Aha: Gịnị bụ FOUP na Mmepụta Chip?

Tebulu ọdịnaya

1. Nchịkọta na Ọrụ Ndị Dị Mkpa nke FOUP

2.​Atụmatụ nhazi na imewe nke FOUP​

3. Nhazi na Ntuziaka Ngwa nke FOUP

4. Ọrụ na Mkpa FOUP dị na Mmepụta Semiconductor

5. Ihe ịma aka teknụzụ na usoro mmepe n'ọdịnihu

6. Ngwọta na Nkwado Ọrụ ahaziri ahazi nke XKH

N'usoro mmepụta semiconductor, Front Opening Unified Pod (FOUP) bụ akpa dị mkpa eji echebe, ibuga, na ịchekwa wafers. Ime ya nwere ike ịnabata iberibe wafers 25 nke 300mm, ihe ndị bụ isi ya gụnyere akpa mepere emepe n'ihu na etiti ọnụ ụzọ raara onwe ya nye maka imeghe na imechi. FOUP bụ ihe ebu ibu dị mkpa na sistemụ njem akpaka n'ime wafer fab 12inch. A na-ebuga ya n'ọnọdụ mechiri emechi ma na-emepe naanị mgbe a na-akwaga ya na ọdụ ibu ngwa, na-enye ohere ka ebufe wafers n'ọdụ ibu ngwa na-ebu/ibudata ngwa.

Nhazi nke FOUP dabara na ihe achọrọ maka obere gburugburu ebe obibi. O nwere oghere dị n'azụ maka itinye wafer, a na-emekwa mkpuchi ahụ kpọmkwem ka ọ dabara na mkpọchi nke ihe mmeghe ahụ. Rọbọt ndị na-ejikwa wafer na-arụ ọrụ na gburugburu ikuku dị ọcha nke Klas 1, na-ahụ na wafers anaghị emerụ ahụ n'oge nnyefe. Ọzọkwa, a na-ebugharị FOUP n'etiti ngwaọrụ usoro site na sistemụ njikwa ihe akpaaka (AMHS). Fab wafer nke oge a na-ejikarị sistemụ ụgbọ okporo ígwè dị n'elu maka njem, ebe fab ole na ole ochie nwere ike iji ụgbọala nduzi akpaaka nke dabere na ala (AGVs).

FOUP anaghị ekwe ka mbufe wafer akpaaka rụọ ọrụ, kamakwa ọ na-arụ ọrụ nchekwa. N'ihi ọtụtụ usoro nrụpụta, wafer nwere ike were ọnwa iji mezue usoro ọrụ ahụ dum. Ejikọtara ya na nnukwu oke mmepụta kwa ọnwa, nke a pụtara na ọtụtụ puku wafer dị n'ime fab na-anọ mgbe niile na nchekwa ma ọ bụ na-adịru nwa oge n'oge ọ bụla. N'oge nchekwa, a na-eji nitrogen ehichapụ FOUPs mgbe niile iji gbochie mmetọ ịbanye na wafers ahụ, na-eme ka usoro mmepụta dị ọcha ma bụrụ nke a pụrụ ịtụkwasị obi.

1. Ọrụ na Mkpa nke FOUP

Isi ọrụ nke FOUP bụ ichebe wafers site na ujo na mmetọ mpụga, ọkachasị izere mmetụta na mmepụta n'oge mbufe. Ọ na-egbochi mmiri nke ọma site na usoro dị ka nhicha gas na Njikwa Ikuku Obodo (LAC), na-eme ka wafers nọgide na-adị mma mgbe a na-eche usoro nrụpụta ọzọ. Sistemụ ya nke a kpọchiri akpọchi ma na-achịkwa na-enye ohere naanị ihe ndị dị mkpa na ihe ndị dị mkpa ịbanye, na-ebelata mmetụta ọjọọ nke VOCs, oxygen, na mmiri na wafers nke ukwuu.

Ebe ọ bụ na FOUP juputara na wafers iri abụọ na ise nwere ike ịdị kilogram itoolu, ibugharị ya ga-adabere na Sistemụ Njikwa Ihe Akpaaka (AMHS). Iji mee ka nke a dị mfe, e mere FOUP ahụ site na ijikọta efere njikọ, pin, na oghere dị iche iche, e nwekwara akara eletrọniki RFID maka njirimara na nhazi dị mfe. Njikwa akpaaka a achọghị ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ọrụ aka, na-ebelata oke njehie ma na-eme ka nchekwa na izi ezi nke usoro nrụpụta dịkwuo mma.

2. Nhazi na nhazi nke FOUP

Akụkụ nkịtị nke FOUP bụ ihe dị ka 420 mm n'obosara, 335 mm n'obosara, na 335 mm n'ịdị elu. Ihe ndị bụ isi mejupụtara ya gụnyere: OHT dị n'elu (isi ero) maka ibufe ihe n'elu; Ọnụ ụzọ dị n'ihu maka ịnweta wafer ngwa; Aka n'akụkụ, nke a na-ejikarị agba iji mata mpaghara usoro nwere ọkwa mmetọ dị iche iche; mpaghara Kaadị maka itinye kaadị ozi; na akara RFID dị n'okpuru nke na-eje ozi dị ka ihe njirimara pụrụ iche maka FOUP, na-enye ngwaọrụ na ihe n'elu ihe iji mata ya. E nwekwara oghere njirimara na ọnọdụ anọ maka ijikọ na ngwaọrụ na mpaghara usoro dị iche iche.

Dabere na ojiji, a na-ekewa FOUP n'ụdị atọ: PRD (maka mmepụta), ENG (maka wafers injinia), na MON (maka wafers monitor). Enwere ike iji PRD FOUPs maka imepụta ngwaahịa, ụdị ENG dabara adaba maka R&D ma ọ bụ nnwale, a na-etinyekwa ụdị MON n'ọrụ nlekota nhazi maka usoro dịka CMP na DIFF. Ọ dị mkpa ịmara na enwere ike iji PRD FOUPs maka ebumnuche ENG na MON, enwere ike iji ụdị ENG maka MON, mana ọrụ azụ na-akpata ihe egwu dị mma.

Site na ọkwa mmetọ, enwere ike kewaa FOUPs n'ime FE FOUP (usoro ihu, enweghị ígwè), BE FOUP (usoro azụ, nwere ígwè), na ndị pụrụ iche maka usoro ígwè ụfọdụ dịka NI FOUP, CU FOUP, na CO FOUP. A na-ahụkarị FOUPs maka usoro dị iche iche site na agba nke aka akụkụ ma ọ bụ panel ọnụ ụzọ. Enwere ike iji FOUPs sitere na usoro ihu na usoro azụ, mana agaghị eji FOUPs azụ na usoro ihu, n'ihi na nke a ga-akpata ihe egwu mmetọ.

Dịka onye na-ebu ibu ọrụ dị mkpa n'imepụta semiconductor, FOUP, site na akpaaka dị elu na njikwa mmetọ siri ike, na-ahụ na nchekwa na ịdị ọcha nke wafers n'oge usoro mmepụta, na-eme ka ọ bụrụ akụrụngwa dị mkpa na wafer fab nke oge a.

Mmechi

XKH na-agba mbọ inye ndị ahịa ngwọta Front-Opening Unified Pod (FOUP) ahaziri nke ọma, na-agbaso iwu usoro gị na nkọwapụta njikọ akụrụngwa. Site na iji teknụzụ ihe dị elu na usoro nrụpụta ziri ezi, anyị na-ahụ na ngwaahịa FOUP ọ bụla na-enye ikuku na-adịghị emerụ ahụ, ịdị ọcha, na iguzosi ike n'ezi ihe. Ndị otu teknụzụ anyị nwere ahụmịhe dị omimi n'ụlọ ọrụ, na-enye nkwado zuru oke nke usoro ndụ - site na ndụmọdụ nhọrọ na mmezi nhazi ruo na nhicha na mmezi - hụ na njikọta na-enweghị ntụpọ na mmekorita dị irè n'etiti FOUP na Sistemụ Njikwa Ihe Akpaaka gị (AMHS) yana akụrụngwa nhazi. Anyị na-ebute nchekwa nke wafers na mmụba nke mmepụta mmepụta dị ka ebumnuche anyị bụ isi. Site na ngwaahịa ọhụrụ na ọrụ teknụzụ niile, anyị na-enye nkwa siri ike maka usoro mmepụta semiconductor gị, na-eme ka arụmọrụ mmepụta na mmepụta ngwaahịa dịkwuo elu.