. Ọdịiche dị na arụmọrụ na nkọwapụta ha na-emetụta kpọmkwem mma na arụmọrụ nke ngwaahịa ikpeazụ. N'okpuru ebe a bụ nkọwapụta na paramita ndị a na-ahụkarị nke wafer silicon otu kristal a kpụchara akpụcha:

Dayameta: A na-atụ nha nke wafer silicon otu kristal semiconductor site na dayameta ha, ha na-abịa n'ọtụtụ nkọwapụta. Dayameta ndị a na-ahụkarị gụnyere sentimita 2 (50.8mm), sentimita 3 (76.2mm), sentimita 4 (100mm), sentimita 5 (125mm), sentimita 6 (150mm), sentimita 8 (200mm), sentimita 12 (300mm), na sentimita 18 (450mm). Dayameta dị iche iche dabara maka mkpa mmepụta dị iche iche na ihe achọrọ maka usoro. Dịka ọmụmaatụ, a na-ejikarị wafers dayameta dị obere eme ihe maka ngwaọrụ microelectronic pụrụ iche, obere olu, ebe wafers dayameta buru ibu na-egosipụta arụmọrụ mmepụta dị elu na uru ọnụ ahịa na mmepụta sekit agbakwunyere buru ibu. A na-ahazi ihe achọrọ maka elu dị ka nke otu akụkụ polished (SSP) na nke abụọ akụkụ polished (DSP). A na-eji wafers polished otu akụkụ maka ngwaọrụ chọrọ ịdị larịị dị elu n'otu akụkụ, dị ka ụfọdụ sensọ. A na-ejikarị wafers polished akụkụ abụọ eme ihe maka sekit agbakwunyere na ngwaahịa ndị ọzọ chọrọ ezigbo nkọwa n'elu abụọ ahụ. Ihe achọrọ n'elu (Mmecha): SSP nke e ji otu akụkụ kpụọ / DSP nke e ji akụkụ abụọ kpụọ.

Ụdị/Dopant: (1) N-ụdị Semiconductor: Mgbe etinyere ụfọdụ atọm adịghị ọcha n'ime semiconductor dị n'ime ya, ha na-agbanwe ike ya. Dịka ọmụmaatụ, mgbe etinyere ihe pentavalent dị ka nitrogen (N), phosphorus (P), arsenic (As), ma ọ bụ antimony (Sb), elektrọn valen ha na-etolite njikọ covalent na elektrọn valence nke atọm silicon gbara ya gburugburu, na-ahapụ elektrọn ọzọ na-ejikọghị site na njikọ covalent. Nke a na-eme ka njupụta elektrọn karịrị njupụta oghere, na-emepụta semiconductor ụdị N, nke a makwaara dị ka semiconductor ụdị electron. Semiconductor ụdị N dị oke mkpa n'ichepụta ngwaọrụ ndị chọrọ elektrọn dị ka ndị na-ebu ibu ibu, dị ka ngwaọrụ ike ụfọdụ. (2) Semiconductor ụdị P: Mgbe etinyere ihe adịghị ọcha trivalent dị ka boron (B), gallium (Ga), ma ọ bụ indium (In) n'ime semiconductor silicon, elektrọn valence nke atọm adịghị ọcha na-etolite njikọ covalent na atọm silicon gbara ya gburugburu, mana ha enweghị ma ọ dịkarịa ala otu elektrọn valence ma enweghị ike ịmepụta njikọ covalent zuru oke. Nke a na-eme ka oghere dị elu karịa nke elektrọn, na-emepụta semiconductor ụdị P, nke a makwaara dị ka semiconductor ụdị oghere. Semiconductor ụdị P na-arụ ọrụ dị mkpa n'ichepụta ngwaọrụ ebe oghere na-arụ ọrụ dị ka ndị na-ebu ibu ibu, dị ka diode na ụfọdụ transistors.

Nguzogide: Nguzogide bụ isi ihe dị mkpa nke na-atụle ike eletriki nke wafer silicon otu kristal a kpụchara akpụcha. Uru ya na-egosipụta arụmọrụ nke ihe ahụ. Ka nguzogide dị ala, otú ahụ ka nguzogide nke wafer silicon ka mma; n'aka nke ọzọ, nguzogide ka elu, otú ahụ ka nguzogide na-adịghị mma. Nguzogide nke wafer silicon na-ekpebi site na ihe onwunwe ha dị n'ime, okpomọkụ na-enwekwa mmetụta dị ukwuu. N'ozuzu, nguzogide nke wafer silicon na-abawanye ka okpomọkụ. N'ọrụ bara uru, ngwaọrụ microelectronic dị iche iche nwere ihe dị iche iche achọrọ maka wafer silicon. Dịka ọmụmaatụ, wafer eji na mmepụta sekit agbakwunyere chọrọ njikwa ziri ezi nke nguzogide iji hụ na arụmọrụ ngwaọrụ kwụsiri ike ma bụrụ nke a pụrụ ịtụkwasị obi.

Nhazi: Nhazi kristal nke wafer na-anọchite anya ntụziaka kristal nke lattice silicon, nke Miller indices na-akọwapụtakarị dịka (100), (110), (111), wdg. Nhazi kristal dị iche iche nwere ihe dị iche iche nke anụ ahụ, dị ka njupụta ahịrị, nke dị iche dabere na nhazi ahụ. Ọdịiche a nwere ike imetụta arụmọrụ wafer na usoro nhazi ndị na-esote na arụmọrụ ikpeazụ nke ngwaọrụ microelectronic. N'usoro nrụpụta, ịhọrọ wafer silicon nwere ntụziaka kwesịrị ekwesị maka ihe dị iche iche achọrọ maka ngwaọrụ nwere ike ime ka arụmọrụ ngwaọrụ ka mma, melite arụmọrụ mmepụta, ma melite mma ngwaahịa.

Ọkwa dị larịị/Ọkwa dị larịị: Ọkwa dị larịị (Ọkwa dị larịị) ma ọ bụ nke dị larịị (V-notch) n'akụkụ waya silicon na-arụ ọrụ dị mkpa na nhazi nhazi kristal ma bụrụ ihe njirimara dị mkpa na mmepụta na nhazi nke wafer ahụ. Ọkwa dị larịị dị iche iche kwekọrọ na ọkọlọtọ dị iche iche maka ogologo nke Flat ma ọ bụ Notch. A na-ekewa akụkụ nhazi ahụ n'ime ọkwa dị larịị na nke abụọ. A na-ejikarị ụlọ dị larịị mbụ ekpebi nhazi kristal na ntụaka nhazi nke wafer ahụ, ebe ụlọ dị larịị nke abụọ na-enyere aka na nhazi na nhazi ziri ezi, na-ahụ na ọrụ ziri ezi na nhazi nke wafer ahụ n'ofe ahịrị mmepụta.

Ọkpụrụkpụ: A na-akọwakarị ọkpụrụkpụ nke wafer na micrometers (μm), ọkpụrụkpụ ya na-adịkarị n'etiti 100μm na 1000μm. Wafers dị iche iche dị mma maka ụdị ngwaọrụ microelectronic dị iche iche. A na-ejikarị wafers dị gịrịgịrị (dịka ọmụmaatụ, 100μm - 300μm) eme ihe maka imepụta chip nke chọrọ njikwa ọkpụrụkpụ siri ike, na-ebelata nha na ibu nke chip ahụ ma na-amụba njupụta njikọta. A na-ejikarị wafers dị arọ (dịka ọmụmaatụ, 500μm - 1000μm) eme ihe n'ọtụtụ ebe na ngwaọrụ ndị chọrọ ike igwe dị elu, dị ka ngwaọrụ semiconductor ike, iji hụ na ha kwụsiri ike n'oge ọrụ.

Nchacha Elu: Nchacha elu bụ otu n'ime ihe ndị dị mkpa maka ịtụle ịdị mma wafer, ebe ọ na-emetụta kpọmkwem njikọta dị n'etiti wafer na ihe ndị dị gịrịgịrị e tinyere na ya, yana arụmọrụ eletriki nke ngwaọrụ ahụ. A na-egosipụtakarị ya dị ka nchacha mgbọrọgwụ nkezi square (RMS) (na nm). Nchacha elu ala pụtara na elu wafer dị nro, nke na-enyere aka belata ihe ndị dị ka mgbasa eletrọn ma na-eme ka arụmọrụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ ka mma. Na usoro mmepụta semiconductor dị elu, ihe achọrọ maka nchacha elu na-aghọwanye ihe siri ike, karịsịa maka nrụpụta sekit agbakwunyere dị elu, ebe a ga-achịkwa nchacha elu ruo nanomita ole na ole ma ọ bụ ọbụna ala.

Mgbanwe Oke Ọkpụrụkpụ (TTV): Mgbanwe Oke Ọkpụrụkpụ na-ezo aka na ọdịiche dị n'etiti oke kachasị na nke kacha nta a tụrụ n'ọtụtụ ebe na elu wafer, nke a na-egosipụtakarị na μm. Oke TTV nwere ike ibute mgbanwe na usoro dịka fotolithography na etching, na-emetụta nguzosi ike na arụmọrụ ngwaọrụ. Ya mere, ijikwa TTV n'oge nrụpụta wafer bụ nzọụkwụ dị mkpa n'ịhụ na ngwaahịa dị mma. Maka imepụta ngwaọrụ microelectronic dị elu, a na-achọkarị TTV ka ọ dị n'ime micromita ole na ole.

Ụta: Ụta na-ezo aka na ọdịiche dị n'etiti elu wafer na larịị dị larịị zuru oke, nke a na-atụkarị na μm. Wafers nwere oke ịkpọrọ isi nwere ike imebi ma ọ bụ nweta nrụgide na-adịghị mma n'oge nhazi na-esote, na-emetụta arụmọrụ mmepụta na ịdị mma ngwaahịa. Karịsịa na usoro ndị chọrọ ịdị larịị dị elu, dị ka photolithography, a ga-achịkwa ịkpọrọ isi n'ime oke kpọmkwem iji hụ na izi ezi na ịdị n'otu nke usoro fotolithographic.

Warp: Warp na-egosi ọdịiche dị n'etiti elu wafer na ọdịdị gburugburu zuru oke, nke a na-atụkwa na μm. Dịka ụta, warp bụ ihe dị mkpa na-egosi ịdị larịị wafer. Oke warp anaghị emetụta naanị izi ezi nke wafer n'ime ngwa nhazi kamakwa ọ nwere ike ibute nsogbu n'oge usoro nkwakọ ngwaahịa chip, dị ka njikọ na-adịghị mma n'etiti chip na ihe nkwakọ ngwaahịa, nke na-emetụta ntụkwasị obi nke ngwaọrụ ahụ. Na mmepụta semiconductor dị elu, ihe achọrọ warp na-esiwanye ike iji mezuo ihe achọrọ nke usoro nrụpụta na nkwakọ ngwaahịa dị elu.

Profaịlụ Edge: Profaịlụ nsọtụ nke wafer dị oke mkpa maka nhazi na njikwa ya na-esote. A na-akọwakarị ya site na Mpaghara Mwepụ Edge (EEZ), nke na-akọwa anya site na nsọtụ wafer ebe a na-anaghị ekwe ka nhazi ya dị anya. Profaịlụ nsọtụ ahaziri nke ọma na njikwa EEZ ziri ezi na-enyere aka izere ntụpọ nsọtụ, oke nrụgide, na nsogbu ndị ọzọ n'oge nhazi, na-eme ka mma na mmepụta wafer zuru oke dịkwuo mma. N'ụfọdụ usoro nrụpụta dị elu, a chọrọ ka izi ezi profaịlụ nsọtụ dị na ọkwa sub-micron.

Ọnụọgụ Mkpụrụ Ntụ: Ọnụọgụ na nha nke mkpụrụ ntụ dị n'elu wafer na-emetụta arụmọrụ nke ngwaọrụ microelectronic. Mkpụrụ ntụ dị oke ma ọ bụ buru ibu nwere ike ibute ọdịda ngwaọrụ, dị ka sekit dị mkpirikpi ma ọ bụ ntapu mmiri, na-ebelata mmepụta ngwaahịa. Ya mere, a na-atụkarị ọnụọgụ mkpụrụ site na ịgụta mkpụrụ ntụ dị n'otu mpaghara, dị ka ọnụọgụ nke mkpụrụ ntụ dị ukwuu karịa 0.3μm. Njikwa siri ike nke ọnụọgụ mkpụrụ n'oge nrụpụta wafer bụ ihe dị mkpa iji hụ na ngwaahịa dị mma. A na-eji teknụzụ nhicha dị elu na gburugburu mmepụta dị ọcha iji belata mmetọ mkpụrụ ntụ dị n'elu wafer.

Mmepụta metụtara ya

Ụdị ihe mkpuchi kristal silicon otu N/P Nhọrọ nke silicon carbide wafer

FZ CZ Si wafer dị na ngwaahịa 12inch Silicon wafer Prime ma ọ bụ Test