Nghọta miri emi nke Sistemụ SPC na nrụpụta Wafer

1. Nchịkọta nke Sistemụ SPC

SPC bụ usoro na-eji usoro ndekọ ọnụ ọgụgụ iji nyochaa na ịchịkwa usoro nrụpụta. Isi ọrụ ya bụ ịchọpụta anomalies na usoro mmepụta site na ịnakọta na nyochaa data oge, na-enyere ndị injinia aka ime mgbanwe na mkpebi oge. Ebumnobi nke SPC bụ ibelata mgbanwe na usoro mmepụta, hụ na àgwà ngwaahịa na-anọgidesi ike ma na-ezute nkọwa.

A na-eji SPC mee ihe n'usoro etching ka:

Nyochaa akụrụngwa akụrụngwa dị oke mkpa (dịka ọmụmaatụ, ọnụego etch, ike RF, nrụgide ụlọ, okpomọkụ, wdg)

Nyochaa ihe nrịbama njirimara ngwaahịa bụ isi (dịka ọmụmaatụ, linewidth, etch omimi, ihu adịghị ike, wdg)

Site n'ịleba anya n'ihe ndị a, ndị injinia nwere ike ịchọpụta usoro na-egosi mmebi akụrụngwa ma ọ bụ ndahie na usoro mmepụta, si otú a na-ebelata ọnụ ahịa nsị.

2. Ihe ndị bụ isi nke Sistemụ SPC

Usoro SPC nwere ọtụtụ modul igodo:

Module mkpokọta data: Na-anakọta data ozugbo sitere na akụrụngwa yana usoro usoro (dịka ọmụmaatụ, site na FDC, EES sistemu) wee dekọọ paramita dị mkpa na nsonaazụ mmepụta.

Module Chart Control: Na-eji chaatị njikwa ndekọ ọnụ ọgụgụ (dịka ọmụmaatụ, X-Bar chart, R chart, Cp/Cpk chart) iji hụ nkwụsi ike nke usoro wee nyere aka chọpụta ma usoro a na-achịkwa.

Sistemụ mkpu: Na-akpalite mkpu mgbe paramita dị oke egwu gafere oke njikwa ma ọ bụ gosi mgbanwe omume, na-akpali ndị injinia ime ihe.

Modul nyocha na mkpesa: Nyochaa isi ihe kpatara anomalies dabere na eserese SPC ma na-ewepụta akụkọ arụmọrụ mgbe niile maka usoro na akụrụngwa.

3. Nkọwa zuru ezu nke chaatị njikwa na SPC

Chaatị njikwa bụ otu n'ime ngwaọrụ ndị a na-ejikarị eme ihe na SPC, na-enyere aka ịmata ọdịiche dị n'etiti "ọdịiche nkịtị" (nke n'ihi mgbanwe usoro okike) na "ọdịiche dị iche iche" (nke kpatara ọdịda akụrụngwa ma ọ bụ nhazi usoro). Chaatị njikwa nkịtị gụnyere:

Charts X-Bar na R: A na-eji nyochaa ihe pụtara na nso n'ime batches mmepụta iji hụ ma usoro ahụ kwụsiri ike.

Cp na Cpk Indices: A na-eji tụọ ike usoro, ya bụ, ma mmepụta usoro nwere ike na-egbo mkpa nkọwapụta. Cp na-atụle ike nwere ike, ebe Cpk na-atụle ngbanwe nke etiti usoro site na njedebe nkọwapụta.

Dịka ọmụmaatụ, n'ime usoro etching, ị nwere ike nyochaa paramita dị ka ọnụego etch na ịdị nro n'elu. Ọ bụrụ na ọnụ ọgụgụ etch nke ụfọdụ ngwa ngwa gafere oke njikwa, ị nwere ike iji chaatị njikwa iji chọpụta ma nke a ọ bụ mgbanwe okike ma ọ bụ ihe na-egosi adịghị arụ ọrụ akụrụngwa.

4. Ngwa nke SPC na Etching Equipment

N'ime usoro etching, njikwa parampat akụrụngwa dị oke mkpa, yana SPC na-enyere aka melite nkwụsi ike usoro n'ụzọ ndị a:

Nleba anya ọnọdụ akụrụngwa: Sistemu dị ka FDC na-anakọta data ozugbo na paramita dị mkpa nke akụrụngwa etching (dịka, ike RF, ikuku gas) wee jikọta data a na eserese njikwa SPC iji chọpụta nsogbu akụrụngwa nwere ike. Dịka ọmụmaatụ, ọ bụrụ n'ịhụ na ike RF dị na chaatị njikwa na-eji nwayọọ nwayọọ na-apụ na uru a tọhapụrụ, ị nwere ike ime ihe n'oge maka mmezi ma ọ bụ mmezi iji zere imetụta àgwà ngwaahịa.

Nleba anya ogo ngwaahịa: Ị nwekwara ike itinye parampat ogo ngwaahịa ngwaahịa (dịka ọmụmaatụ, omimi etch, linewidth) n'ime sistemụ SPC iji nyochaa nkwụsi ike ha. Ọ bụrụ na ụfọdụ ihe nrịbama ngwaahịa dị oke mkpa ji nwayọọ nwayọọ pụọ na ụkpụrụ ebumnuche, sistemụ SPC ga-enye mkpu, na-egosi na ọ dị mkpa ka a gbanwee usoro.

Mmezi Mgbochi (PM): SPC nwere ike inye aka kwalite usoro mgbochi mgbochi maka akụrụngwa. Site n'inyocha data ogologo oge na arụmọrụ akụrụngwa na nsonaazụ usoro, ị nwere ike ikpebi oge kacha mma maka ndozi akụrụngwa. Dịka ọmụmaatụ, site na nyochaa ike RF na ogologo ndụ ESC, ị nwere ike ikpebi mgbe achọrọ nhicha ma ọ bụ ngbanwe akụrụngwa, na-ebelata ọnụego ọdịda akụrụngwa na oge mmepụta.

5. Atụmatụ ojiji kwa ụbọchị maka Sistemụ SPC

Mgbe ị na-eji usoro SPC na arụ ọrụ kwa ụbọchị, enwere ike ịgbaso usoro ndị a:

Kọwaa ihe njikwa njikwa igodo (KPI): Chọpụta paramita kachasị mkpa na usoro mmepụta ma tinye ha na nlekota SPC. Akụkụ ndị a kwesịrị inwe njikọ chiri anya na ịdịmma ngwaahịa na arụmọrụ akụrụngwa.

Tọọ oke njikwa na oke mkpu: Dabere na data akụkọ ihe mere eme na usoro chọrọ, debe oke njikwa ezi uche na oke mkpu maka oke ọ bụla. A na-edobe oke nchịkwa na ± 3σ (ọkọlọtọ ọkọlọtọ), ebe oke mkpu na-adabere na ọnọdụ kpọmkwem nke usoro na akụrụngwa.

Nleba anya na nyocha na-aga n'ihu: Na-enyocha chaatị njikwa SPC mgbe niile iji nyochaa usoro data na ndịiche. Ọ bụrụ na ụfọdụ parampat gafere oke njikwa, ọ dị mkpa ime ihe ozugbo, dị ka ịhazigharị paramita akụrụngwa ma ọ bụ ịrụ ọrụ ndozi akụrụngwa.

Ijikwa ihe na-adịghị mma na nyocha ihe kpatara mgbọrọgwụ: Mgbe ihe na-adịghị mma mere, usoro SPC na-edekọ ozi zuru ezu gbasara ihe merenụ. Ịkwesịrị ịchọta nsogbu na nyochaa isi ihe kpatara adịghị mma dabere na ozi a. Ọ na-enwekarị ike ijikọ data sitere na sistemụ FDC, usoro EES, wdg, iji nyochaa ma okwu a bụ n'ihi ọdịda akụrụngwa, ngbanwe usoro, ma ọ bụ ihe gburugburu ebe obibi.

Ọganihu na-aga n'ihu: Iji data akụkọ ihe mere eme nke usoro SPC dekọrọ, chọpụta ebe adịghị ike na usoro ahụ wee tụọ atụmatụ nkwalite. Dịka ọmụmaatụ, n'ime usoro etching, nyochaa mmetụta nke ndụ ESC na ụzọ ihicha na usoro nhazi akụrụngwa ma na-ebuli ngwa ngwa na-arụ ọrụ.

6. Okwu Ngwa bara uru

Dị ka ihe atụ bara uru, were ya na ọ bụ gị na-ahụ maka ngwa etching E-MAX, na chamber cathode na-enwe ike iyi akaghi aka, na-eduga n'ịbawanye na ụkpụrụ D0 ( ntụpọ BARC). Site n'ịleba anya ike RF na ọnụ ọgụgụ etch site na sistemụ SPC, ị na-ahụ ihe na-eme ebe parampat ndị a ji nke nta nke nta pụọ ​​na ụkpụrụ ha setịpụrụ. Mgbe agbanyere oti mkpu SPC, ị na-ejikọta data sitere na sistemụ FDC wee chọpụta na ihe kpatara nsogbu ahụ bụ njikwa okpomọkụ na-akwụghị ụgwọ n'ime ụlọ ahụ. Ị mejuputa ụzọ nhicha ọhụrụ na atụmatụ mmezi, mechaa belata uru D0 site na 4.3 ruo 2.4, si otú ahụ kwalite ogo ngwaahịa.

7.Na XINKEHUI ị nwere ike nweta.

Na XINKEHUI, ị nwere ike nweta wafer zuru oke, ma ọ bụ silicon wafer ma ọ bụ SiC wafer. Anyị pụrụ iche na-ebuga wafers dị elu maka ụlọ ọrụ dị iche iche, na-elekwasị anya na nkenke na arụmọrụ.