Nghọta miri emi nke Sistemụ SPC na Mmepụta Wafer

1. Nchịkọta nke Sistemụ SPC

SPC bụ usoro nke na-eji usoro ọnụọgụgụ iji nyochaa ma chịkwaa usoro mmepụta. Isi ọrụ ya bụ ịchọpụta ihe ndị na-adịghị mma na usoro mmepụta site na ịchịkọta na inyocha data oge, na-enyere ndị injinia aka ime mgbanwe na mkpebi n'oge. Ebumnuche nke SPC bụ ibelata mgbanwe na usoro mmepụta, hụ na ịdị mma ngwaahịa na-adịgide adịgide ma na-emezu nkọwapụta.

A na-eji SPC eme ihe n'ịkpụcha ihe ndị a:

Nyochaa paramita akụrụngwa dị mkpa (dịka ọmụmaatụ, ọnụego etch, ike RF, nrụgide ụlọ, okpomọkụ, wdg)

Nyochaa ihe ngosi dị mkpa gbasara ịdị mma ngwaahịa (dịka ọmụmaatụ, obosara ahịrị, omimi etch, oke iru mmiri, wdg)

Site n'ileba anya na paramita ndị a, ndị injinia nwere ike ịchọpụta usoro na-egosi mmebi arụmọrụ akụrụngwa ma ọ bụ mgbanwe na usoro mmepụta, si otú a na-ebelata ọnụego mkpofu.

2. Ihe Ndị Dị Mkpa nke Sistemụ SPC

Sistemụ SPC nwere ọtụtụ modulu dị mkpa:

Modulu Nchịkọta Data: Na-anakọta data ozugbo site na akụrụngwa na usoro nhazi (dịka ọmụmaatụ, site na sistemụ FDC, EES) ma na-edekọ paramita dị mkpa na nsonaazụ mmepụta.

Modulu Chaatị Njikwa: Na-eji chaatị njikwa ọnụọgụgụ (dịka ọmụmaatụ, chaatị X-Bar, chaatị R, chaatị Cp/Cpk) iji hụ nkwụsi ike usoro ma nyere aka chọpụta ma usoro ahụ ọ dị n'aka.

Sistemụ Mkpu: Na-akpali mkpu mgbe paramita dị mkpa gafere oke njikwa ma ọ bụ gosipụta mgbanwe usoro, na-akpali ndị injinia ime ihe.

Modulu Nyocha na Akụkọ: Na-enyocha isi ihe kpatara nsogbu ndị a na-enwe site na chaatị SPC ma na-emepụta akụkọ arụmọrụ mgbe niile maka usoro na akụrụngwa.

3. Nkọwa zuru ezu nke Chaatị Njikwa na SPC

Chaatị njikwa bụ otu n'ime ngwaọrụ ndị a na-ejikarị eme ihe na SPC, na-enyere aka ịmata ọdịiche dị n'etiti "mgbanwe nkịtị" (nke mgbanwe usoro okike kpatara) na "mgbanwe na-adịghị mma" (nke ọdịda akụrụngwa ma ọ bụ mgbanwe usoro kpatara). Chaatị njikwa ndị a na-ahụkarị gụnyere:

Chaatị X-Bar na R: A na-eji ya enyocha nkezi na oke dị n'ime otu mmepụta iji hụ ma usoro ahụ ọ kwụsiri ike.

Ihe ngosi Cp na Cpk: A na-eji ya atụ ikike usoro, ya bụ, ma mmepụta usoro ahụ ọ nwere ike iru ihe achọrọ maka nkọwapụta mgbe niile. Cp na-atụ ikike nwere ike ime, ebe Cpk na-atụle mgbanwe nke etiti usoro ahụ site na oke nkọwapụta.

Dịka ọmụmaatụ, n'usoro ịkpụcha ihe, ị nwere ike inyocha paramita dịka ọnụego ịkpụcha ihe na oke iru mmiri. Ọ bụrụ na ọnụego ịkpụcha ihe nke otu ngwa karịrị oke njikwa, ị nwere ike iji chaatị njikwa chọpụta ma nke a bụ mgbanwe ebumpụta ụwa ma ọ bụ ihe na-egosi na ngwaọrụ adịghị arụ ọrụ nke ọma.

4. Itinye SPC n'ọrụ na akụrụngwa etching

N'ime usoro etching, njikwa paramita akụrụngwa dị oke mkpa, SPC na-enyekwa aka melite nkwụsi ike usoro n'ụzọ ndị a:

Nlekota Ọnọdụ Ngwaọrụ: Sistemụ dịka FDC na-anakọta data oge-oge na paramita dị mkpa nke akụrụngwa etching (dịka ọmụmaatụ, ike RF, mmiri gas) ma jikọta data a na chaatị njikwa SPC iji chọpụta nsogbu akụrụngwa nwere ike inwe. Dịka ọmụmaatụ, ọ bụrụ na ị hụ na ike RF dị na chaatị njikwa na-agbanwe nwayọ nwayọ site na uru edobere, ị nwere ike ime ihe n'oge maka mgbanwe ma ọ bụ mmezi iji zere imetụta ịdị mma ngwaahịa.

Nlekota Ogo Ngwaahịa: I nwekwara ike itinye paramita ogo ngwaahịa dị mkpa (dịka ọmụmaatụ, omimi etch, linewidth) n'ime sistemụ SPC iji nyochaa nkwụsi ike ha. Ọ bụrụ na ụfọdụ ihe ngosi ngwaahịa dị mkpa na-apụ n'anya site na ụkpụrụ ebumnuche, sistemụ SPC ga-enye mkpu, na-egosi na achọrọ mgbanwe usoro.

Nlekọta Mgbochi (PM): SPC nwere ike inye aka mee ka usoro mmezi mgbochi maka akụrụngwa dịkwuo mma. Site na inyocha data ogologo oge na arụmọrụ akụrụngwa na nsonaazụ usoro, ị nwere ike ikpebi oge kacha mma maka mmezi akụrụngwa. Dịka ọmụmaatụ, site na inyocha ike RF na ndụ ESC, ị nwere ike ikpebi mgbe achọrọ nhicha ma ọ bụ nnọchi akụkụ, na-ebelata ọnụego ọdịda akụrụngwa na oge mmepụta.

5. Ndụmọdụ Ojiji Kwa Ụbọchị maka Sistemụ SPC

Mgbe ị na-eji sistemụ SPC arụ ọrụ kwa ụbọchị, enwere ike ịgbaso usoro ndị a:

Kọwaa Paramita Njikwa Isi (KPI): Chọpụta paramita kachasị mkpa n'usoro mmepụta ma tinye ha na nlekota SPC. Paramita ndị a kwesịrị inwe njikọ chiri anya na ịdị mma ngwaahịa na arụmọrụ akụrụngwa.

Tọọ Oke Njikwa na Oke Mkpu: Dabere na data akụkọ ihe mere eme na ihe achọrọ maka usoro, setịpụ oke njikwa na oke mkpu ezi uche dị na ya maka paramita ọ bụla. A na-edobe oke njikwa na ±3σ (nhazi ọkọlọtọ), ebe oke mkpu dabere na ọnọdụ kpọmkwem nke usoro na akụrụngwa.

Nlekota na Nnyocha Na-aga n'ihu: Na-enyocha chaatị njikwa SPC mgbe niile iji nyochaa usoro data na mgbanwe dị iche iche. Ọ bụrụ na ụfọdụ paramita gafere oke njikwa, a chọrọ ime ihe ozugbo, dị ka ịgbanwe paramita akụrụngwa ma ọ bụ ịrụzi akụrụngwa.

Njikwa Ihe Na-adịghị Mma na Nnyocha Ihe Na-akpata Mgbọrọgwụ: Mgbe nsogbu mere, sistemụ SPC na-edekọ ozi zuru ezu gbasara ihe merenụ. Ịkwesịrị idozi nsogbu ma nyochaa isi ihe kpatara nsogbu ahụ dabere na ozi a. Ọ na-adịkarị mfe ijikọta data sitere na sistemụ FDC, sistemụ EES, wdg, iji nyochaa ma nsogbu ahụ ọ bụ n'ihi ọdịda akụrụngwa, mgbanwe usoro, ma ọ bụ ihe ndị metụtara gburugburu ebe obibi mpụga.

Mmezi Na-aga n'ihu: Site na iji data akụkọ ihe mere eme nke sistemụ SPC dekọrọ, chọpụta ebe ndị na-adịghị ike na usoro ahụ ma tụọ aro atụmatụ mmezi. Dịka ọmụmaatụ, na usoro ịkpụcha ihe, nyochaa mmetụta nke ndụ ESC na ụzọ nhicha na usoro mmezi akụrụngwa ma na-emeziwanye paramita ọrụ akụrụngwa mgbe niile.

6. Ikpe Ngwa Bara Uru

Dịka ihe atụ bara uru, were ya na ọ bụ gị na-ahụ maka ngwa etching E-MAX, cathode nke chamber na-enweta mmebi tupu oge eruo, nke na-eduga na mmụba na uru D0 (BARC defect). Site na inyocha ike RF na ọnụego etch site na sistemụ SPC, ị na-ahụ usoro ebe paramita ndị a na-esi nwayọ nwayọ pụọ na ụkpụrụ edobere ha. Mgbe emechara mkpu SPC, ị na-ejikọta data sitere na sistemụ FDC wee chọpụta na nsogbu ahụ sitere na njikwa okpomọkụ na-adịghị agbanwe agbanwe n'ime ụlọ ahụ. Mgbe ahụ, ị ​​na-etinye usoro nhicha na atụmatụ mmezi ọhụrụ, na-emesịa belata uru D0 site na 4.3 ruo 2.4, si otú a na-eme ka mma ngwaahịa dịkwuo mma.

7. Na XINKEHUI ị nwere ike nweta.

Na XINKEHUI, ị nwere ike nweta wafer zuru oke, ma ọ bụ wafer silicon ma ọ bụ wafer SiC. Anyị bụ ọkachamara n'inye wafer dị elu maka ụlọ ọrụ dị iche iche, na-elekwasị anya na nkenke na arụmọrụ.