Ihe Ndị Dị Mkpa Maka Nkwadebe Otu Crystal Silicon Carbide Dị Elu

Ụzọ ndị bụ isi e si eji silicon eme ihe bụ: Njem Njem Njem N'ime Mmiri (PVT), Uto Ngwọta Mkpụrụ Kachasị Elu (TSSG), na Ndepụta Mmiri Kemịkalụ Elu-Okpomọkụ (HT-CVD). N'ime ihe ndị a, a na-anabata usoro PVT nke ọma n'ime mmepụta ụlọ ọrụ n'ihi na ọ dị mfe iji ya, ọ dị mfe ijikwa ya, yana obere ngwa na ọnụ ahịa ọrụ.

Isi ihe dị mkpa maka uto PVT nke kristal Silicon Carbide

Mgbe ị na-eto kristal silicon carbide site na iji usoro Physical Vapor Transport (PVT), a ga-atụle akụkụ teknụzụ ndị a:

1. Ịdị Ọcha nke Ihe E Ji Ese Graphite n'ime Ụlọ Uto: Ihe na-adịghị ọcha dị na ihe ndị e ji graphite mee ga-adị n'okpuru 5 × 10⁻⁶, ebe ihe na-adịghị ọcha dị na ihe e ji ese mkpuchi ga-adị n'okpuru 10 × 10⁻⁶. Ihe ndị dị ka B na Al kwesịrị ịdị n'okpuru 0.1 × 10⁻⁶.
2. Nhọrọ Mkpụrụ Mkpụrụ Ziri Ezi: Ọmụmụ ihe empirical gosiri na ihu C (0001) dabara adaba maka itolite kristal 4H-SiC, ebe a na-eji ihu Si (0001) eto kristal 6H-SiC.
3. Ojiji nke kristal mkpụrụ Off-Axis: kristal mkpụrụ Off-axis nwere ike ịgbanwe nha nha nke uto kristal, na-ebelata ntụpọ dị na kristal ahụ.
4. Usoro Njikọta Crystal Mkpụrụ Dị Elu.
5. Ịnọgide na-enwe nguzozi nke njikọta uto kristal n'oge usoro uto.

Teknụzụ dị mkpa maka uto kristal Silicon Carbide

1. Teknụzụ Doping maka ntụ ntụ Silicon Carbide
   Iji oke Ce kwesịrị ekwesị mee ntụ silicon carbide nwere ike ime ka uto nke kristal otu 4H-SiC dịkwuo mma. Nsonaazụ bara uru na-egosi na Ce doping nwere ike:

• Mee ka mmụba nke kristal silicon carbide dịkwuo elu.
• Jikwaa nhazi nke uto kristal, mee ka ọ dịkwuo otu ma na-eme ka ọ dịgide.
• Na-ebelata ihe ndị na-adịghị ọcha, na-ebelata ntụpọ ma na-enyere aka ịmepụta kristal otu-kristal na nke dị elu.
• Na-egbochi ire ere azụ nke kristal ahụ ma melite mmepụta otu kristal.

• Teknụzụ Njikwa Okpomọkụ Axial na Radial Gradient
  Oke okpomọkụ axial na-emetụtakarị ụdị uto kristal na arụmọrụ ya. Oke okpomọkụ dị obere nke ukwuu nwere ike ibute mmepe polycrystalline ma belata ọnụego uto. Oke okpomọkụ axial na radial kwesịrị ekwesị na-eme ka uto kristal SiC dị ngwa ngwa ma na-ejigide ịdị mma kristal kwụsiri ike.
• Teknụzụ Njikwa Mgbapụ Ebe Basal (BPD)
  Nsogbu BPD na-ebilitekarị mgbe nrụgide shear dị na kristal karịrị nrụgide shear dị oke mkpa nke SiC, na-eme ka sistemụ slip rụọ ọrụ. Ebe ọ bụ na BPD dị n'akụkụ uto kristal, ha na-etolitekarị n'oge uto kristal na oyi.
• Teknụzụ Mgbanwe Nhazi Usoro Upo
  Ịbawanye oke carbon-to-silicon n'ebe uto bụ ihe dị irè iji mee ka uto otu kristal kwụsie ike. Oke carbon-to-silicon dị elu na-ebelata nnukwu nchịkọta nzọụkwụ, na-echekwa ozi gbasara uto elu kristal mkpụrụ, ma na-egbochi nhazi ụdị polytype.
• Teknụzụ Njikwa Nrụgide Dị Ala
  Nrụgide n'oge uto kristal nwere ike ibute mgbagọ nke planes kristal, nke na-ebute adịghị mma na ịdị mma kristal ma ọ bụ ọbụna mgbawa. Nrụgide dị elu na-emekwa ka basal planes dislocations dịkwuo elu, nke nwere ike imetụta ịdị mma nke epitaxial oyi akwa na arụmọrụ ngwaọrụ n'ụzọ dị njọ.

Foto nyocha wafer SiC nke dị sentimita isii

Ụzọ isi belata nrụgide na kristal:

• Hazie nkesa okpomọkụ na paramita usoro iji mee ka uto kristal otu SiC dịkwuo mma.
• Mee ka usoro ihe owuwu ahụ ka mma iji kwe ka kristal too n'efu na obere ihe mgbochi.
• Gbanwee usoro nhazi kristal mkpụrụ iji belata enweghị nkwekọ na mgbasawanye okpomọkụ dị n'etiti kristal mkpụrụ na onye na-ejide graphite. Ụzọ a na-emekarị bụ ịhapụ oghere 2 mm n'etiti kristal mkpụrụ na onye na-ejide graphite.
• Meziwanye usoro ịchacha ọkụ site n'itinye ịchacha ọkụ n'ime ụlọ, na-agbanwe okpomọkụ na oge ịchacha ọkụ iji wepụta nrụgide dị n'ime ya kpamkpam.

Usoro Ọdịnihu na Teknụzụ Itolite Silicon Carbide Crystal

N'ile anya n'ọdịnihu, teknụzụ nkwadebe kristal SiC dị elu ga-etolite n'ụzọ ndị a:

1. Uto buru ibu
   Dayameta nke kristal silicon carbide otu agbanweela site na milimita ole na ole ruo na nha inch isii, sentimita asatọ, na ọbụna nke buru ibu karịa nke inch iri na abụọ. Kristal SiC nke nwere dayameta buru ibu na-eme ka arụmọrụ mmepụta dịkwuo mma, na-ebelata ọnụ ahịa, ma na-emezu ihe achọrọ nke ngwaọrụ ndị nwere ike dị elu.
2. Uto Dị Elu
   Kristal SiC dị elu dị oke mkpa maka ngwaọrụ ndị nwere arụmọrụ dị elu. Ọ bụ ezie na e nweela ọganihu dị ukwuu, ntụpọ dịka obere ọkpọkọ, mgbanwe, na ihe ndị na-adịghị ọcha ka dị, na-emetụta arụmọrụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ ahụ.
3. Mbelata Ọnụ Ego
   Ọnụ ego dị elu nke nkwadebe kristal SiC na-egbochi ojiji ya n'akụkụ ụfọdụ. Ime ka usoro uto ka mma, ime ka arụmọrụ mmepụta dịkwuo mma, na ibelata ọnụ ahịa ihe eji emepụta ihe nwere ike inye aka belata mmefu mmepụta.
4. Uto Amamihe
   Site na ọganihu na AI na nnukwu data, teknụzụ uto kristal SiC ga-ejiwanye azịza amamihe dị na ya. Nlekota na njikwa oge a na-eji ihe mmetụta na sistemụ akpaaka ga-eme ka nkwụsi ike na njikwa usoro dịkwuo mma. Na mgbakwunye, nyocha data buru ibu nwere ike ime ka paramita uto dịkwuo mma, melite mma kristal na arụmọrụ mmepụta.

Teknụzụ nkwadebe kristal silicon carbide dị elu bụ isi ihe dị mkpa na nchọpụta ihe semiconductor. Ka teknụzụ na-aga n'ihu, usoro uto kristal SiC ga-aga n'ihu na-agbanwe, na-enye ntọala siri ike maka ojiji na mpaghara okpomọkụ dị elu, ugboro ugboro, na ike dị elu.