N'imepụta semiconductor, ọ bụ ezie na fotolithography na etching bụ usoro a na-akpọkarị, usoro epitaxial ma ọ bụ thin film deposition dịkwa oke mkpa. Isiokwu a na-ewebata ọtụtụ ụzọ e si etinye fim dị gịrịgịrị nke a na-ejikarị eme ihe n'ịmepụta chip, gụnyereMOCVD, ihe na-eme ka magnetron gbasaa, naPECVD.
Gịnị mere usoro ihe nkiri dị gịrịgịrị ji dị mkpa n'ịmepụta chip?
Dịka ọmụmaatụ, chee echiche banyere achịcha dị larịị e siri n'ọkụ. Ọ nwere ike ịtọ ụtọ nke ọma. Agbanyeghị, site n'iji ihendori dị iche iche tee elu ya—dị ka ihe e ji agwa dị ụtọ ma ọ bụ sirop malt dị ụtọ—ị nwere ike ịgbanwe ụtọ ya kpamkpam. Ihe mkpuchi ndị a na-eme ka ụtọ dịkwuo mma yiri nke ahụ.ihe nkiri dị gịrịgịrịna usoro semiconductor, ebe achịcha dị larịị n'onwe ya na-anọchite anya yaihe mejupụtara.
N'ịmepụta chip, ihe nkiri dị gịrịgịrị na-arụ ọrụ dị iche iche—mkpuchi, njikwa ike, passivation, nnabata ìhè, wdg—ọrụ ọ bụla chọkwara usoro itinye ihe.
1. Mwepụ nke ihe na-esi n'ígwè na-emepụta uzuoku kemịkalụ (MOCVD)
MOCVD bụ usoro dị elu ma zie ezi nke e ji etinye ihe nkiri dị gịrịgịrị na ihe owuwu semiconductor dị elu. Ọ na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ịmepụta ngwaọrụ dịka LED, laser, na eletrọniki ike.
Isi ihe dị na Sistemụ MOCVD:
- Sistemụ Nnyefe Gas
Ọ bụ ya na-ahụ maka ntinye kpọmkwem nke ihe ndị na-eme mmeghachi omume n'ime ụlọ mmeghachi omume. Nke a gụnyere njikwa mmiri nke:
-
Gas ndị na-ebu ibu
-
Ihe ndị na-ebute ụzọ metal-organic
-
Gas hydride
Sistemụ ahụ nwere valvụ dị iche iche maka ịgbanwe n'etiti usoro uto na nhazi.
-
Ụlọ Mmeghachi Omume
Isi ihe dị n'ime sistemụ ahụ ebe ihe ndị dị n'ime ya na-eto. Ihe ndị mejupụtara ya gụnyere:-
graphite susceptor (njide substrate)
-
Ihe mmetụta okpomọkụ na okpomọkụ
-
Ọdụ ụgbọ mmiri anya maka nlekota n'ime ebe ahụ
-
Ogwe aka robot maka ibu/ibudata wafer akpaka
-
- Sistemụ Njikwa Uto
Ọ nwere ndị na-achịkwa usoro ihe omume na kọmputa a na-ahazi. Nke a na-eme ka a hụ na a na-enyocha ya nke ọma ma na-emegharị ya n'oge usoro ihe omume ahụ. -
Nlekota n'ime ụlọ
Ngwaọrụ dịka pyrometers na reflectometers na-atụ:-
Ọkpụrụkpụ nke ihe nkiri ahụ
-
Okpomọkụ elu
-
Ngụkọta ala
Ndị a na-enye ohere ka a na-eme mgbanwe na nzaghachi oge.
-
- Sistemụ Ọgwụgwọ Ikuku
Na-agwọ ihe ndị na-egbu egbu site na iji okpomọkụ decomposition ma ọ bụ kemịkal catalysis iji hụ na nchekwa na gburugburu ebe obibi na-agbaso.
Nhazi Isi Mmiri A Na-ejikọ Emechiri Emechi (CCS):
N'ime ihe nrụpụta MOCVD kwụ ọtọ, nhazi CCS na-enye ohere ka a gbanye gas n'otu ụzọ site na nozzles na-agbanwe agbanwe n'ime usoro isi mmiri ịsa ahụ. Nke a na-ebelata mmeghachi omume tupu oge eruo ma na-eme ka ngwakọta otu ahụ ka mma.
-
Iheihe na-egbochi graphite na-agbagharịna-enyere aka mee ka oke gas dị n'otu, na-eme ka otu ihe nkiri dị n'ofe wafer ahụ dịkwuo mma.
2. Ịkụnye Magnetron
Ịfụfe magnetron bụ usoro e ji etinye ihe mkpuchi na ihe mkpuchi anụ ahụ (PVD) nke a na-ejikarị etinye ihe nkiri na ihe mkpuchi dị gịrịgịrị, ọkachasị na ngwa eletrọnịkị, ihe onyonyo, na seramiiki.
Ụkpụrụ Ọrụ:
-
Ihe Ebumnobi
A na-etinye ihe e ji ewepụ ihe ndị dị mkpa—ígwè, oxide, nitride, wdg—n'elu katọde. -
Ụlọ Mmanya
A na-eme usoro a n'okpuru nnukwu oghere iji zere mmetọ. -
Ọgbọ Plasma
A na-eme ka gas na-adịghị arụ ọrụ, nke a na-akpọkarị argon, ghọọ ion ka ọ ghọọ plasma. -
Ngwa Ọdụ Igwe Magnetik
Ọdụ magnet na-egbochi elektrọn dị nso na ihe mgbaru ọsọ iji mee ka arụmọrụ ionization dịkwuo mma. -
Usoro Ịgbasa
Ion na-atụba ihe a na-achọ, na-ewepụ atọm ndị na-agafe n'ime ụlọ ahụ ma na-etinye n'elu ihe ahụ.
Uru nke Magnetron Sputtering:
-
Ntinye ihe nkiri otun'ofe nnukwu ebe.
-
Ike Itinye Ngwakọta Dị Mgbagwoju Anya, gụnyere alloy na seramiiki.
-
Usoro nhazi nwere ike ịgbanwe agbanwemaka njikwa ziri ezi nke ọkpụrụkpụ, nhazi, na nhazi microstructure.
-
Ogo Ihe Nkiri Dị Elunwere nrapado siri ike na ike igwe.
-
Ndakọrịta Ihe Nile, site na ọla ruo oxides na nitrides.
-
Ọrụ Okpomọkụ Dị Ala, dabara adaba maka ihe ndị na-emetụta okpomọkụ.
3. Mwepụ Mmiri Kemịkalụ Emelitere Site na Plasma (PECVD)
A na-ejikarị PECVD eme ihe maka itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị dịka silicon nitride (SiNx), silicon dioxide (SiO₂), na silicon amorphous.
Ụkpụrụ:
N'ime sistemụ PECVD, a na-etinye gas ndị na-ebute ụzọ n'ime oghere ikuku ebe aplasma mwepụta ọkụa na-emepụta site na iji:
-
Mmetụta RF
-
DC voltaji dị elu
-
Ngwa ndakwa nri ma ọ bụ ihe ndị e ji esi nri
Plasma ahụ na-eme ka mmeghachi omume gas-phase rụọ ọrụ, na-emepụta ụdị mmeghachi omume nke na-etinye na substrate ahụ iji mepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị.
Nzọụkwụ Nnyefe:
-
Nhazi Plasma
N'ịbụ ndị nwere obi ụtọ site na ubi elektrọnik, gas ndị na-ebute ụzọ na-aghọ ionize iji mepụta radicals na ions na-emegharị ahụ. -
Mmeghachi omume na Ụgbọ njem
Ụdị ndị a na-enweta mmeghachi omume nke abụọ ka ha na-aga n'ihu na substrate ahụ. -
Mmeghachi omume elu
Mgbe ha rutere n'okpuru ihe ahụ, ha na-amịkọrọ, na-emeghachi omume, ma na-emepụta ihe siri ike. Ụfọdụ ihe ndị na-esi na ya apụta dị ka gas.
Uru PECVD:
-
Ịdị n'otu dị mmana nhazi ihe nkiri na ọkpụrụkpụ ya.
-
Nrapara siri ikeọbụlagodi na obere okpomọkụ nke itinye ihe.
-
Ọnụego Mbelata Dị Elu, na-eme ka ọ dabara adaba maka mmepụta ihe n'ụlọ ọrụ mmepụta ihe.
4. Usoro Njirimara Ihe Nkiri Dị Mkpirikpi
Ịghọta ihe ndị dị na fim dị gịrịgịrị dị mkpa maka njikwa mma. Usoro ndị a na-ejikarị eme ihe gụnyere:
(1) Mgbasa X-ray (XRD)
-
Ebumnuche: Nyochaa nhazi kristal, ihe ndị na-agbanwe agbanwe, na ntụzịaka.
-
Ụkpụrụ: Dabere na Iwu Bragg, a na-atụ otu X-ray si agbasa site na ihe kristal.
-
Ngwa: Nlele kristal, nyocha usoro, nha nrụgide, na nyocha ihe nkiri dị gịrịgịrị.
(2) Nyocha Electron Microscopy (SEM)
-
Ebumnuche: Lee ọdịdị elu na obere nhazi.
-
Ụkpụrụ: Na-eji eriri elektrọn iji nyochaa elu ihe nlele ahụ. Ihe mgbaàmà achọpụtara (dịka ọmụmaatụ, elektrọn nke abụọ na nke azụ gbasasịrị) na-ekpughe nkọwa elu ahụ.
-
Ngwa: Sayensị ihe, nanotech, bayoloji, na nyocha ọdịda.
(3) Ngwakọta ike Atọm (AFM)
-
Ebumnuche: Ebe onyonyo dị na mkpebi atọm ma ọ bụ nanometer.
-
Ụkpụrụ: Nnyocha dị nkọ na-enyocha elu ahụ ma na-ejigide ike mmekọrịta mgbe niile; mgbanwe kwụ ọtọ na-emepụta ọdịdị ala 3D.
-
Ngwa: Nnyocha nanostructure, nha oke iru ala, ọmụmụ ihe gbasara biomolecular.
Oge ozi: Jun-25-2025