Ajụjụ: Kedu teknụzụ ndị bụ isi eji eme ihe na ịkpụ na nhazi SiC wafer?
A:Silicon carbide (SiC) nwere ike dị elu karịa dayamọnd, a na-ewerekwa ya dị ka ihe siri ike ma sie ike. Usoro ịkpụcha kristal ndị a kụrụ akụ, nke gụnyere ịkpụcha kristal ndị a kụrụ akụ ka ha bụrụ wafers dị gịrịgịrị, na-ewe oge ma na-eme ka ha ghara ịdị nkọ. Dịka nzọụkwụ mbụ naSiCN'otu nhazi kristal, ịdị mma nke ịkpụcha ihe na-emetụta nke ukwuu n'ịkpụcha ihe, ịchacha ihe, na ịchacha ihe ndị ọzọ. Ịkpụcha ihe na-ebutekarị mgbawa elu na ala, na-eme ka ọnụego mgbawa wafer na ọnụ ahịa mmepụta dịkwuo elu. Ya mere, ijikwa mmebi mgbawa elu n'oge ịkpụcha ihe dị oke mkpa iji kwalite mmepụta ngwaọrụ SiC.
Usoro ịkpụ SiC nke a na-akọ ugbu a gụnyere ịkpụcha ihe na-adịghị mma, nke na-anaghị emebi emebi, ịkpụ laser, mbufe oyi akwa (nkewa oyi), na ịkpụcha ihe na-apụ apụ n'ọkụ eletrik. N'ime ihe ndị a, ịkpụcha ọtụtụ waya site na iji ihe na-eme ka diamond sie ike bụ ụzọ a na-ejikarị eme ihe maka nhazi kristal otu SiC. Agbanyeghị, ka nha ingot na-eru sentimita asatọ na karịa, ịkpụ waya ọdịnala anaghịzi aba uru n'ihi nnukwu ọchịchọ, ọnụ ahịa, na obere arụmọrụ. Enwere mkpa ngwa ngwa maka teknụzụ ịkpụcha ihe dị ọnụ ala, obere mfu, na arụmọrụ dị elu.
Q: Kedu uru dị na ịkpụcha laser karịa ịkpụcha ọtụtụ waya ọdịnala?
A: Ịcha waya ọdịnala na-egbutuNtinye SiCn'akụkụ kpọmkwem, ha na-aghọ iberibe dị ọtụtụ narị micron. A na-eji ihe ndị e ji diamond gwerie iberibe ndị ahụ iji wepụ akara osisi e ji akwọ osisi na mmebi dị n'okpuru ala, wee jiri kemịkalụ mekaniki (CMP) kpụchaa ha iji nweta nhazi zuru ụwa ọnụ, ma mechaa hichaa ha iji nweta wafers SiC.
Agbanyeghị, n'ihi oke ike na mgbawa nke SiC, usoro ndị a nwere ike ibute mgbagọ, mgbawa, mmụba nke ọnụego mgbawa, ọnụ ahịa mmepụta dị elu, ma bute oke iru unyi na mmetọ (uzuzu, mmiri mkpofu, wdg). Na mgbakwunye, ịkpụ waya na-adị nwayọ ma nwee obere mkpụrụ. Atụmatụ na-egosi na ịkpụ waya ọdịnala na-enweta naanị ihe dị ka 50% ojiji ihe, ruo 75% nke ihe ahụ na-efunahụ mgbe emechara ka ọ dị ọcha ma gwerie ya. Data mmepụta mba ofesi mbụ gosiri na ọ nwere ike were ihe dị ka ụbọchị 273 nke mmepụta na-aga n'ihu nke awa 24 iji mepụta wafer 10,000 - nke na-ewe oge dị ukwuu.
N'ime obodo, ọtụtụ ụlọ ọrụ na-eto kristal SiC na-elekwasị anya n'ịbawanye ikike ọkụ. Agbanyeghị, kama ịgbasa mmepụta naanị, ọ dị mkpa ịtụle otu esi ebelata mfu - ọkachasị mgbe mmepụta kristal adịghị mma.
Ngwa ịkpụcha laser nwere ike ibelata mfu ihe ma melite mmepụta. Dịka ọmụmaatụ, iji otu 20 mmNtinye SiC: Ịsa waya nwere ike imepụta ihe dị ka wafer iri atọ nke ọkpụrụkpụ ya bụ 350 μm. Ịsa laser nwere ike ịpụta ihe karịrị wafer iri ise. Ọ bụrụ na ebelata ọkpụrụkpụ wafer ruo 200 μm, enwere ike ịmepụta ihe karịrị wafer iri asatọ site na otu ingot ahụ. Ọ bụ ezie na a na-ejikarị waya sawing eme ihe maka wafer dị sentimita isii na obere, ịkpụ ingot SiC nke sentimita asatọ nwere ike were ụbọchị iri ruo iri na ise site na usoro ọdịnala, nke chọrọ ngwa dị elu ma na-akpata ọnụ ahịa dị elu na obere arụmọrụ. N'okpuru ọnọdụ ndị a, uru nke ịkpụ laser na-apụta ìhè, na-eme ka ọ bụrụ teknụzụ kachasị mma maka wafer nke sentimita asatọ.
Site na ịkpụcha laser, oge ịchacha kwa wafer nke dị sentimita asatọ nwere ike ịdị n'okpuru nkeji iri abụọ, yana mfu ihe dị n'ime wafer ọ bụla na-erughị 60 μm.
Na nchịkọta, ma e jiri ya tụnyere ịkpụ waya dị iche iche, ịkpụ laser na-enye ọsọ dị elu, mmepụta ka mma, obere mfu ihe, na nhazi dị ọcha.
Ajụjụ: Kedu ihe bụ isi ihe ịma aka teknụzụ dị na ịkpụcha laser SiC?
A: Usoro ịkpụcha laser gụnyere usoro abụọ bụ isi: mgbanwe laser na nkewa wafer.
Isi ihe dị mkpa n'ime mgbanwe laser bụ nhazi osisi na nhazi paramita. Paramita dịka ike laser, dayameta ntụpọ, na ọsọ nyocha niile na-emetụta ogo nke iwepụ ihe na ihe ịga nke ọma nkewa wafer na-esote. Geometry nke mpaghara agbanwere agbanwe na-ekpebi oke elu na ihe isi ike nke nkewa. Oke oke elu na-eme ka igwe sie ike ma emechaa ma na-eme ka mfu ihe dịkwuo elu.
Mgbe emezigharịrị ya, a na-enweta nkewa wafer site na ike ịkpụ, dịka mgbawa oyi ma ọ bụ nrụgide igwe. Ụfọdụ sistemụ ụlọ na-eji ihe na-agbanwe ihe site na ultrasonic iji kpalite mkpọtụ maka nkewa, mana nke a nwere ike ibute mgbawa na ntụpọ n'akụkụ, na-ebelata mmepụta ikpeazụ.
Ọ bụ ezie na usoro abụọ a abụghị ihe siri ike n'onwe ya, enweghị nkwekọ na ịdị mma kristal - n'ihi usoro uto dị iche iche, ọkwa doping, na nkesa nrụgide dị n'ime - na-emetụta nke ukwuu ihe isi ike ịkpụcha, mmepụta, na mfu ihe. Naanị ịchọpụta ebe nsogbu na ịgbanwe mpaghara nyocha laser nwere ike ọ gaghị eme ka nsonaazụ ka mma nke ukwuu.
Isi ihe dị mkpa maka nnabata zuru oke dị n'ịmepụta ụzọ na akụrụngwa ọhụrụ nke nwere ike ịgbanwe na ọtụtụ àgwà kristal sitere na ndị nrụpụta dị iche iche, imeziwanye paramita usoro, na iwulite sistemụ ịkpụ laser nwere ike itinye n'ọrụ zuru ụwa ọnụ.
Q: Enwere ike itinye teknụzụ ịkpụ laser na ihe ndị ọzọ ewezuga SiC?
A: A na-eji teknụzụ ịkpụ laser eme ihe n'ọtụtụ ihe dị iche iche kemgbe ụwa. Na semiconductor, a na-eji ya eme wafer dicing ma kemgbe ahụ, ọ gbasaala ruo n'ịbe nnukwu nnukwu kristal otu.
E wezụga SiC, enwere ike iji ịkpụ laser mee ihe maka ihe ndị ọzọ siri ike ma ọ bụ ndị na-agbawa agbawa dịka diamond, gallium nitride (GaN), na gallium oxide (Ga₂O₃). Ọmụmụ ihe mbụ gbasara ihe ndị a egosila na ọ ga-ekwe omume na uru nke ịkpụ laser maka ngwa semiconductor.
A: È nwere ngwa ọrụ ịkpụcha laser n'ụlọ ugbu a? Kedu ọkwa nyocha gị na-aga?
A: A na-ewere ngwa SiC laser nke buru ibu dị ka akụrụngwa bụ isi maka ọdịnihu nke mmepụta wafer SiC nke inch 8. Ugbu a, naanị Japan nwere ike inye sistemụ ndị dị otú ahụ, ha dịkwa oke ọnụ ma nwee mmachi mbupụ.
A na-eme atụmatụ na ọchịchọ ime obodo maka sistemụ ịkpụ/ịkpụcha laser dị ihe dị ka nkeji 1,000, dabere na atụmatụ mmepụta SiC na ikike ịcha waya dị ugbu a. Ụlọ ọrụ ndị dị mkpa n'ime obodo etinyela nnukwu ego na mmepe, mana enweghị ngwa ọrụ ụlọ ọrụ tozuru okè, nke dị maka azụmahịa, erutebeghị ọkwa mmepụta ụlọ ọrụ.
Ndị otu nyocha anọwo na-emepụta teknụzụ mwepụ laser nkeonwe kemgbe 2001 ma ugbu a agbatịwo nke a ruo na nnukwu dayameta SiC laser bee na ịbelata. Ha emepụtala usoro nnwale na usoro ịkpụcha ihe nwere ike: Ịkpụ na ịbelata 4-6 inch ọkara mkpuchi SiC Wafers Ịkpụcha 6-8 inch conductive Ingots Arụmọrụ: 6-8 inch ọkara mkpuchi SiC: oge ịkpụcha 10-15 nkeji/wafer; mfu ihe <30 μm6-8 inch conductive SiC: oge ịkpụcha 14-20 nkeji/wafer; mfu ihe <60 μm
Atụmatụ na mkpụrụ wafer amụbaala ihe karịrị 50%
Mgbe e bechara ya, wafer ndị ahụ na-emezu ụkpụrụ mba maka geometry mgbe e gweri ma kpụchaa ya. Nnyocha na-egosikwa na mmetụta okpomọkụ nke laser kpatara anaghị emetụta nrụgide ma ọ bụ geometry nke wafers ahụ nke ukwuu.
E jikwa otu ngwa ahụ chọpụta na o kwere omume ịkpụ otu kristal dị ka dayamọnd, GaN, na Ga₂O₃.
Oge ozi: Mee-23-2025