Aha: Gịnị bụ FOUP na Chip Manufacturing?

Tebulu ọdịnaya

1. Nchịkọta na Ọrụ Ndị Isi nke FOUP

2. Ọdịdị na atụmatụ atụmatụ nke FOUP

3.Nhazi na ntuziaka ngwa nke FOUP

4.Ọrụ na mkpa nke FOUP na Semiconductor Manufacturing

5. Ihe ịma aka nka na ihe mmepe mmepe n'ọdịnihu

Ngwọta ahaziri 6.XKH na nkwado ọrụ

N'ime usoro nrụpụta semiconductor, Front Opening Unified Pod (FOUP) bụ akpa dị oke mkpa ejiri maka ichekwa, ibugharị na ịchekwa wafer. N'ime ime ya nwere ike ịnweta iberibe 25 nke 300mm wafers, ihe ndị bụ isi ya gụnyere akpa oghere n'ihu na oghere ọnụ ụzọ raara onwe ya nye maka imeghe na imechi. FOUP bụ isi ihe na-ebu ụgbọ njem na-akpaghị aka n'ime 12inch wafer fabs. A na-ebukarị ya na steeti mechiri emechi ma na-emepe naanị mgbe a na-ebugharị ya n'ọdụ ụgbọ mmiri akụrụngwa, na-enye ohere ka ebufe wafer n'ọdụ ụgbọ mmiri nke nbudata/ebufe ngwa.

Emebere atụmatụ FOUP ka ọ bụrụ ihe achọrọ maka obere gburugburu. Ọ na-egosipụta oghere dị n'azụ maka ntinye wafer, yana mkpuchi ka emebere ya ka ọ kwekọọ na mgbachi nke mmeghe. Robots na-ejikwa Wafer na-arụ ọrụ na mpaghara ikuku dị ọcha nke klaasị 1, na-ahụ na emebighị wafers n'oge nnyefe. Ọzọkwa, a na-ebugharị FOUP n'etiti ngwaọrụ nhazi site na sistemụ njikwa ihe akpaaka (AMHS). Faịlụ wafer ọgbara ọhụrụ na-ejikarị sistemu ụgbọ oloko dị elu maka njem, ebe fabs ole na ole meworo agadi nwere ike iji ụgbọ ala eduzi akpaghị aka (AGV).

FOUP abụghị naanị na-enyere mbufe wafer na-akpaghị aka kama ọ na-arụkwa ọrụ nchekwa. N'ihi ọtụtụ usoro nrụpụta, wafers nwere ike iwe ọtụtụ ọnwa iji mezue usoro a dum. Ejikọtara ya na oke mmepụta kwa ọnwa, nke a pụtara na iri puku kwuru iri puku wafers n'ime fab na-aga n'ihu ma ọ bụ nchekwa nwa oge n'oge ọ bụla. N'oge nchekwa, a na-eji nitrogen na-asachapụ FOUP mgbe ụfọdụ iji gbochie mmetọ site na ịkpọtụrụ wafers, na-ahụ na usoro mmepụta dị ọcha na nke a pụrụ ịdabere na ya.

1. Ọrụ na mkpa nke FOUP

Ọrụ bụ isi nke FOUP bụ ichekwa wafers pụọ na ujo na mmetọ mpụga, ọkachasị na-ezere mmetụta na mkpụrụ n'oge mbufe. Ọ na-egbochi mmiri nke ọma site na ụzọ dị ka nchacha gas na njikwa ikuku mpaghara (LAC), na-ahụ na wafers ka nọ n'ọnọdụ nchekwa ma na-eche usoro nrụpụta ọzọ. Usoro akara ya na nke a na-achịkwa na-enye ohere naanị ogige na ihe ndị dị mkpa ịbanye, na-ebelata mmetụta ọjọọ nke VOC, oxygen, na mmiri na wafers.

Ebe ọ bụ na FOUP juru n'ụzọ zuru ezu nke nwere wafer 25 nwere ike ịdị ihe ruru kilogram 9, njem ya ga-adabererịrị na Sistemụ njikwa ihe eji arụ ọrụ (AMHS). Iji mee ka nke a dị mfe, a na-emepụta FOUP na ngwakọta dị iche iche nke efere njikọ, ntụtụ, na oghere, ma nwee mkpado eletrọnịkị RFID maka njirimara na nhazi dị mfe. Ijikwa a na-akpaghị aka na-achọ ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ enweghị ọrụ aka, na-ebelata ọnụego njehie na ịkwalite nchekwa na izi ezi nke usoro nrụpụta.

2. Ọdịdị na nhazi ọkwa nke FOUP

Ụdị akụkụ nke FOUP dị ihe dịka 420 mm n'obosara, 335 mm n'ime omimi, na 335 mm n'ịdị elu. Ihe mejupụtara ya bụ isi gụnyere: OHT dị elu (isi ero) maka ibufe ebuli elu; a n'ihu Ọnụ ụzọ maka akụrụngwa wafer ohere; Akụkụ aka, na-ejikarị agba agba iji chọpụta mpaghara usoro nwere ọkwa mmetọ dị iche iche; ebe kaadị maka itinye kaadị ozi; na akara RFID ala nke na-eje ozi dị ka ihe nchọpụta pụrụ iche maka FOUP, na-enye ohere ngwaọrụ na ndị na-ebufe elu ka ha mata ya. A na-edozikwa ntọala ahụ na njirimara anọ na oghere maka ịkwado na ngwá ọrụ na mpaghara nhazi usoro.

Dabere na ojiji, FOUP bụ nkewa n'ụdị atọ: PRD (maka mmepụta), ENG (maka wafer injinịa), na MON (maka wafers nyocha). Enwere ike iji PRD FOUPs maka nrụpụta ngwaahịa, ụdị ENG dabara maka R&D ma ọ bụ nnwale, na ụdị MON raara onwe ya nye nhazi nlekota oru maka usoro dị ka CMP na DIFF. Ọ dị mkpa iburu n'uche na enwere ike iji PRD FOUP maka ebumnuche ENG na MON, yana ụdị ENG nwere ike iji maka MON, mana ọrụ ntụgharị na-ebute ihe egwu dị mma.

Nkewa site na ọkwa mmetọ, FOUP nwere ike kewaa n'ime FE FOUP (usoro n'ihu, enweghị ígwè), BE FOUP (usoro azụ azụ, nwere ígwè), na ndị ọkachamara maka usoro ígwè dị ka NI FOUP, CU FOUP, na CO FOUP. A na-amakarị FOUPs maka usoro dị iche iche site na agba nke aka akụkụ ma ọ bụ akụkụ ọnụ ụzọ. Enwere ike iji FOUPs sitere na usoro njedebe n'ihu na usoro azụ azụ, mana FOUPs azụ azụ agaghị eji usoro njedebe n'ihu, n'ihi na nke a ga-ebute ihe egwu mmetọ.

Dịka onye na-ebu ibu na nrụpụta semiconductor, FOUP, site na akpaaka dị elu na njikwa mmetọ siri ike, na-eme ka nchekwa na ịdị ọcha nke wafer n'oge usoro mmepụta, na-eme ka ọ bụrụ akụrụngwa dị mkpa na akwa wafer ọgbara ọhụrụ.

Mmechi

XKH na-agba mbọ inye ndị ahịa ihe ngwọta ahaziri nke ọma n'ihu-Opening Unified Pod (FOUP), na-agbasosi ike na usoro ihe achọrọ na nkọwapụta ngwa ngwa. N'iji teknụzụ ihe dị elu na usoro nrụpụta ziri ezi, anyị na-ahụ na ngwaahịa FOUP ọ bụla na-ewepụta ikuku ikuku, ịdị ọcha na nkwụsi ike nke igwe. Ndị otu anyị na-arụ ọrụ na-arụ ọrụ nwere nnukwu nka ụlọ ọrụ, na-enye nkwado okirikiri ndụ zuru oke-site na nyocha nhọrọ na njikarịcha nhazi ruo ihicha na mmezi - na-ahụ na njikọta enweghị nkebi na mmekorita dị mma n'etiti FOUP na Sistemụ njikwa ihe eji eme ihe (AMHS) yana akụrụngwa nhazi. Anyị na-ebute ụzọ nchekwa nke wafers na nkwalite mmepụta ihe dị ka ebumnuche anyị bụ isi. Site na ngwaahịa ọhụrụ na ọrụ teknụzụ zuru oke, anyị na-enye nkwa siri ike maka usoro nrụpụta semiconductor gị, n'ikpeazụ na-akwalite nrụpụta nrụpụta yana mkpụrụ ngwaahịa.