Ụgbọ elu kristal na nghazi kristal bụ isi echiche abụọ dị na crystallography, nwere njikọ chiri anya na nhazi kristal na teknụzụ sekit agbakwunyere na silicon.
1.Definition na Njirimara nke Crystal Orientation
Ntuzi aka kristal na-anọchi anya ntụzịaka akọwapụtara n'ime kristal, nke na-egosipụtakarị site na nrịbama ntụzịaka kristal. A na-akọwa nghazi kristal site na ijikọta ihe ọ bụla lattice abụọ n'ime nhazi kristal, ọ nwekwara àgwà ndị a: nhazi kristal ọ bụla nwere ọnụ ọgụgụ na-enweghị njedebe nke isi ihe; otu nghazi kristal nwere ike ịgụnye ọtụtụ ntụzịaka kristal yiri nke na-etolite ezinụlọ nghazi kristal; Ezinụlọ nghazi kristal na-ekpuchi isi ihe lattice niile n'ime kristal.
Ihe ntụgharị kristal pụtara na-egosi nhazi ntụzịaka nke atọm n'ime kristal. Dịka ọmụmaatụ, ntụzịaka kristal [111] na-anọchi anya ntụzịaka a kapịrị ọnụ ebe oke ntule nke anyụike atọ ahụ bụ 1:1:1.
2. Nkọwa na Njirimara nke Crystal Planes
Ụgbọ elu kristal bụ ụgbọ elu nke nhazi atọm n'ime kristal, nke indices kristal (Miller indices) nọchiri anya ya. Dịka ọmụmaatụ, (111) na-egosi na nkwụghachi ụgwọ nke nkwụsị nke ụgbọ elu kristal na anyụike nhazi dị na 1: 1: 1. Ụgbọ elu kristal nwere ihe ndị a: ụgbọ elu kristal ọ bụla nwere ọnụ ọgụgụ na-enweghị njedebe nke isi ihe lattice; Ụgbọ elu kristal ọ bụla nwere ọnụ ọgụgụ na-enweghị ngwụcha nke ụgbọ elu yiri ya na-eme ezinụlọ ụgbọelu kristal; ezinụlọ ụgbọ elu kristal na-ekpuchi kristal dum.
Mkpebi siri ike nke ndenye Miller gụnyere iwere ihe mgbochi nke ụgbọ elu kristal na axis nhazi nke ọ bụla, ịchọta nkwụghachi azụ ha, na ịtụgharị ha ka ọ bụrụ ọnụọgụ ọnụọgụ kacha nta. Dịka ọmụmaatụ, ụgbọ elu kristal (111) nwere ihe mgbochi na axes x, y na z n'oke 1:1:1.
3. Mmekọrịta dị n'etiti Crystal Planes na Crystal Orientation
Ụgbọ elu kristal na ntụgharị kristal bụ ụzọ abụọ dị iche iche si akọwa nhazi geometric nke kristal. Ntughari kristal na-ezo aka na nhazi nke atọm n'akụkụ otu ụzọ, ebe ụgbọ elu kristal na-ezo aka nhazi nke atọm n'otu ụgbọ elu. Abụọ ndị a nwere akwụkwọ ozi ụfọdụ, mana ha na-anọchite anya echiche anụ ahụ dị iche iche.
Mmekọrịta dị mkpa: vector nkịtị nke ụgbọ elu kristal (ya bụ, vector dị n'akụkụ ụgbọ elu ahụ) dabara na ntụgharị kristal. Dịka ọmụmaatụ, vector nkịtị nke ụgbọ elu kristal (111) kwekọrọ na ntụzịaka kristal [111], nke pụtara na nhazi atọm n'akụkụ ntụzịaka [111] dị n'akụkụ ụgbọ elu ahụ.
Na usoro semiconductor, nhọrọ nke ụgbọ elu kristal na-emetụta arụmọrụ ngwaọrụ. Dịka ọmụmaatụ, na semiconductors dabeere na silicon, ụgbọ elu kristal a na-ejikarị bụ ụgbọ elu (100) na (111) n'ihi na ha nwere nhazi atọm dị iche iche na ụzọ njikọ dị iche iche. Njirimara dị ka ngagharị elektrọn na ike elu dị iche iche na ụgbọ elu kristal dị iche iche, na-emetụta arụmọrụ na usoro uto nke ngwaọrụ semiconductor.
4. Ngwa bara uru na usoro Semiconductor
N'imepụta semiconductor dabere na silicon, a na-etinye nghazi kristal na ụgbọ elu kristal n'ọtụtụ akụkụ:
Uto Crystal: A na-etokarị kristal semiconductor n'akụkụ ntụzịaka kristal. Kristal silicon na-etokarị n'akụkụ [100] ma ọ bụ [111] n'ihi na nkwụsi ike na nhazi atomic na nhazi ndị a dị mma maka uto kristal.
Usoro Etching: Na mmiri etching mmiri, ụgbọ elu kristal dị iche iche nwere ọnụego etching dị iche iche. Dịka ọmụmaatụ, ọnụego etching na (100) na (111) ụgbọ elu silicon dị iche, na-ebute mmetụta anisotropic etching.
Njirimara ngwaọrụ: Ụgbọ elu kristal na-emetụta mmegharị eletrọn na ngwaọrụ MOSFET. Na-emekarị, ngagharị dị elu na ụgbọ elu (100), nke mere MOSFET nke silicon nke oge a na-ejikarị (100) wafers.
Na nchịkọta, ụgbọ elu kristal na ntụgharị kristal bụ ụzọ abụọ dị mkpa isi kọwaa nhazi nke kristal na crystallography. Ntuzi aka kristal na-anọchi anya njirimara ntụzịaka n'ime kristal, ebe ụgbọ elu kristal na-akọwa ụgbọ elu akọwapụtara n'ime kristal. Echiche abụọ a nwere njikọ chiri anya na nrụpụta semiconductor. Nhọrọ nke ụgbọ elu kristal na-emetụta kpọmkwem ihe anụ ahụ na kemịkal nke ihe ahụ, ebe ntụgharị kristal na-emetụta uto kristal na usoro nhazi. Ịghọta mmekọrịta dị n'etiti ụgbọ elu kristal na nghazi dị oke mkpa maka ịkwalite usoro semiconductor na imeziwanye arụmọrụ ngwaọrụ.
Oge nzipu: Ọkt-08-2024