Quartz Wafers Fused dị elu maka Semiconductor, Ngwa ngwa anya Photonics 2″4″6″8″12″
Eserese zuru ezu
Nkọwa nke Quartz Glass
Quartz wafers bụ ọkpụkpụ azụ nke ọtụtụ ngwaọrụ ọgbara ọhụrụ na-ebugharị ụwa dijitalụ taa. Site na igodo dị na ekwentị gị ruo n'ọkpụkpụ azụ nke ọdụ ụgbọ ala 5G, quartz na-eji nwayọ na-ewepụta nkwụsi ike, ịdị ọcha na nkenke achọrọ na ngwa eletrọnịkị na fotonic dị elu. Ma ọ na-akwado sekit na-agbanwe agbanwe, na-enyere sensọ MEMS aka, ma ọ bụ na-eme ntọala maka mgbakọ quantum, njirimara pụrụ iche nke quartz na-eme ka ọ dị mkpa n'ofe ụlọ ọrụ.
"Fused Silica" ma ọ bụ "Fused Quartz" nke bụ akụkụ amorphous nke quartz (SiO2). Mgbe ọ dị iche na iko borosilicate, silica fused enweghị ihe mgbakwunye; ya mere ọ dị n’ụdị ya dị ọcha, SiO2. Silica fused nwere mgbasa ozi dị elu na infrared na ultraviolet spectrum ma e jiri ya tụnyere iko nkịtị. A na-emepụta silica fused site n'ịgbaze ma na-emezigharị ultrapure SiO2. N'aka nke ọzọ, a na-eme silica fused sịntetị site na ihe mbụ kemịkalụ silicon bara ụba dị ka SiCl4 bụ nke gasified wee mechaa oxidized na ikuku H2 + O2. A na-ejikọta uzuzu SiO2 nke emere na nke a na silica na mkpụrụ. A na-egbutu ihe mgbochi silica ndị ahụ jikọtara ọnụ n'ime wafer mgbe nke ahụ gasịrị, a na-ehichapụ wafers n'ikpeazụ.
Isi atụmatụ na uru nke Quartz Glass Wafer
-
Ọcha dị elu (≥99.99% SiO2)
Ọ dị mma maka usoro semiconductor na photonics dị ọcha ebe a ga-ebelatarịrị mmetọ ihe. -
Ogologo Na-arụ ọrụ Igwe ọkụ sara mbara
Na-edobe iguzosi ike n'ezi ihe n'usoro site na okpomoku cryogenic ruo ihe karịrị 1100 Celsius na-enweghị mgbagha ma ọ bụ mmebi. -
Mbufe UV na IR pụtara ìhè
Na-enye nkọwapụta anya nke ọma site na ultraviolet miri emi (DUV) site na infrared nso (NIR), na-akwado ngwa ngwa anya nkenke. -
Ọnụego Mgbasawanye Ọkụ dị ala
Na-eme ka nkwụsi ike nke akụkụ dị n'okpuru mgbanwe okpomọkụ, na-ebelata nrụgide na imeziwanye ntụkwasị obi usoro. -
Nguzogide kemịkalụ kacha elu
Enweghi ike nye ọtụtụ acid, alkalis, na ihe mgbaze - na-eme ka ọ dabara nke ọma maka gburugburu kemịkalụ ike. -
Mgbanwe dị n'elu imecha
Dị na ultra-smooth, otu akụkụ ma ọ bụ akụkụ abụọ na-egbu maramara, dakọtara na photonics na MEMS chọrọ.
Usoro nrụpụta nke Quartz Glass Wafer
A na-emepụta wafers quartz fused site na usoro a na-achịkwa na nke ziri ezi:
-
Nhọrọ Akụrụngwa
Nhọrọ nke quartz eke dị oke ọcha ma ọ bụ isi mmalite SiO₂ sịntetị. -
Agbaze na Fusion
A na-agbaze quartz na ~ 2000 Celsius na ọkụ eletrik n'okpuru ikuku a na-achịkwa iji kpochapụ nsonye na afụ. -
Ịmepụta ngọngọ
A na-ajụkwa silica a wụrụ awụ ka ọ bụrụ ihe mgbochi siri ike ma ọ bụ ingots. -
Iberibe wafer
A na-eji diamond ma ọ bụ nkwọ waya ziri ezi na-egbutu ingots n'ime oghere wafer. -
Ịkwụ & Nchacha
Ebe elu abụọ a gbawara agbawa ma na-egbu maramara ka ha zute kpọmkwem nhụta anya, ọkpụrụkpụ na nkọwapụta. -
Nchacha & Nyocha
A na-ehicha wafers n'ime ụlọ dị ọcha nke klaasị ISO 100/1000 ma nọrọ n'okpuru nyocha siri ike maka ntụpọ na nkwekọ akụkụ.
Njirimara nke Quartz Glass wafer
| nkọwa | otu | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Dayameta / nha (ma ọ bụ square) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Ntachi obi (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Ọkpụrụkpụ | mm | 0.10 ma ọ bụ karịa | 0.30 ma ọ bụ karịa | 0.40 ma ọ bụ karịa | 0.50 ma ọ bụ karịa | 0.50 ma ọ bụ karịa |
| Flat ntụaka nke izizi | mm | 32.5 | 57.5 | Ọkara ọkwa | Ọkara ọkwa | Ọkara ọkwa |
| LTV (5mm × 5mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| Ụta | μm | ±20 | ±30 | ± 40 | ± 40 | ± 40 |
| Warp | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm × 5mm) <0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Agba okirikiri | mm | Dabara na SEMI M1.2 Standard / rụtụ aka na IEC62276 | ||||
| Ụdị elu | Akpụchapụrụ otu akụkụ / akụkụ abụọ a na-ehichapụ | |||||
| Akụkụ ekpochapụrụ Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Azu Azu Criteria | μm | izugbe 0.2-0.7 ma ọ bụ ahaziri | ||||
Quartz vs. Ngwa ndị ọzọ na-atụgharị anya
| Ngwongwo | Quartz Glass | Borosilicate Glass | Safaịre | Glass ọkọlọtọ |
|---|---|---|---|---|
| Okpomọkụ kacha arụ ọrụ | ~ 1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| Mbufe UV | Ọ mara mma (JGS1) | Ogbenye | Ọ dị mma | Ogbenye nke ukwuu |
| Nguzogide kemịkalụ | Magburu onwe | Na-agafeghị oke | Magburu onwe | Ogbenye |
| Ịdị ọcha | Dị oke elu | Dị ala ruo n'ókè | Elu | Dị ala |
| Mgbasawanye okpomọkụ | Dị nnọọ ala | Na-agafeghị oke | Dị ala | Elu |
| Ọnụ | Ọfehapụrụ ruo elu | Dị ala | Elu | Dị nnọọ ala |
FAQ nke Quartz Glass Wafer
Q1: Gịnị bụ ihe dị iche n'etiti fused quartz na fused silica?
Ọ bụ ezie na ha abụọ bụ ụdị amorphous nke SiO₂, quartz fused na-esite na isi mmalite quartz eke, ebe a na-emepụta silica fused na synthetically. Na-arụ ọrụ, ha na-enye arụmọrụ yiri nke ahụ, mana silica fused nwere ike ịdị ọcha na ịdị n'otu dịtụ elu.
Q2: Enwere ike iji wafer quartz fused na gburugburu oghere dị elu?
Ee. N'ihi njirimara ha dị ala na nkwụsi ike dị elu, wafer quartz fused dị mma maka sistemu agụụ na ngwa ikuku.
Q3: Ndị a wafers adabara maka miri-UV laser ngwa?
Kpamkpam. Fused quartz nwere nnukwu nnyefe ruo ~ 185 nm, na-eme ka ọ dị mma maka DUV optics, lithography masks, na excimer laser system.
Q4: Ị na-akwado ịmepụta wafer omenala?
Ee. Anyị na-enye nhazi zuru oke gụnyere dayameta, ọkpụrụkpụ, ogo elu, flat /notches, na nhazi laser, dabere na ngwa ngwa gị akọwapụtara.
Gbasara anyị
XKH na-ahụ maka mmepe teknụzụ dị elu, mmepụta na ire nke enyo anya pụrụ iche na ihe kristal ọhụrụ. Ngwaahịa anyị na-eje ozi ngwa anya eletrọnịkị, ngwa eletrọnịkị ndị ahịa na ndị agha. Anyị na-enye ngwa anya sapphire, mkpuchi oghere ekwentị mkpanaaka, ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, na kristal semiconductor. Site na nka nka na akụrụngwa dị oke ọnụ, anyị na-eme nke ọma na nhazi ngwaahịa na-abụghị ọkọlọtọ, na-achọ ịbụ onye na-eduga optoelectronic ihe ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu.
