Ngwa teknụzụ teknụzụ Microjet laser ịkpụ wafer SiC nhazi ihe

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

Ngwa teknụzụ laser Microjet bụ ụdị sistemụ igwe eji arụ ọrụ nke na-ejikọta laser ike dị elu na jet mmiri micron. Site na ijikọ eriri laser na jet mmiri dị elu (mmiri deionized ma ọ bụ mmiri pụrụ iche), enwere ike imezu nhazi ihe nwere oke nkenke na obere mmebi okpomọkụ. Teknụzụ a dabara adaba karịsịa maka ịkpụ, igwu ala na nhazi microstructure nke ihe siri ike na nke na-agbawa agbawa (dịka SiC, sapphire, iko), a na-ejikwa ya nke ukwuu na semiconductor, ngosipụta fotoelectric, ngwaọrụ ahụike na mpaghara ndị ọzọ.

Zitere anyị ozi-e

atụmatụ

Ụkpụrụ ọrụ:

1. Njikọta laser: a na-elekwasị anya na laser pulsed (UV/green/infrared) n'ime jet mmiri mmiri iji mepụta ọwa nnyefe ike kwụsiri ike.

2. Nduzi mmiri mmiri: jet ọsọ dị elu (ọsọ mmiri 50-200m/s) na-eme ka ebe a na-ahazi ya dị jụụ ma na-ewepụ ihe ndị mebiri emebi iji zere mkpokọta okpomọkụ na mmetọ.

3. Mwepụ ihe: Ike laser na-eme ka mmiri ahụ nwee mmetụta cavitation iji nweta nhazi oyi nke ihe ahụ (mpaghara metụtara okpomọkụ <1μm).

4. Njikwa ike: nhazi oge nke paramita laser (ike, ugboro ole) na nrụgide jet iji mezuo mkpa nke ihe na nhazi dị iche iche.

Isi paramita:

1. Ike laser: 10-500W (enwere ike ịgbanwe)

2. Dayameta jet: 50-300μm

3. Izi ezi nke igwe: ±0.5μm (ịkpụcha), nha omimi ruo obosara 10:1 (ịkpọpu ihe)

Uru teknụzụ:

(1) Ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ enweghị mmebi okpomọkụ ọ bụla
- Mmiri mmiri oyi na-achịkwa mpaghara okpomọkụ metụtara (HAZ) ruo **<1μm**, na-ezere obere mgbawa nke nhazi laser nkịtị kpatara (HAZ na-abụkarị >10μm).

(2) Igwe nhazi dị oke elu nke ukwuu
- Ịkpụcha/ịgwupụta ihe ruru **±0.5μm**, oke ihe dị n'akụkụ Ra<0.2μm, belata mkpa ọ dị maka ịchacha ihe mgbe e mesịrị.

- Kwado nhazi usoro 3D dị mgbagwoju anya (dịka oghere conical, oghere ndị e ji akpụ akpụ).

(3) Ndakọrịta ihe zuru oke
- Ihe siri ike ma gbawaa agbawa: SiC, sapphire, iko, seramiiki (ụzọ ọdịnala dị mfe ịgbawa).

- Ihe ndị na-eme ka okpomọkụ dị nro: polima, anụ ahụ dị ndụ (enweghị ihe egwu nke mmebi okpomọkụ).

(4) Nchedo gburugburu ebe obibi na arụmọrụ ya
- Enweghị mmetọ uzuzu, enwere ike imegharị mmiri ma tee ya.

- Mmụba 30%-50% na ọsọ nhazi (ma e jiri ya tụnyere igwe nhazi).

(5) Njikwa ọgụgụ isi
- Nhazi anya na nhazi paramita AI, ọkpụrụkpụ ihe na-agbanwe agbanwe na ntụpọ.

Nkọwapụta teknụzụ:

Olu countertop	300300150	400400200
Axis kwụ ọtọ XY	Moto kwụ ọtọ. Moto kwụ ọtọ	Moto kwụ ọtọ. Moto kwụ ọtọ
Axis kwụ ọtọ Z	150	200
Izi ezi nke ọnọdụ μm	+/-5	+/-5
Izi ezi ọnọdụ ugboro ugboro μm	+/-2	+/-2
Ọsọ ọsọ G	1	0.29
Njikwa ọnụọgụgụ	Axis atọ /Axis atọ + otu /Axis atọ + abụọ	Axis atọ /Axis atọ + otu /Axis atọ + abụọ
Ụdị njikwa ọnụọgụgụ	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Ogologo ebili mmiri nm	532/1064	532/1064
Ike ọkwa W	50/100/200	50/100/200
Ụgbọ mmiri	40-100	40-100
Ogwe nrụgide nozulu	50-100	50-600
Nha (ngwaọrụ igwe) (obosara * ogologo * elu) mm	144519442260	170015002120
Nha (kabọd njikwa) (W * L * H)	70025001600	70025001600
Ibu (ngwaọrụ) T	2.5	3
Ibu (kabọd njikwa) KG	narị asatọ	narị asatọ
Ike nhazi	Ọdịdị elu Ra≤1.6um Ọsọ mmeghe ≥1.25mm/s Mkpụcha gburugburu ≥6mm/s Ọsọ ịkpụ nha kwụ ọtọ ≥50mm/s	Ọdịdị elu Ra≤1.2um Ọsọ mmeghe ≥1.25mm/s Mkpụcha gburugburu ≥6mm/s Ọsọ ịkpụ nha kwụ ọtọ ≥50mm/s
	Maka kristal gallium nitride, ihe semiconductor gap ultra-wide band (diamond/Gallium oxide), ihe pụrụ iche maka aerospace, LTCC carbon seramiiki substrate, photovoltaic, scintillator kristal na nhazi ihe ndị ọzọ. Rịba ama: Ike nhazi dịgasị iche dabere na njirimara ihe onwunwe

Ikpe nhazi:

Ọrụ XKH:

XKH na-enye nkwado zuru oke maka akụrụngwa teknụzụ laser microjet, site na mmepe usoro na ndụmọdụ nhọrọ akụrụngwa, ruo na njikọta sistemụ ahaziri ahazi n'etiti oge (gụnyere ndakọrịta pụrụ iche nke isi iyi laser, sistemụ jet na modulu akpaaka), ruo ọzụzụ ọrụ na mmezi emelitere na nhazi usoro na-aga n'ihu, usoro ahụ dum nwere nkwado ndị otu teknụzụ ọkachamara; Dabere na ahụmịhe igwe nhazi ziri ezi afọ 20, anyị nwere ike inye ngwọta otu nkwụsị gụnyere nkwenye akụrụngwa, mmeghe mmepụta oke na nzaghachi ngwa ngwa mgbe eresịrị (awa 24 nke nkwado teknụzụ + nchekwa akụkụ ihe dị mkpa) maka ụlọ ọrụ dị iche iche dị ka semiconductor na ahụike, ma kwe nkwa nkwa ọnwa 12 na ọrụ mmezi na nkwalite ndụ niile. Hụ na akụrụngwa ndị ahịa na-ejigide arụmọrụ nhazi na nkwụsi ike na-eduga n'ụlọ ọrụ mgbe niile.