Wafers Quartz A Na-eme Ka Ọ Dị Ọcha Maka Semiconductor, Ngwa Fotonik Optical 2″4″6″8″12″
Ihe osise zuru ezu
Nkọwa nke Iko Quartz
Wafers Quartz bụ isi ihe dị mkpa nke ọtụtụ ngwaọrụ ọgbara ọhụrụ na-eduzi ụwa dijitalụ nke taa. Site na ịnyagharị na ekwentị gị ruo na isi ọdụ 5G, quartz na-enye nkwụsi ike, ịdị ọcha, na nkenke achọrọ na ngwa eletrọniki na fotonik dị elu. Ma ọ bụ ịkwado sekit na-agbanwe agbanwe, na-enye ihe mmetụta MEMS aka, ma ọ bụ na-abụ ntọala maka kọmputa quantum, njirimara pụrụ iche nke quartz na-eme ka ọ dị mkpa n'ofe ụlọ ọrụ.
"Fused Silica" ma ọ bụ "Fused Quartz" nke bụ usoro amorphous nke quartz (SiO2). Ọ bụrụ na e jiri ya tụnyere iko borosilicate, fused silica enweghị ihe mgbakwunye ọ bụla; ya mere ọ dị n'ụdị ya dị ọcha, SiO2. Fused silica nwere nnyefe dị elu na infrared na ultraviolet spectrum ma e jiri ya tụnyere iko nkịtị. A na-emepụta fused silica site na ịgbaze na ịgbaze ultrapure SiO2. N'aka nke ọzọ, a na-eji ihe ndị na-ebute kemịkalụ bara ụba na silicon dị ka SiCl4 eme sintetik fused silica nke a na-eme gas ma mechaa mee ka ọ dị oxidized na ikuku H2 + O2. A na-agwakọta uzuzu SiO2 nke e mepụtara na nke a na silica na ihe e ji mee ihe. A na-egbutu blọk silica fused ka ọ bụrụ wafers, mgbe nke ahụ gasịrị, a na-eme ka wafers ahụ dị ọcha.
Atụmatụ na Uru dị na Quartz Glass Wafer
-
Ọcha Dị Elu nke Ukwuu (≥99.99% SiO2)
Ọ dị mma maka usoro semiconductor dị ọcha nke ukwuu na photonics ebe a ga-ebelata mmetọ ihe. -
Oke ọrụ okpomọkụ sara mbara
Ọ na-ejigide iguzosi ike n'ezi ihe nke usoro site na okpomọkụ cryogenic ruo ihe karịrị 1100°C na-enweghị mgbanwe ma ọ bụ mmebi. -
Mgbasa ozi UV na IR dị mma
Na-enye ezigbo nghọta anya site na ultraviolet miri emi (DUV) site na nso-infrared (NIR), na-akwado ngwa anya ziri ezi. -
Ọnụọgụ Mgbasawanye Okpomọkụ Dị Ala
Na-eme ka nkwụsi ike dị n'akụkụ dịkwuo mma n'okpuru mgbanwe okpomọkụ, na-ebelata nrụgide ma na-eme ka ntụkwasị obi usoro dịkwuo mma. -
Nguzogide Kemịkalụ Kachasị Elu
Ọ na-abanye n'ime ọtụtụ asịd, alkalis, na ihe mgbaze - nke na-eme ka ọ dabara nke ọma maka gburugburu ebe ike kemịkalụ na-aga nke ọma. -
Mgbanwe Mmecha Elu
A na-enweta ya na ihe e ji aka mee nke ọma, nke nwere otu akụkụ ma ọ bụ nke nwere akụkụ abụọ, nke dakọtara na ihe achọrọ maka fotonik na MEMS.
Usoro Mmepụta nke Wafer Glass Quartz
A na-emepụta wafer quartz a gwakọtara agwakọta site na usoro usoro a na-achịkwa ma zie ezi:
-
Nhọrọ Ihe Ndị E Ji Arụ Ọrụ
Nhọrọ nke quartz eke dị ọcha ma ọ bụ isi iyi SiO₂ sịntetik. -
Agbaze na Njikọta
A na-agbaze quartz na ~ 2000°C n'ime ọkụ eletrik n'okpuru ikuku a na-achịkwa iji wepụ ihe ndị na-etinye na afụ. -
Ịmepụta Blọk
A na-eme ka silica a gbazere agbaze dị ka blọk siri ike ma ọ bụ ingot. -
Ịcha Wafer
A na-eji mma ogho diamond ma ọ bụ waya e ji akwọ osisi bee ingots ahụ ka ọ bụrụ ihe e ji akwa wafer mee. -
Ịchacha na Ịchacha
A na-eme ka elu abụọ ahụ dị larịị ma na-egbuke egbuke ka ha wee ruo kpọmkwem nkọwapụta anya, ọkpụrụkpụ, na ịdị nro. -
Nhicha na Nnyocha
A na-ehicha wafers n'ime ụlọ nhicha ISO Class 100/1000 ma na-enyocha ha nke ọma maka ntụpọ na nha nha ha.
Njirimara nke wafer iko Quartz
| nkọwapụta | otu | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Dayameta / nha (ma ọ bụ square) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Ntachi obi (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Ọkpụrụkpụ | mm | 0.10 ma ọ bụ karịa | 0.30 ma ọ bụ karịa | 0.40 ma ọ bụ karịa | 0.50 ma ọ bụ karịa | 0.50 ma ọ bụ karịa |
| Ụlọ ntụaka mbụ | mm | 32.5 | 57.5 | Ọkara ọkwa | Ọkara ọkwa | Ọkara ọkwa |
| LTV (5mm×5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| TV | μm | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| Ụta | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Warp | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Gburugburu Ọnụ | mm | Dabara na SEMI M1.2 Standard / lee IEC62276 | ||||
| Ụdị Elu | A na-egbutu akụkụ otu / A na-egbutu akụkụ abụọ | |||||
| Akụkụ Ra a kpụchara akpụcha | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Ụkpụrụ Akụkụ Azụ | μm | izugbe 0.2-0.7 ma ọ bụ ahaziri ahazi | ||||
Quartz vs. Ihe Ndị Ọzọ Na-apụta Agbanwe
| Akụ na ụba | Iko Quartz | Iko Borosilicate | Safaị | Iko Ọkọlọtọ |
|---|---|---|---|---|
| Oke okpomọkụ ọrụ kachasị | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| Nzipu UV | Ọ dị mma nke ukwuu (JGS1) | Ogbenye | Ọ dị mma | Ogbenye nke ukwuu |
| Nguzogide Kemịkalụ | Ọ dị mma nke ukwuu | Nke dị n'etiti | Ọ dị mma nke ukwuu | Ogbenye |
| Ịdị ọcha | Oke oke elu | Obere ruo ọkara | Elu | Dị ala |
| Mgbasawanye nke okpomọkụ | Ọ dị oke ala | Nke dị n'etiti | Dị ala | Elu |
| Ọnụ ego | Oke ruo elu | Dị ala | Elu | Ọ dị oke ala |
Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị Banyere Wafer Iko Quartz
Q1: Kedu ihe dị iche n'etiti quartz a gwakọtara agwakọta na silica a gwakọtara agwakọta?
Ọ bụ ezie na ha abụọ bụ ụdị amorphous nke SiO₂, fused quartz na-esikarị na isi mmalite quartz eke, ebe fused silica na-esi na sịntetik emepụta. N'ọrụ ha, ha na-arụ ọrụ yiri nke ahụ, mana fused silica nwere ike inwe ntakịrị ọcha na otu nhata.
Q2: Enwere ike iji wafer quartz a gwakọtara agwakọta mee ihe n'ebe ikuku dị oke ọkụ?
Ee. N'ihi obere ihe ha na-eme ka ikuku ghara ịpụta ìhè na oke iguzogide okpomọkụ, wafer quartz a gwakọtara agwakọta dị mma maka sistemu vacuum na ngwa ikuku.
Q3: Wafer ndị a hà dị mma maka ojiji laser miri emi-UV?
N'ezie. Quartz a na-akpọ Fused nwere ike izipu ihe ruo ~185 nm, nke na-eme ka ọ dị mma maka DUV optics, lithography masks, na sistemu excimer laser.
Q4: Ị na-akwado imepụta wafer omenala?
Ee. Anyị na-enye nhazi zuru oke gụnyere dayameta, ọkpụrụkpụ, ịdị mma elu, flat/notches, na nhazi laser, dabere na ihe ịchọrọ maka ngwa gị.
Gbasara anyị
XKH bụ ọkachamara n'ihe gbasara mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta, na ire nke iko anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-enye ngwa eletrọnịkị anya, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa, na ndị agha. Anyị na-enye ihe ndị mejupụtara anya Sapphire, mkpuchi anya ekwentị mkpanaaka, seramiiki, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na wafers kristal semiconductor. Site na ahụmịhe ọkachamara na ngwa ọgbara ọhụrụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu nke ihe optoelectronic.
