Silicon carbide (SiC) abụghị naanị teknụzụ dị mkpa maka nchekwa mba kamakwa ọ bụ ihe dị mkpa maka ụlọ ọrụ ụgbọ ala na ike zuru ụwa ọnụ. Dịka nzọụkwụ mbụ dị mkpa na nhazi otu kristal SiC, ịkpụ wafer na-ekpebi kpọmkwem ịdị mma nke ịcha na ịchacha ihe na-esote. Ụzọ ịkpụcha ihe ọdịnala na-ebutekarị mgbawa elu na ala, na-abawanye ọnụego mgbawa wafer na ọnụ ahịa nrụpụta. Ya mere, ijikwa mmebi mgbawa elu dị mkpa maka ịkwalite mmepụta ngwaọrụ SiC.
Ugbu a, ịkpụ SiC ingot na-eche nsogbu abụọ dị mkpa ihu:
- Nnukwu ihe onwunwe na igwe eji akwa ọtụtụ waya eme ihe:Ike siri ike na ike gbawara agbawa nke SiC na-eme ka ọ ghara ịgbawa ma ọ bụ gbawaa n'oge ịcha, ịcha, na ịchacha. Dịka data Infineon si kwuo, igwe eji ọtụtụ waya eme ihe nke a na-eji diamond-resin eme ihe na-enweta naanị 50% ojiji ihe eji eme ihe n'ịcha, ebe mfu otu wafer zuru oke ruru ihe dị ka 250 μm mgbe emechara ya, na-ahapụ obere ihe eji eme ihe.
- Obere arụmọrụ na ogologo oge mmepụta usoro:Ọnụọgụgụ mmepụta mba ụwa na-egosi na imepụta wafers 10,000 site na iji igwe e ji waya rụọ ọrụ awa 24 na-ewe ihe dị ka ụbọchị 273. Usoro a chọrọ akụrụngwa na ihe oriri buru ibu ebe ọ na-emepụta oke ihe na mmetọ dị elu (uzuzu, mmiri mkpofu).
Iji dozie nsogbu ndị a, ndị otu Prọfesọ Xiu Xiangqian na Mahadum Nanjing emepụtala ngwa ọrụ ịkpụcha laser dị oke mma maka SiC, na-eji teknụzụ laser dị oke ọsọ iji belata ntụpọ ma kwalite mmepụta. Maka ingot SiC 20-mm, teknụzụ a na-eme ka mmepụta wafer mụbaa okpukpu abụọ ma e jiri ya tụnyere ịkpụcha waya ọdịnala. Na mgbakwunye, wafers ndị a na-egbutu na laser na-egosipụta otu nha anya dị elu, na-eme ka ọkpụrụkpụ belata ruo 200 μm kwa wafer ma na-amụba mmepụta.
Uru dị mkpa:
- Emechaala nyocha na nhazi ngwa ọrụ buru ibu, nke akwadoro maka ịkpụ wafer SiC nke dị sentimita 4-6 na ingots SiC nke dị sentimita 6.
- A na-enyocha ịchacha ingot nke sentimita asatọ.
- Oge igbutu ihe dị mkpụmkpụ nke ukwuu, mmepụta kwa afọ dị elu, na mmụba nke mmepụta ihe karịrị 50%.
Ihe mejupụtara XKH SiC nke ụdị 4H-N
Ike Ahịa:
Ngwa a dị njikere ịghọ ihe ngwọta dị mkpa maka ịkpụ SiC ingot nke dị sentimita asatọ, nke ndị Japan na-ebubata ugbu a nwere ọnụ ahịa dị elu na mmachi mbupụ. Ọchịchọ ime obodo maka ngwa ịkpụ/ịcha laser karịrị nkeji 1,000, mana enweghị ihe ọzọ ndị China mere. Teknụzụ nke Mahadum Nanjing nwere nnukwu uru ahịa na ikike akụ na ụba.
Ndakọrịta nke ọtụtụ ihe:
E wezụga SiC, akụrụngwa ahụ na-akwado nhazi laser nke gallium nitride (GaN), aluminum oxide (Al₂O₃), na daịamọnd, na-agbasa ngwa ọrụ ya n'ime ụlọ ọrụ mmepụta ihe.
Site n'ịgbanwe usoro nhazi wafer SiC, ihe ọhụrụ a na-edozi nsogbu dị mkpa na mmepụta semiconductor ma na-adaba na usoro ụwa maka ihe ndị dị elu na-arụ ọrụ nke ọma ma na-arụ ọrụ ike.
Mmechi
Dịka onye ndu n'ọrụ mmepụta ihe dị n'ime silicon carbide (SiC), XKH bụ ọkachamara n'inye ihe ndị dị n'ime SiC nke dị sentimita 2-12 (gụnyere ụdị 4H-N/SEMI, ụdị 4H/6H/3C) nke e mere maka ngalaba ndị na-eto eto dị elu dịka ụgbọala ike ọhụrụ (NEVs), nchekwa ike fotovoltaic (PV), na nkwukọrịta 5G. Site n'iji teknụzụ obere mfu wafer buru ibu na teknụzụ nhazi dị elu, anyị enwetala mmepụta buru ibu nke ihe ndị dị n'ime sentimita 8 na ọganihu na teknụzụ uto kristal SiC nke dị sentimita 12, na-ebelata ọnụ ahịa mgbawa kwa nkeji. N'ịga n'ihu, anyị ga-aga n'ihu na-emeziwanye nha laser ọkwa ingot na usoro njikwa nrụgide ọgụgụ isi iji bulie mmepụta ihe dị n'ime sentimita 12 ruo ọkwa asọmpi zuru ụwa ọnụ, na-enye ụlọ ọrụ SiC nke obodo ike imebi ikike mba ụwa ma mee ka ngwa ndị a na-agbanwe agbanwe dịkwuo elu na ngalaba dị elu dị ka chips ọkwa ụgbọ ala na ike sava AI.
Ihe mejupụtara XKH SiC nke ụdị 4H-N
Oge ozi: Ọgọst-15-2025